【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】保持台の姿勢を正確に制御することができ、また高速で移動させても保持台がふらつくことがない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置に、第一の姿勢保持リンク５６、及び第二の姿勢保持リンク５７を設ける。第一の姿勢保持リンク５６の一端と第二の姿勢保持リンク５７の一端とは連結軸５３によって回転可能に連結される。保持台２１の基部プレート２７にレール５１，５２を取り付ける。連結軸５３にローラ５４，５５を所定の軸線の回りを回転可能に取り付ける。ローラ５４，５５はレール５１，５２のローラ転走部５１ａ，５２ａに接触するように配置される。保持台２１を移動させるとき、ローラ５４，５５がローラ転走部５１ａ，５２ａを転がり運動する。 （もっと読む）

【課題】搬送工程の自動化を容易とし、効率よくワークを搬送することのできる搬送装置および搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク８を把持して搬送する搬送装置１である。搬送装置１は、ワーク８に設けられた２箇所の係合部に係合可能な２つの被係合部３１、３３を備えた把持部２と、把持部２を移動させる移動手段とを有する。把持部２を、移動方向へ移動させる際には、把持部２の被係合部３１、３３を結ぶ基準直線が移動方向の水平方向成分の方向と平行とし移動させるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】可動部を高速移動できるようにする。
【解決手段】ベース部１０と可動部５との間の距離が変化しても、伸縮リンク機構により構成された伝達機構７が伸縮して距離の変化に対応しつつ、電動機２ｄの回転運動を回転部８に伝達することができる。伸縮リンク機構として構成した伝達機構７は軽量なカーボン製とすることができるため、伝達機構７を軽量化でき、その結果、可動部５を高速動作させることが可能な多自由度移動体１を実現できる。 （もっと読む）

【課題】搬送中のワークの落下や位置ずれを防止しつつワークの高速な搬送を可能にするカバー付きロボットハンドを提供する。
【解決手段】搬送されるワーク１３を把持するカバー付きロボットハンド１２が、ロボットアーム１１の先端に取り付けられる基部１４と、基部１４に配置され且つワーク１３を把持する把持部１５と、基部１４に配置されたカバー１６と、把持部１５に対するカバー１６の相対位置を変更するカバー位置変更部１６ｄとを具備し、カバー位置変更部１６ｄが、カバー１６の相対位置を、ワーク１３の搬送中にワーク１３の一部を包囲する保護位置と、ワーク１３を把持又は解放する際にワーク１３の把持又は解放を阻害しない開放位置との間で変更する。 （もっと読む）

【課題】 駆動源を可動部に搭載することなく複数方向への移動に対して正確で且つ迅速な制御を行い得る小型のワイヤ駆動式ロボットの提供。
【解決手段】 ＸθＺ駆動方式のワイヤ駆動式ロボットにおいて、ロボットアームを旋回させるθ回転手段を備える昇降ベースと、昇降ベースの昇降軌道をＺ軸方向に規制する昇降ガイドと、昇降ガイドを支持する走行ベースと、走行ベースの走行軌道をＺ軸と直角なＸ軸方向に規制する走行ガイドと、走行ガイドを支持するベースフレームと、昇降ベースにＺ軸方向への駆動力を与えるワイヤ駆動方式のＺ軸駆動手段と、走行ベースにＸ軸方向への駆動力を与えるワイヤ駆動方式のＸ軸駆動手段と、
からなり、Ｚ軸駆動手段及びＸ軸駆動手段の昇降駆動源及び走行駆動源をベースフレームに備えることを特徴とするワイヤ駆動式ロボット。 （もっと読む）

【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第１の平行リンクと、第２の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第１の平行リンクは、第１の支点を中心とする第１の回転が可能な第１のレバーと、第２の支点を中心とする第２の回転が可能な第２のレバーとを有する。第２の平行リンクは、第１の支点を中心とする第３の回転が可能な第３のレバーと、第２の支点を中心とする第４の回転が可能な第４のレバーとを有する。伝達機構は、第１の支点を中心として第１の回転と共に回転する第１のギアと、第２の支点を中心として第２の回転と共に回転する第２のギアと、第１のギア及び第２のギアに噛合して回転する第３のギアと、前記第３のギアの回転と第３の回転及び第４の回転とを同期させる連結部とを有し、第１の平行リンクの駆動と第２の平行リンクの駆動とを連動させる。 （もっと読む）

