【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。関節機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】特に高さに制約がある加工機に対し、ワークの搬送、装填、取り出しを容易に達成できるようにした、ワーク移送装置を提供する。
【解決手段】第１案内枠１２ａと第２案内枠１２ｂに沿って、それぞれ往復動可能に介装した第１、第２スライダ１３、１４を介して取付けたアーム１７を、第１、第２スライダ１３、１４に連結した第１シリンダ１５と第２シリンダ１６により、傾斜移動させ、アーム他端側の把持手段２０をプレス装置１に干渉しないように、楕円曲線を描くように把持したワークＷを搬送させ、待機位置から加工位置に移載し、且つ取出し位置に移載する。 （もっと読む）

【課題】基台と搬送レベルとが異なる場合でも、第１アームと第２アームを同調させてほぼ直線的にワークを搬送できる搬送装置を提供する。その搬送装置を利用した大型搬送装置を提供する。
【解決手段】基台１１に第１アーム１２を第１軸Ｊ１廻りに回動自在に設け、第１アーム１２の先端に、第１アームと長さが異なる第２アーム１３を第２軸Ｊ２廻りに回動自在に設け、第２アーム１３の先端にハンド１４を取り付け、第１アーム１２を往復揺動駆動する第１モータＭ１を基台１１に設ける。基台１１には第１軸Ｊ１と同心状に第１ピニオン１６を固定し、第２アーム１３の基端に、第２軸Ｊ２と同心状に第２ピニオン１７を固定し、第１ピニオン１６と第２ピニオン１７の左右両側にラック１８、１９を摺動自在に設けて搬送装置１０を構成する。２基の搬送装置１０を一対で配置し、ハンド１４同士を搬送ビームで連結することにより、大型搬送装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ワーク搬送ロボットを大型化することなく、高速搬送を可能とするハンドリングロボットを提供するものである。
【解決手段】水平に回転可能な第１アーム１０と、前記第１アーム１０の先端に前記第1アーム１０の回転軸と平行な軸に回転支持された回転可能な第２アーム１７と、前記第２アーム１７の先端部に前記第２アーム１７の回転軸と平行な軸に回転可能なフランジ２１と、前記フランジ２１にワーク把持部２５とを備えたワーク搬送ロボットにおいて、前記第１アーム１０の回転軸と平行な前記軸に少なくとも２つの出力軸を備えた減速機構１６，２０を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持する場合であっても、小型化を図ることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ハンド３、４と、ハンド３、４を保持するハンド保持アーム７を含む多関節アーム部５とを備えている。ハンド３、４は、ウエハ２に当接してウエハ２を把持する把持部４２、５２と、ウエハ２を把持する方向へ把持部４２、５２を付勢する付勢部材とを備え、ハンド保持アーム７は、多関節アーム部５の伸縮動作に伴って、ハンド３、４に対して相対回動するカム部材を備えている。カム部材の内周側には、把持部４２、５２が当接するカム面が、収納部からウエハ２を搬出する前に把持部４２、５２をウエハ２から退避させるとともに、収納部からウエハ２を搬出する際の多関節アーム部５の伸縮動作に伴って、ウエハ２を把持する方向へ把持部４２、５２を移動させるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】機器間のスペースが少なくても設置することができ、且つ、製造コストを少なくすることができる搬送用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム１４の基端を基部１１に対して回転可能に連結すると共に、第１アーム１４の先端を第２アーム１６に対して回転可能に連結した。また、第１アーム１４の回転軸（第１回転軸１３）と、第２アーム１６の回転軸（支軸１５）を平行にした。そして、基部１１に第１プーリ２４を固定すると共に、支軸１５を中心として、第２プーリ２５を第２アームと一体的に回転するように固定した。さらに、第２アームの基端に、第１アーム１４に対して回転しないように第３プーリ２８を固定すると共に、第２回転軸３２を中心として、保持部が取り付けられる第４プーリ３０を第２アームの先端に回転可能に固定した。 （もっと読む）

【課題】ロボットのアーム伸縮動作時における急停止によって各部材に生じる応力で、各部材を破損しないようにする。
【解決手段】複数軸で構成されたロボットの動作を制御する制御装置において、アームの伸縮動作時における急停止によって各部材に生じる応力が各部材の強度を超えないように、アームの上下移動位置に従って予め許容されるアームの許容動作速度が設定され、アーム軸回転駆動源の駆動でアームの伸縮動作をする際の前記アームの伸縮動作する速度は前記アームの上下移動位置に基づいて求める前記アームの許容動作速度を超えないように速度制限する速度制御手段を備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】基板が損傷しない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】第一、第二の従動アームによって回転され、互いに歯合した第一、第二の規制ギアに対し、それぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアを設け、第一、第二のピニオンギアでピニオンギア用ラックを挟む。ハンドが放射方向外側から内側に向けて移動し、ハンドが搬送室内に位置する状態では、ピニオンギア用ラックは放射方向外側に移動し、緩衝部材を介して基板を押圧し、基板をクランプする。ハンドが放射方向外側に移動し、処理室内に位置するときは、ピニオンギア用ラックは放射方向内側に移動し、クランプは解除される。搬送室内でクランプされているので高速移動が可能である。 （もっと読む）

