Fターム[2H025AA00]の内容
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解像度 (2,108)
パターン形状の改良 (1,130)
現像性・画像再現性 (1,814)
耐溶剤性 (316)
耐酸性 (158)
耐アルカリ性 (144)
耐ドライエッチング性 (280)
耐熱性 (885)
耐候性 (523)
耐刷性 (720)
膜強度・耐キズ性 (564)
密着性 (867)
非粘着性 (81)
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転写性 (90)
平滑性 (443)
導電性 (40)
絶縁性 (278)
Fターム[2H025AA00]に分類される特許
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光重合性樹脂積層体及びそれを用いたパターンの製造方法
【課題】表面が撥インク性に優れた隔壁付き基板を簡便な手法で形成することを目的とする。
【解決手段】 支持フィルム上に、含フッ素化合物層、光重合性樹脂層、がこの順で積層された光重合性樹脂積層体であって、
該含フッ素化合物層は、含フッ素化合物を30〜100質量%含有する組成物からなり、該含フッ素化合物層の積層量は支持フィルム1m2あたり1〜40mm3であり、該光重合性樹脂層は、アルカリ可溶性高分子、エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、光重合性開始剤、及び熱ラジカル発生剤を含有する光重合性樹脂組成物からなることを特徴とする光重合性樹脂積層体。
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液浸リソグラフィー用フォトレジスト添加剤及び液浸リソグラフィー用フォトレジスト組成物
【課題】基板上に塗布した際に、撥水ポリマーが表層に効率的に集積し、表層の撥水性が特に高くなる樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】樹脂組成物は、基材ポリマーと、撥水ポリマーとを含み(1)基材ポリマーは、酸の作用によりアルカリ溶解性が変化するポリマーであり、(2)撥水ポリマーは、(i)少なくとも2種類のモノマーが結合して成る、ブロック共重合体であり、 (ii)この少なくとも2種類のモノマーのうちの少なくとも1種のモノマーに由来する側鎖がフッ素多含基を有しており、 (iii)この少なくとも2種類のモノマーのうち、前記フッ素多含基を有するモノマー以外のモノマーに由来する少なくとも1種の側鎖の構造が、前記基材ポリマーの前記側鎖の少なくとも1種と同一又は類似の構造を有する。
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カラーフィルター用緑色着色剤組成物、およびカラーフィルター
【課題】薄膜で高色純度、高輝度、かつ高コントラスト比となるカラーフィルターを提供する。
【解決手段】少なくとも樹脂、溶剤、塩素化銅フタロシアニン顔料を含有するカラーフィルター用緑色着色剤組成物であって、該塩素化銅フタロシアニン顔料の塩素化銅フタロシアニン1分子あたりの平均塩素原子導入数が15.1〜16.0個であり、かつ黄色顔料を含有する緑色着色剤組成物。さらに、銅フタロシアニン顔料にスルホン酸基が導入された顔料誘導体を含有し、該顔料誘導体1分子あたりの平均スルホン酸基導入数が1.9〜2.4個である緑色着色剤組成物。
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パターン形成方法並びにこれに用いるレジスト材料
【課題】1回のドライエッチングで基板を加工するダブルパターニングプロセスを可能にするためのパターン形成方法及びこれに用いるレジスト材料を提供する。
【解決手段】ナフトールを有する繰り返し単位、アダマンタンに結合する1級のヒドロキシ基を有する繰り返し単位、酸不安定基を有する繰り返し単位を含む重合体を含有する第1のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して、第1のレジスト膜を形成する工程と、高エネルギー線で露光した後、現像して第1のレジストパターンを形成する工程と、前記第1のレジストパターンに波長200nm以下の高エネルギー線の照射処理、及び加熱処理の少なくとも一方を施すことによって架橋硬化させる工程と、前記第1のレジストパターン上に第2のポジ型レジスト材料を塗布して、第2のレジスト膜を形成する工程と、高エネルギー線で露光した後、現像して第2のレジストパターンを形成する工程とを含むパターン形成方法。
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着色感光性樹脂組成物
【課題】撥インク性がより向上した着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】上記着色感光性樹脂組成物は、光重合性化合物(A)と、撥インク性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、着色剤(D)と、を含有する着色感光性樹脂組成物であって、上記撥インク性化合物(B)は、エチレン性不飽和基及びフッ素原子を有するモノマー(b1)と、アクリル酸(b2)とを少なくとも共重合させた共重合体である。さらに、上記撥インク性化合物(B)中の上記エチレン性不飽和基及びフッ素原子を有するモノマー(b1)から誘導されるユニットの含有量は30〜80質量%であり、アクリル酸(b2)から誘導されるユニットの含有量は0.1〜20質量%である。
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感光性樹脂組成物及び感光性エレメント
【課題】厚膜での像形成が可能であり、且つ吸水性が十分に低い、層間絶縁膜等の用途に好適に用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)主鎖に炭素数5〜20のアルキレン鎖又は脂環式骨格を有するポリアミック酸と、(B)ビニル基含有エポキシ樹脂を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物。