【課題】スライド動作の俊敏性を低下させずにツイスト動作の俊敏性を向上させることが可能なツイストスライド機構及びロボットを提供する。
【解決手段】本発明のロボット１０は、平行に配置された１対のボール螺子機構４０，４０における１対のベース駆動用ボールナット４２，４２を旋回ベース３０と連結させた構成とすることで、それらボール螺子機構４０，４０を駆動する１対のベース駆動用サーボモータ８１，８１によって旋回ベース３０のスライド駆動とツイスト駆動の両方を行うことができる。また、それら１対のベース駆動用サーボモータ８１，８１が共に固定ベース１１に固定されているので、スライド動作の俊敏性の低下させずにツイスト動作の俊敏性を向上させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２組のリンク機構から構成された、昇降機構において、リンクへの負荷を軽減する機構を提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部と、前記ハンド部と連結され少なくとも２つ以上の回転関節を備え前記ハンド部を一方向に移動するように伸縮し旋回軸方向に対向するように配置された２組の水平アームからなる水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０の支持ベース８に連結され水平アーム機構３０を昇降する少なくとも２組のリンク機構から構成される昇降機構２０と、から構成され、前記支持ベース８と前記昇降機構２０の第３関節部８ｂとの間には水平アーム機構３０をＸ方向に移動自在に支持する直動機構が配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】直動機構を用いることなくワークを出し入れすることができると共に、高速動作が可能で、かつ、低発塵、省スペース化に寄与する水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置を提供すること。
【解決手段】エンドエフェクタ２０、第１アーム３０、第２アーム４０に、さらに第３アーム５０を備え、第３アーム５０を揺動回転動作させることによって、例えば、アクセス位置Ｐ１の軸線Ｐ１ａの延長線上に第３回転軸Ｎ３がくるようにしてから直線状にエンドエフェクタ２０を移動させてワークの出し入れを行う。 （もっと読む）

【課題】動作可能領域及び加減速性能を小さくすることなしに、自由度を高める。
【解決手段】パラレルリンクロボット10は、基礎部11と、可動部12と、基礎部と可動部とを連結していて基礎部に対してそれぞれ１自由度を有する三つのリンク部20a〜20cと、リンク部のそれぞれを駆動する三つのアクチュエータ13a〜13cとを具備し、リンク部のそれぞれは、基礎部に連結された駆動リンク21a〜21cと、駆動リンクと可動部とを連結していて互いに平行な二つの受動リンク22a〜22c、23a〜22cとからなっており、さらに、可動部に付属する要素19の姿勢を変更する姿勢変更機構部15、少なくとも一つのリンク部の二つの受動リンクの間においてこれら受動リンクに対して平行に配置された追加アクチュエータ13dなどと、追加アクチュエータから同軸に延びていて回転駆動力を姿勢変更機構部に伝達する動力伝達軸部39とを含む。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】動作速度の高速化などを図ることのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】第１関節軸２を中空のボールねじスプラインシャフト１２から形成すると共に、第１のアーム駆動用モータ８及び第２の作業軸駆動用モータ１１を基台１内の固定ブラケット４１に装着し、第２のアーム駆動用モータ９及び第１の作業軸駆動用モータ１０を基台１内の可動ブラケット４２に装着する。また、第２のアーム駆動用モータ９の回転トルクを第２関節軸４に伝える第１のプーリ軸２７と第１の作業軸駆動用モータ１０の回転トルクを作業軸６に伝える第２のプーリ軸３４をボールねじスプラインシャフト１２の内側に同軸に配置する。 （もっと読む）

