【課題】
第１及び第２の各平行リンク機構の連結部に設けられたベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力調整を容易にすることである。
【解決手段】
第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ₁ ，ＬＤ₂ が中間リンク台Ｅで連結されて、当該中間リンク台Ｅを構成する上下一対の中間リンク板５が左右一対の中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bで連結されて、当該中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bに支持された左右一対の各プーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ に互いに逆方向の第１及び第２の各ベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ が部分巻回されて、中間リンク台Ｅにおいて第１平行リンク機構ＬＤ₁ の正逆両方向の回動力を第２平行リンク機構ＬＤ₂ に伝達させる構成の物品の直線搬送装置において、前記一対のプーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体Ｐ₁a, Ｐ₁bに対して前記一対のベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ の一端部をそれぞれ固定した構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】アームの動作速度と動作精度を高めることができるアーム駆動装置を提供する。
【解決手段】関節部により連結された複数のアームを伸縮動作させることができるアーム駆動装置１において、基台９上の第１関節部２に回転可能に連結された第１アーム５と、第１アーム５の先端側に位置する第２関節部３に回転可能に連結された第２アーム６と、第２アーム６の先端側に位置する第３関節部４に連結された第３アーム１０と、第１アーム５の第１関節部２側に設けられた第１タイミングプーリ１１と、第１アーム５の第２関節部３側に設けられた第２タイミングプーリ１２と、第１タイミングプーリ１１と第２タイミングプーリ１２との間に掛け渡され、第１アーム５が回転したときの第２アーム６の回転量を規制する第１タイミングベルト１５と、第１関節部２及び第２関節部３の一方又は両方に、第１アーム５及び第２アーム６それぞれに回転力を伝達する合計２以上の駆動源７，２５とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】日常生活で、自らの腕のように操作できる小型、軽量、安全な日常生活支援ロボットアーム装置を実現する。
【解決手段】互いに多関節状に接続される複数のアーム構成要素は、平行リンクを構成する駆動リンク６、１２および従動リンク５、１１を備えたアーム構成要素を含み、駆動リンク１７を備え従動リンクを備えていないアーム構成要素を含み、駆動リンク６、１２、１７および従動リンク５、１１は、それぞれ両端が、支持体３、９、１５、２０のいづれかに回転可能に取り付けられており、駆動リンク６、１２、１７は、その一端において回転軸を介していづれかの支持体３、９、１５に付設されたモータにより駆動され、従動リンク５、１１や駆動リンク１７には、いづれかの支持体９、１５、２０との間でバネ８、１４、１９とダンパー２６、２８、３０が装着されていることを特徴とする日常生活支援ロボットアーム装置３５を提供する。 （もっと読む）

【課題】手動誘導運転の際、ハンドを容易に移動させて微調整することができ、またハンドが誤って周囲の物と衝突するのを防止することができるロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、ロボット本体１１とこのロボット本体１１を制御する制御部２０とを備えている。このうちロボット本体１１は、第１のハンド１２と、第１のハンド１２を第１のハンド１２の基端１２ａから先端１２ｂに向う一定方向に沿って移動させるＪ１軸と、Ｊ１軸を水平面上で回転させるＪ４軸と、Ｊ４軸を垂直方向へ移動させるＪ３軸と、Ｊ３軸を水平面上で一定方向に移動させるＪ５軸とを有している。Ｊ１軸とＪ３軸とＪ４軸とＪ５軸とを制御部２０により同期して駆動し、第１のハンド１２を第１のハンド１２の中心を基準とするツール座標系のＸ軸、Ｙ軸、およびＣ軸上で移動できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】吸着力を保持しながら基板の変形に追従するとともに、外力が開放されたとき（基板開放時）に元の位置に戻る復元力を有し、安定的な基板吸着装置およびこれを用いた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッド１４と、この吸着パッド１４を弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材１５と、エア吸着力を発生する基板吸着部１４１とを備えた基板吸着装置１３において、
摩擦低減機構を有するマニホールド１６と、前記吸着パッド１４と前記マニホールド１６との間に弾性体１８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、試料を搬送するアームに関し、２つの平行四辺形リンク機構を連動させると共に回転軸と摺動可能な支点を設けて１つの駆動源で試料の直線移動と回転を行い、簡単な構造かつ１つの駆動源で試料を自動搬送するアームを実現することを目的とする。
【構成】２組の平行四辺形リンクを構成する隣接するそれぞれの２点を，同じ軸にそれぞれ配置して２組の平行四辺形リンクを逆方向に回転させるリンク機構と、２組の平行四辺形リンクのうち、１つの平行四辺形リンクの残りの２点のうちの１点を駆動源で正回転および逆回転させるための回転軸および他の１点を摺動可能にした支点と、２組の平行四辺形リンクのうち、他の１つの平行四辺形リンクの残りの２点のうちの１点あるいは１点の近傍に設けた試料を搭載する試料搭載部とを備える。 （もっと読む）