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感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体およびパターン形成方法
【課題】アンチモン系、リン系よりも弱い酸発生剤で硬化が可能となる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】実施の形態に係る感光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、1以上の架橋形成性部位を有するアクリル系モノマーと、末端ビニル系シランカップリング剤と、光重合開始剤と、を含有する。たとえば、エポキシ樹脂は、加水分解によりシラノール基(Si−OH)を与えるアルコキシ基(Si−OR)を有する。アクリル系モノマーは、末端ビニル基を1〜6個持つ分子である。末端ビニル系シランカップリング剤は、分子の一端に加水分解でシラノール基(Si−OH)を与えるアルコキシ基(Si−OR)を有し、他端に有機官能基としてビニル基を有する。また、光重合開始剤は、カルバゾール骨格を有するオキシム系ラジカル重合開始剤である。
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感光性樹脂組成物、感光性フィルム及び感光性永久レジスト
【課題】難燃性及び耐めっき性に優れ、ソルダーレジストに要求される諸特性を備えた硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム及び感光性永久レジストを提供すること。
【解決手段】(a)バインダーポリマー、(b)エチレン性不飽和基を有する重合性化合物、(c)重合開始剤、(d1)有機リン化合物、及び(d2)無機フィラーを含有する感光性樹脂組成物。
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カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
【課題】液晶表示装置に用いた際、液晶の配向乱れを抑制し、コントラストを向上できるカラーフィルタを提供する。
【解決手段】基板10上に、格子状パターンであり、基板10上を複数の画素に区画する樹脂ブラックマトリクス12と、ストライプ状パターンである着色パターン20R,20G,20Bと、を有し、着色パターンの少なくとも一部は、各列が複数の画素のうち直線状に配列された画素群上に渡って連続的に設けられ、各列が1列の方向と直交する方向の樹脂ブラックマトリクス12上に重なり部OXの群を有し、かつ、1列の方向と平行な方向の樹脂ブラックマトリクス12上に重なり部OYの群及びパターンエッジを有し、画素群における1画素内において、着色パターン表面から重なり部OYの着色パターン表面までの高さhYが、着色パターン表面から重なり部OXの着色パターン表面までの高さhXに対し、0.1μm以上低くなっている。
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新規なポリイミド前駆体組成物、その利用及びそれらの製造方法
【課題】 本発明の課題は、低温(250℃以下)で硬化可能であって高濃度にもかかわらず、低粘度であるポリイミド前駆体溶液及びその製造方法、それから得られる良好な物性を有するポリイミド塗膜、並びに、感光性樹脂組成物及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 特定構造のイミド化したジカルボン酸と、特定構造のジアミン及び/又はイソシアネート系化合物とを含むことを特徴とする、ポリイミド前駆体組成物を用いることで上記問題点を改善することができる。
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アルカリ現像可能なネガ型感光性樹脂組成物
【課題】本発明のネガ型感光性樹脂組成物は、熱硬化時に酸を発生することがないため、メタル腐蝕の問題がないネガ型の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)下記一般式(I)で表される繰り返し単位を有するポリヒドロキシアミド:100質量部、(B)下記一般式(II)で表されるエステル化合物:1〜50質量部、(C)光塩基発生剤:2〜30質量部、を含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
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導電層を有する三次元構造物及び三次元金属構造物の製造方法
【課題】複雑で高価な蒸着法によることなく導電層を形成し、不良品の発生を防ぎながら効率よく導電層の一部を除去することが可能な、導電層を有する三次元構造物及び三次元金属構造物の製造方法を提供すること。
【解決手段】上記製造方法は、(A)基板上にパターン化有機膜を形成する工程と、(B)無電解メッキにより前記パターン化有機膜表面に導電層を形成する工程と、(C)ゲル状エッチング組成物と接触させることにより前記導電層の一部を除去する工程と、を含んでなる。
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カラーフィルタ用着色樹脂組成物、カラーフィルタ、液晶表示装置及び有機ELディスプレイ
【課題】高度に微粒化された顔料を効率よく安定的に分散することができ、その結果、高透過率、高コントラスト、色特性が非常に優れ、且つ現像液シミが改善され、製版プロセスに適した現像性を有する着色樹脂組成物を提供する。又、このような着色樹脂組成物を提供することによって、低膜厚のカラーフィルタを製造することができ、更に得られたカラーフィルタ基板を使用した、高品質の液晶表示装置及び有機ELディスプレイを提供する。
【解決手段】(A)顔料、(B)ポリマー、(C)溶媒、及び(F)重合性モノマーを含有し、(B)ポリマーのゲルパーミエーショングロマトグラフィー(GPC)で得られるクロマトグラフにおいて、ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)5000以下の成分の面積が、未反応重合性モノマー及び重合溶媒のピーク面積を除く全面積に対して20%以下であることを特徴とする着色樹脂組成物、及びその用途。