【課題】アームの質量及び慣性を低減可能として、アームとしての応答性能や位置決め精度を高く維持することのできるスカラロボットの手首軸回転駆動機構を提供する。
【解決手段】手首軸１６にはそれを回転させるためのスプライン溝１６ｓが形成されている。手首軸１６の挿通されるスプラインナット２２は、固定筒２２ａと回転筒２２ｂからなり回転筒２２ｂが回転されると、スプライン溝１６ｓに嵌合されるベアリングを介して手首軸１６が回転される。回転筒２２ｂには第３モータＭ３の駆動力が回転動力の伝達機構により伝達される。すなわち第３モータＭ３からの回転動力が、基端側プーリ２３からタイミングベルト２６を介して先端側プーリ２５に伝達され、同プーリ２５に連動するピニオンギア２７に噛合されるシザーズギア２８から回転筒２２ｂに伝達される。これにより、第３モータＭ３の正逆回転により手首軸１６が正逆回転されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】モータを健全な状態に維持でき、しかも静止摩擦トルクがなく応答性に優れたロボットアームの関節機構を提供する。
【解決手段】第１アーム１と、第１アーム１が固定子側に固定された第１モータユニット２と、第２アーム３と、第２アーム３が固定子側又は回転子側に連結された第２モータユニット４と、第１モータユニット２の回転子と第２モータユニット４の固定子又は回転子とに連結され、第２モータユニット４が回転駆動することによって、第１モータユニット２の回転子の回転力が第２アーム３に対して伝達されるのを防止する中間リンク１３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】脚部２の下腿リンク９と足平部１１とを足首関節部１０から離れた部分で連結する直動アクチュエータ１２_４の伸縮動作により足平部を下腿リンクに対し足首関節部を中心にして揺動させるようにした２足歩行ロボットにおいて、直動アクチュエータを大型化せずに階段歩行に必要な所要のモーメントを足平部に付与できるようにする。
【解決手段】直動アクチュエータ１２_４は、該直動アクチュエータの伸縮力が膝関節部８と足首関節部１０とを結ぶ結線Ｌ１に対し後傾した線Ｌ２上に作用するように配置される。好ましくは、直動アクチュエータ１２_４の下腿リンク９に対する連結部Ｙ３ａを上記結線Ｌ１よりも後方に位置させ、直動アクチュエータ１２_４の足平部１１に対する連結部Ｙ３ｂを上記結線Ｌ１よりも前方に位置させる。 （もっと読む）

【課題】
ロボット有効動作範囲を拡大することができ、ロボット制御特性が向上することができるとともにロボット負荷モーメントの低減を図ることができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】
ショックセンサユニット７２の一部（ボディ本体７４の軸線方向に位置する一部）がマニピュレータの手首部１２に内蔵されている。揺動体２４内に配置されたギヤ６２及び回転体内に対してショックセンサユニット７２の一部が嵌合されて配置されていることにより、手首部１２に取付けされた部位を基点とする溶接用トーチ１３の先端までのトーチ長（エンドエフェクタ長）を短くする。 （もっと読む）

【課題】所定平面内における第１の方向の駆動用と第１の方向に対して垂直な第２の方向の駆動用とで駆動モータを別々に設ける必要がなく、且つ独立した傾動機構を設けることなく手先部分を傾動させることを可能とする。
【解決手段】可動装置（物品搬送装置１０Ａ）は、ベース部１２に基端部が連結された第１リンク２１、第２リンク２２、及び第３リンク２３と、第１リンク２１、第２リンク２２、及び第３リンク２３の先端全てに連結された一つの出力部材２４とを有し、第１リンク２１、第２リンク２２及び第３リンク２３の駆動状態により、ベース部１２に対する出力部材２４の所定平面上の相対的な位置及び姿勢が定まるパラレルリンク機構２０と、パラレルリンク機構２０の出力部材２４に取り付けられたツール４０（物品把持部４０Ａ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】基台部１００側からアーム部２及びハンド部３の順で連結され、そのハンド部３を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットであって、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材１３Ａ，１３Ｂとを備えるように構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】アームの動作速度と動作精度を高めることができるアーム駆動装置を提供する。
【解決手段】関節部により連結された複数のアームを伸縮動作させることができるアーム駆動装置１において、基台９上の第１関節部２に回転可能に連結された第１アーム５と、第１アーム５の先端側に位置する第２関節部３に回転可能に連結された第２アーム６と、第２アーム６の先端側に位置する第３関節部４に連結された第３アーム１０と、第１アーム５の第１関節部２側に設けられた第１タイミングプーリ１１と、第１アーム５の第２関節部３側に設けられた第２タイミングプーリ１２と、第１タイミングプーリ１１と第２タイミングプーリ１２との間に掛け渡され、第１アーム５が回転したときの第２アーム６の回転量を規制する第１タイミングベルト１５と、第１関節部２及び第２関節部３の一方又は両方に、第１アーム５及び第２アーム６それぞれに回転力を伝達する合計２以上の駆動源７，２５とを備えるように構成する。 （もっと読む）