【課題】搬送ロボットが半導体ウエハ等の基板を保持する際に生じるアームの撓みを、小さな駆動源による大きな動力で、高精度に傾きを修正できる基板の傾き補正装置を提供する。
【解決手段】減速機を備える駆動源を作動してスライド部材１２を直線運動させることにより、このスライド部材１２とエンドエフェクタ８及びエンドエフェクタ基台７を連結する支持部材１４，１５によりエンドエフェクタ８の一端を昇降させることで揺動させる基板の傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】２組の平行リンクを連結してなる第１と第２搬送アーム１００と２００とを有し、第１と第２の搬送アーム１００と２００の直線移動と他方の退避動作とを同期をとって行う際、旋回動作が付与される第１搬送アーム１００のアーム１１１と、第２搬送アーム２００のアーム２１１とを所定屈曲角度をなし一体形成した旋回アーム１０とする。旋回アーム１０に同軸駆動源の一方の駆動源から所定の旋回動作を付与するとともに、第１と第２の搬送アーム１００、２００のいずれかに、他方の駆動源から同期した同方向への旋回動作を付与する。第１あるいは第２搬送アームのうち、旋回動作が付与された搬送アームの搬送台を退避させるとともに、他の搬送アームの搬送台を直線移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】 第１平行リンク１０と第２平行リンク２０とが共有短節２６によって連結され、第１平行リンク１０のアーム端の回転軸に付与された旋回動作により、第２平行リンク２０の自由端側に設けられた搬送台５０を直線移動させる搬送アーム１において、共有短節２６を構成する各関節から、第１平行リンク１０の各アーム１１，１２を所定量延長した端部支点間を連結する下面連結プレート１６と、第２平行リンク２０の各アーム２１，２２上の所定量内側の中間支点２３，２４間を連結した上面連結プレートとを、連結プレート１６，１７間の直線移動方向への横ズレを規制し、連結プレート１６，１７が平行状態を保持して相対変位を許容するように平行保持を図る板バネ１８を連結した。 （もっと読む）

【課題】 多関節ロボットの、ツールや被搬送物の移動距離の増大を図りつつ小型化を促進する。
【解決手段】 多関節アーム５４を構成する複数のアームのうち、アーム４０の、それよりも多関節アーム５４の先端寄りに配置されたアーム４４から受けるトルクの力点である関節部４２を、支持台６０によって所定位置で停止させる。そして、アーム４０よりも多関節アーム５４の先端寄りに配置されたアーム４４、４８，５２のみを作動させる。アーム４０よりも多関節アーム５４の基端寄りに配置されたアーム３０に対し、アーム４０が受けるトルクが作用することがなくなり、アーム３０の負荷が軽減される。従って、アーム４０よりも多関節アーム５４の基端寄りに配置された関節部３１、３８の、各駆動要素の小型化を図ることができる。
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【課題】 可搬質量が大きくかつ小型化が可能な搬送ロボットを提供することである。
【解決手段】 第２アーム３８の他端部３８ｂが上部リンク３５に対して水平方向に離反した状態で、アーム姿勢維持手段６０の当接体６２が第２アーム３８の他端部３３ｂに当接する。アーム姿勢維持手段６０の当接体６２は、第２アーム３８の姿勢を維持するために必要な力の一部を第２アーム３８に与える。アーム姿勢維持手段６０を用いることによって、小さい駆動力を出力する第２アーム駆動手段４２を用いて、被搬送物３１を基台３３に対して水平方向に離反した位置に搬送することができる。このように小さい駆動力の第２アーム駆動手段４２を用いても、可搬質量を大きくすることができるのでロボットを小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の搬送ロボットの回動により、搬送ロボット自身から発生する塵埃を低減して、かつ、ガラス板を含む稼働範囲を狭くすると共にガラス板の可搬送範囲を広くする。
【解決手段】駆動源による駆動アームの回動を、ガラス板を保持するエンドエフェクタを回動可能に支持する従動アームに伝達する回動伝達手段を駆動アームと従動アームとから独立して備えることで、駆動源の上方領域をエンドエフェクタが進退運動により通過できる搬送ロボット。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットＡ１は、上下方向に開放したオープンスペース４０をもつフレーム部材４と、オープンスペース４０を跨いでフレーム部材４に梁状に設けられているとともに、ワークＷの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構５と、複数のスライドアーム機構５と上下方向に干渉することなくオープンスペース４０内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材４が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース４０よりも上方に位置し、その際、ワークＷを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 アームにワーク収納作業などの所望の動作を行わせる際に合理的な動作計画を設定して全体としての機構の単純化および作業の効率化を図ることができるアーム制御方法およびアーム制御装置を提供する。
【解決手段】 前後軸および回転軸を有するアーム２を制御するものであって、前後軸の動作計画を始めに設定し、該動作計画が設定された前後軸の動作パラメータθに基づいて、アーム２先端が所望の動作を行うよう回転軸の動作計画を設定する手順を有するものである。 （もっと読む）

【課題】アームの熱膨脹収縮により生じるハンド部材の偏位量を許容範囲内に収めることができるアーム回動形のワーク搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】固定プーリ８，２７と、一端が固定プーリ８，２７に対して回動自在に支持されたアーム１３，２６と、アーム１３，２６の他端に回転自在に支持された回転プーリ１５，２９と、固定プーリと回転プーリとの間に張設されたベルト１７，３０とを備えたアーム機構を多段に設けて、最終段のアーム機構の回転プーリ２９にハンド部材４０を取り付けたワーク搬送用ロボットにおいて、アーム１３，２６の熱膨脹収縮によりハンド部材４０に生じる偏位を許容範囲に収めるように、テンションローラ２２，３５からベルト１７，３０に与える張力を調整するようにした。 （もっと読む）