【課題】アーム旋回量に制限のない低コストの産業ロボットを提供する。
【解決手段】本体部側から第１アーム２０、第２アーム３０及びハンドアーム４０の順で連結され、そのハンドアーム４０が一定方向に伸縮するように回動駆動するアーム部１０と、そのアーム部１０の伸縮動作を行う中空回動軸３及びこの中空回動軸３内にあって前記第１アーム１０に連結して前記ハンドアーム４０の伸縮方向を変化させる中実回動軸２を備えた本体部１００とを有し、本体部１００は、中実回動軸２の原点位置を検出する第１センサ４を有する第１センサ機構と、その中実回動軸２に設けられて中実回動軸２と中空回動軸３との相対的な原点位置を検出する第２センサ５を有する第２センサ機構とを有しており、中実回動軸２には、ロータリージョイント６が電気接続され、第２センサ５がこのロータリージョイント６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】減圧雰囲気下で内部から出る粉塵等を少なくすると共に、高さ方向の厚さの増大を抑えたロボットアーム、及びそのロボットアームを備えたロボットを提供する。
【解決手段】ロボット本体の基台２００に第１プーリ２１（第１伝達機構）を介して回動可能に取り付けられた第１アーム２０と、第１アーム２０の先端部に第２プーリ２２（第２伝達機構）を介して回動可能に取り付けられた作業アーム５０と、第１プーリ２１及び第２プーリ２２を連結して動力を伝達する第１ベルト２３（第１連結手段）とを少なくとも備えるロボットアームにおいて、第１ベルト２３をフッ素ゴムからなるものとする。 （もっと読む）

【課題】大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供する。また、作業場所の省スペース化に資する多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】多関節型ロボット１に、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード等する方向とはほぼ直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード等する方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を設け、基台側リンク部４の長さは、アーム部側リンク部５の長さよりも長く形成され、リンク機構３の基台２は、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造工程の効率化を図れる基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】処理チャンバ１２にガラス基板Ｂを搬出入する転送ロボット２０は、ベース部２１に対して旋回可能に支持されたアーム部２２と、ガラス基板Ｂを保持するテーブル部２６を備え、アーム部２６に対して回転機構２５を介してテーブル部２６が連結されている。回転機構２５によりテーブル部２６を回転させることにより、テーブル部２６上に載置されるガラス基板Ｂの処理チャンバ１２に対する搬入向きを変えることができる。これにより、特定の処理工程で不良が発生しているか否かを確認したいときに、処理チャンバ１２に搬入されるガラス基板Ｂの向きを容易に変えることができる。したがって、不良発生工程を迅速かつ容易に特定することができ、製造工程の効率化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】リンクの干渉を避け、比較的大きい作業領域を確保することができ、部品点数が少なく組立が容易であり製作コストを減少することができる平行保持機構を提供する。
【解決手段】平行保持機構１０は、回転ジョイント２２ａが固定され所定長ｄの直径を有するプーリー１２ａと、回転ジョイント２２ｂが回転ジョイント２２ａに対して平行を保持する位置に固定され直径ｄを有するプーリー１２ｂと、両プーリーを各々回転自在な状態で接続したリンク１４と両プーリーを繋ぎ且つ両プーリーを同期して回転させるタイミングベルト１６とを備えている。固定された状態で両回転ジョイントの長手方向は相互に平行となっている。タイミングベルト１６により両プーリーが回転すると、両回転ジョイント長手方向はｙｚ平面内で常に平行となるため平行リンク機構の動きと同様の動きを実現できる。３自由度の空間並進平行保持機構３０には平行保持機構１０を用いる。 （もっと読む）

【課題】組み付けが容易な伝達機構によって２つのアームを回転させることのできる平行リンク機構及び産業用ロボットを提供することにある。
【解決手段】下端部を固定ベース２に回転可能に連結し、上端部を波動歯車減速機付き駆動モータ１０の本体カバーに連結した第１アーム３と、下端部を波動歯車減速機部の第２出力軸２９に、上端部を可動ベース４０に回転可能に連結された第２アーム３０とを備えている。また、第１アーム３及び第２アーム３０よりも外側（左側）に設けられ、波動歯車減速機部の第１出力軸２７に連結された連結ベース５０を備えている。さらに、下端部を固定ベース２の延長フレーム部２ａに、上端部を連結ベース５０の下側延長片５２ａに回転可能に連結された第１補助リンク５５と、下端部を連結ベース５０の上側延長片５２ｂに、上端部を可動ベース４０に回転可能に連結された第２補助リンク５６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】駆動モータを中空モータにする必要がなく、容易に内部配線を構成することができ、組み付けが容易となる平行リンク機構及び産業用ロボットを提供することにある。
【解決手段】下端部を固定ベース２に回転可能に連結し、上端部を波動歯車減速機２０の本体カバーＫに連結した第１アーム３と、下端部を波動歯車減速機２０の第２出力軸に、上端部を可動ベース４０に回転可能に連結した第２アーム３０と、を備えている。また、第１アーム３及び第２アーム３０よりも外側（左側）に設けられ、波動歯車減速機２０の第１出力軸に連結された連結ベース５０を備えている。また、第１アーム３の下端部には、駆動モータ１０が、モータ軸の中心軸線Ｍ１を第１連結軸５の中心軸線Ｌ１から上側に偏倚するように固着されている。 （もっと読む）