【課題】ハンドが衝突した際に発生する力を逃がす機構（衝突トルク緩衝機構）を提供することで、アーム側への力の伝達を緩衝させる。
【解決手段】ハンド２８とアーム２７の先端との間にあって、ハンド２８に固定されるハンド側フランジ部５２と、アーム２７の先端に固定されるとともに、一定の摩擦力によってハンド側フランジ部５２と相対的に回転しないよう前記ハンド側フランジ部５２を保持するアーム側フランジ５１と、を備え、ハンド２８の衝突時の衝突回転トルクが前記摩擦力を超えたとき、ハンド側フランジ部５１とアーム側フランジ部５２とが滑り出すようにした。 （もっと読む）

【課題】アームの長さを長くしても小さい駆動力でスムーズに移動できる駆動手段を有する平行リンク駆動機構を提供すること。
【解決手段】一対の第１、第２アーム４_１、４_２と、一対の第１、第２連結アーム４_３、４_４とを平行に配設し、第１、第２連結アームのいずれか一方を静止アーム、他方を運動アームとして、静止アームの端部と第１、第２アームの一端部とを第１、第２支軸６_１、６_２及び第１、第２アームの他端部と運動アームの他端とを第３、第４軸支６_３、６_４をそれぞれ回動自在に支軸した平行リンク機構３と、この平行リンク機構を駆動する駆動手段と、を有し、静止アーム４_３には駆動手段ＧＭを設け、駆動手段と運動アームの第３、第４支軸６_３、６_４との間に、伝動部材５を襷掛けに懸架して、駆動手段ＧＭの駆動により、第３、第４支軸６_３、６_４のいずれか一方の支軸に結合された部分の伝動部材５Ａ、５Ｂを牽引して運動アーム４_４を移動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する第２アーム６を有する多関節アーム部４とを備えている。ハンド３は、ウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材とを備え、第２アーム６は、ハンド３の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ２の搬出開始前に把持部２８に当接して把持部２８をウエハ２から退避させる偏心部材３１を備えている。偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、把持部２８がウエハ２を把持する方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する。 （もっと読む）

基板搬送装置は、フレームと、該フレームに接続され、かつ少なくとも１つの独立して制御可能なモータを含む駆動部と、該フレームに接続され、かつ基板を支持および搬送するように分配されるアームリンクを備える少なくとも２つの基板搬送アームと、該少なくとも２つの基板搬送アームのうちの一方が実質的に収縮形状のままである間に、該少なくとも２つの基板搬送アームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、該少なくとも１つの独立して制御可能なモータおよび該少なくとも２つの基板搬送アームに連結される機械運動スイッチとを含む。
（もっと読む）

【課題】各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】基台部１００側からアーム部２及びハンド部３の順で連結され、そのハンド部３を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットであって、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材１３Ａ，１３Ｂとを備えるように構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

少なくとも１つの駆動軸を有する駆動部と、少なくとも１つの駆動軸に動作可能に連結される少なくとも２つのスカラアームと、を有する基板搬送装置であって、少なくとも１つの駆動軸は、少なくとも２つのスカラアームの伸長および収縮を生じさせる少なくとも２つのスカラアームのための共通駆動軸であり、少なくとも２つのスカラアームは、少なくとも２つのスカラアームに連結される少なくとも１つの駆動軸によって、駆動軸の回転が、少なくとも２つのスカラアームのうちの別の１つの運動に実質的に関係なく、少なくとも２つのスカラアームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、互いに連結される。
（もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。間接機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の保持対象物の往復運動方向の位置精度を高めることができる保持アームを提供する。
【解決手段】 第１の腕要素(20)が、第１の回転中心(10)を中心として、回転可能に支持され、先端に第２の回転中心(11)を画定する。第２の腕要素(60)が、第２の回転中心を中心として、第１の腕要素に対して回転可能に支持され、先端に第３の回転中心(12)を画定する。伸縮用駆動力発生機構(57)が、第１の腕要素に対して第２の腕要素を回転させる。伸縮用駆動力発生機構によって、第２の腕要素が第１の角度だけ回転したとき、第１の腕要素が、第２の腕要素の回転方向とは反対方向に、第１の角度の１／２の角度だけ回転する。保持部材(80)が、第３の回転中心を中心として、第２の腕要素に対して回転可能に支持される。第１及び第２の腕要素の姿勢を変化させたとき、保持部材が並進移動する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ＸＹ軸とＺ軸の操作が干渉しない五節リンク型ハプティックデバイスを提供する。
【解決手段】五節リンク機構２を有する五節リンク型ハプティックデバイスにおいて、五節リンク機構２の所定位置に設けられ五節リンク機構２を操作する操作部３と、Ｚ軸方向を指示する回転型指示機構４とを備え、操作部３の姿勢を五節リンク機構２の姿勢によらず一定にするための平行リンク機構５とを備えた構成とすることで、ＸＹ軸とＺ軸の操作が干渉しないようにする。。 （もっと読む）