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感光性樹脂組成物
【課題】低温で硬化する感光性ポリイミド樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)で表わされるベンゾフェノン系化合物(A1)、特定のアントラキノン系化合物(A2)及び特定のクマリン系化合物(A3)からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物であって、活性光線の照射により塩基を発生する光塩基発生剤(A)とポリイミド前駆体(B)を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
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感放射線性樹脂組成物、スペーサーおよびその製造方法ならびに液晶表示素子
【課題】スペーサー形成時に発生する揮発成分量が極めて少なく、さらにスリットダイ塗布法による高速塗布にも対応できる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、[A]カルボキシル基およびカルボン酸無水物基よりなる群から選択される少なくとも1種の基、ならびにペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)に代表される特定の多価チオール化合物に由来する基を有し、且つゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)とポリスチレン換算数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が1.0〜2.8である重合体、[B]重合性不飽和化合物ならびに[C]感放射線性重合開始剤を含有する。
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感光性インク
【課題】現像性に優れ、キュア後の反りがなく、且つ、難燃性を有する感光性インク、及びそれを用いたプリント配線板を提供すること。
【解決手段】本発明の感光性インクは、ポリイミドフィルム(膜厚25ミクロン)の片面に、硬化膜の膜厚が20ミクロン±2ミクロンとなるように、感光性インクを塗布した後、空気下にて120℃で60分間、続いて180℃で60分間焼成して得られるポリイミドフィルム片面に硬化膜を有する2層フィルムにおいて、5cm×5cmの大きさに切り出した際、端部の持ち上がりが10mm以下であり、且つ、該2層フィルムを用いて、ポリイミドフィルムの硬化膜が設けられている反対側の面に、硬化膜の膜厚が20ミクロン±2ミクロンとなるように、感光性インクを塗布した後、空気下にて120℃で60分間、続いて180℃で60分間焼成して得られる3層フィルムが難燃性試験においてVTM−0を示すことを特徴とする。
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フィルム状光導波路
【課題】光導波路本体(コア部分やクラッド層)に用いて、優れた難燃性を有するフィルム状光導波路を形成することのできる感光性樹脂組成物、及び該フィルム状光導波路を提供する。
【解決手段】フィルム状光導波路は、コア部分及びクラッド層を有する光導波路であって、前記コア部分及び前記クラッド層のうち一以上が、(B)特定の式で表されるホスファゼン化合物、及び(C)光ラジカル重合開始剤を含む光導波路用感光性樹脂組成物の硬化物からなる。
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カラーフィルタ用ネガ型レジスト組成物、カラーフィルタ及び液晶表示装置
【課題】顔料分散性、アルカリ現像性に優れるカラーフィルタ用ネガ型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】顔料分散剤、顔料、アルカリ可溶性樹脂、多官能性モノマー、光開始剤等を有し、前記顔料分散剤が、下記式(I)で表される構成単位(1)及び(メタ)アクリル酸エステル構造を有する構成単位(2)を有し、構成単位(1)が有するアミノ基と、酸性硫酸エステル等のスルホン酸化合物とが塩を形成したブロック共重合体である組成物。
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ポリイミド樹脂およびそれを用いた耐熱性樹脂組成物
【課題】低温硬化が可能で、有機溶剤への溶解性が高く、熱線膨張係数が低いポリイミド樹脂を提供する。
【解決手段】芳香族環を含む酸二無水物残基および芳香族環を含むジアミン残基を有するポリイミド樹脂であって、前記ジアミン残基が少なくとも、(1)フルオレン骨格含有ジアミンの残基と、(2)ビフェニル骨格含有ジアミンまたは(3)フェニレン骨格含有ジアミンの残基とを含有し、かつスルホニル基を樹脂全体の15〜25重量%、水酸基を樹脂全体の2〜10重量%含有するポリイミド樹脂。該ポリイミド樹脂および熱架橋剤、更には感光剤を含有する耐熱性樹脂組成物。
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有機ナノ顔料粒子疎水性凝集体および有機ナノ顔料粒子非水性分散物の製造方法、その分散物を含む着色感光性樹脂組成物、ならびにそれを用いたカラーフィルタ
【課題】有機ナノ顔料粒子水性分散物を有機ナノ顔料粒子非水性分散物に相転換させる際の、フラッシングに代表されるような一旦水性ペーストを作成する工程、すなわちフィルタろ過などのような莫大な時間を要する煩雑な工程を必要としない、有機ナノ粒子顔料水性分散物中のナノ顔料粒子を、容易にろ過可能な凝集体とする、凝集体を製造する方法を提供する。
【解決手段】水性媒体中に有機ナノ顔料粒子親水性凝集体を含有する混合液に、質量平均分子量1000以上の有機高分子化合物を共存させて、前記親水性凝集体を疎水性凝集体とし、該疎水性凝集体を単離する有機ナノ顔料粒子の疎水性凝集体の製造方法。
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