【課題】 旋回フレームの旋回及び各軸の複合動作に起因する周辺装置との干渉域を少なくし、水平方向に広い動作範囲を持った産業ロボットを提供。
【解決手段】固定ベース１の上に回転自在に支持された第１垂直アーム２と、第１垂直アーム２の先端に回転自在に支持された第２垂直アーム４と、第２垂直アーム４の先端に第３水平軸ｉの回りに回転自在に支持された第１回転基台５と、第１回転基台５の上に第２水平軸ｂと直交する第３水平軸ｃの回りに回転自在に支持された傾動アーム６と、傾動アーム６に第１垂直軸ｄの回りに回転自在に支持された第１水平アーム９と、第１水平アーム９の先端に第２垂直軸ｅの回りに第１水平アーム９と相対するように回転自在に支持された第２水平アーム10とを有する。 （もっと読む）

【課題】 モータの必要台数を減らし、構造を簡単化、小型化、軽量化して、製作コストを低減することを可能にしたダブルアーム列式基板搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】 アーム伸縮機構Ａ、Ｂが左右に２列備えられ、最終段アームとなる第２アーム１０７、１０７’の先端にはハンド１１０、１１０’が結節されて設けられ、第１アーム１０５、１０５’を位相差を持って正逆回転させることにより、ハンド１１０、１１０’が位相差を持って直線運動するように構成されて成るダブルアーム列式基板搬送用ロボット１０１が、アーム駆動手段１６０をさらに備えている。アーム駆動手段１６０は、第１アーム１０５、１０５’に備えられる第１の永久磁石１６７、１６７’に対応させて、第２の永久磁石１６２、１６２’を有し、これが正逆回転することにより、これらの永久磁石の磁気結合を介して第１アーム１０５、１０５’が位相差を持って正逆回転する。 （もっと読む）

【課題】動力や信号や流体を送給する送給具とは別に、手首取付け機器へ接続するための通信ケーブルを手首部まで配設した産業用ロボットを提供する。
【解決手段】バスケーブルがとおるためのフレキシブルチューブ２２が旋回ヘッド３と一体に回転可能にする収容室２３を備え、フレキシブルチューブ２２を旋回ヘッド３から外側に引き出し、第１の補助リンク７、第２の補助リンク８、第３の補助リンク９、手首部６に沿って配線する。 （もっと読む）

【課題】死点通過を円滑に行いながら、第２アームの過拘束を防ぐ。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置１０は、第１アーム１１と第２アーム２１とが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アーム２１に対して回転力を付与する死点脱出機構１５を備えている。死点脱出機構１５は、第１アーム１１を回転させる回動軸１の周りに設置された固定ギヤ１６と、この固定ギヤ１６に係合する第１回転ギヤ１７と、この第１回転ギヤ１７の回転力をリンク１９を介して伝達される第２回転ギヤ１８と、第２アーム２１が死点位置を通過する時のみ第２回転ギヤ１８と係合し第２アーム２１に軸トルクを付与する係合ギヤ２０とを備えている。この構成により、死点通過を円滑に行いながら、第２アーム２１の過拘束を防止して基板の安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】クリーンプロセスにおける真空雰囲気下で熱の影響に耐えうる板状ワークの搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に保持された旋回ベース２と、この旋回ベース２に対して揺動可能に支持されたリンクアーム機構３と、リンクアーム機構３に支持されたハンド４とを備え、旋回ベース２およびリンクアーム機構３の動作に伴いハンド４でワークを水平に保持しながら搬送するものである。旋回ベース２と固定ベース１との間には、気密シール２３Ａが設けられているとともに、固定ベース１および旋回ベース２には、冷媒循環路が設けられており、この冷媒循環路の一部は、気密シール２３Ａの近傍に配置されている一方、冷媒循環路は、固定ベース１と旋回ベース２との境界に形成した環状空間１１０Ａ，２１０Ａを含んで構成される。 （もっと読む）