【課題】半導体製造工程等において、反応性を有する特殊ガスを吸い込むような場合に好適なスクロール形真空ポンプを提供する。
【解決手段】固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを、圧縮室５内において相互に嵌入させるとともに、該旋回スクロールの端板の鏡面と当接する端面の外周側に凹設したダストシール溝部にダストシールを嵌入させ、固定スクロールに対して一定の偏心量で旋回させることにより、吸入孔から吸入した気体を、中心方向への移動に伴って圧縮して外部に排出させるスクロール形真空ポンプであって、前記ダストシール部より内周側に環状溝を設け、この環状溝に穿設した流入孔から不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】中間インジェクションを行うスクロール圧縮機において、インジェクション流量を増やせるようにするとともに、圧縮機の効率低下や圧縮機構の大型化及びコスト増大を抑える。
【解決手段】インジェクションポート（55）を吸入閉じ切り直後の圧縮室（35a，35b）に連通する位置に形成する。また、可動側ラップ（42）に、巻き始め側から巻き終わり側に向かって歯厚が拡大する歯厚拡大部（45a）と、その歯厚拡大部（45a）から巻き終わり側に向かって歯厚が縮小する歯厚縮小部（45b）とを有する厚肉部（45）を形成し、インジェクションポート（55）の直径を厚肉部（45）に合わせて大きくする。 （もっと読む）

【課題】加工・組立において低コストかつ高効率・高信頼性の電動圧縮機を提供する。
【解決手段】アルミニウム製の固定スクロール１１に対して同じくアルミニウム製の可動スクロール１２が旋回運動して冷媒を圧縮する電動圧縮機（図示せず）において、固定スクロール１１の可動スクロール１２と当接する平面部を、主に鉄系材料のスラストプレート３５で構成し、スラストプレート３５を固定スクロール１１の締結面と同一平面で締結するもので、軸方向摺動部の間に鉄系金属のスラストプレート３５を挟んで異種金属の摺動とすることで、可動スクロール１２の軸方向摺動の信頼性の向上と、圧縮空間の隙間縮小による高効率化が両立すると共に、可動スクロール１２と固定スクロール１１が直接嵌合するので、可動スクロール１２の先端の隙間は、可動スクロール１２のラップ高さと固定スクロール１１のラップ高さの２部品の寸法公差の影響しか受けない。 （もっと読む）

【課題】可変容量式スクロール型圧縮機において、可変容量動作時の圧縮効率低下を抑制する。
【解決手段】固定基板部２２ａには、第１圧縮室Ｖａと吸入室２２ｅとを連通するサブバイパスポート２２ｇ、および第２圧縮室Ｖｂと吸入室２２ｅとを連通するメインバイパスポート２２ｈが設けられ、旋回スクロール２１の旋回中心Ｏとサブバイパスポート２２ｇとを結んだ線を第１の仮想線Ｌ１とし、旋回中心Ｏを通ると共に第１の仮想線Ｌ１に直交する線を第２の仮想線Ｌ２としたとき、メインバイパスポート２２ｈは、第１圧縮室Ｖａおよび吸入室２２ｅが連通するタイミングと第２圧縮室Ｖｂおよび吸入室２２ｅが連通するタイミングとがずれるように、第２の仮想線Ｌ２よりもサブバイパスポート２２ｇ側に開口している。 （もっと読む）

【課題】新たに部材を追加せずに、簡単な構造で可動板に予圧を与えることができる圧縮機を提供する。
【解決手段】
中心軸線Ｌに向けられた電磁石１７₁、１７₂の極性をＮ極とＳ極との間で交互に変化させると、各固定磁石１６₁、１６₂はそれぞれ回転力を受けて回転軸１５は回転され、可動板１２は可動羽根１４と一緒に旋回移動され、可動羽根１４と固定羽根１３との間に閉じこめられた流体は渦巻の中心に向かって圧縮される圧縮機１０であって、中心軸線Ｌに向けられた電磁石１７₁、１７₂の磁極の中心は、放射方向に向けられた固定磁石１６₁、１６₂の磁極の中心よりも可動板１２近くに位置し、中心軸線Ｌに向けられた電磁石１７₁、１７₂の磁極と放射方向に向けられた固定磁石１６₁、１６₂の磁極とが互いに異なる極性で対向するときに、固定磁石１６₁、１６₂には可動板１２に近づく方向の力がかかるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程等において、反応性を有する特殊ガスを吸い込むような場合に好適なスクロール形真空ポンプを提供する。
【解決手段】固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを、ハウジングに設けた圧縮室５内において相互に嵌入させるとともに、旋回スクロールを、自転することなく固定スクロールに対して旋回させるようにし、かつ旋回スクロールの自転運動を防止するための自転防止機構部を配設したスクロール形真空ポンプにおいて、前記固自転防止機構部８ａ、８ｂ、８ｃの周囲の空間を連通する環状溝１１ｃを旋回スクロールに対向する筐体１１の端面に設け、この環状溝１１ｃに穿設した流入孔１１ｄから不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】背圧弁によって制御された背圧室の背圧によって旋回スクロールを固定スクロールへ付勢するスクロール圧縮機において、起動直後や通常運転途中での運転条件の切り替え時に、背圧の昇圧不足による離脱状態（旋回スクロールが固定スクロールへ付勢できずに両者が離れた状態）が生じる場合があった。このため、このような離脱状態の時に、吐出圧を背圧室へ導入する背圧弁があるが、背圧弁周りに吐出圧領域を形成する必要が生じ、その吐出圧領域と背圧領域等の圧力が異なる領域間のシール性の確保が困難であるという問題があった。
【解決手段】離脱状態の時に、背圧弁によって圧縮室と背圧室を繋ぐ流路を設ける。これにより、離脱状態時に圧縮室の圧力が吐出圧に近づくというスクロール圧縮機の特性から、圧縮室の吐出圧に近い高圧が背圧室へ流入し、背圧が急上昇して離脱状態から速やかに正常な運転へ復帰できる。 （もっと読む）

【課題】圧縮室間のシール性の低下によって両圧縮室内の圧力上昇割合（圧縮線）が異なり、圧縮室間の圧力差（ΔＰ₁）が大きくなってしまう。それによって内部漏れ量が大きくなると内部圧縮動力が大きくなって、結果的に圧縮機入力も大きくなる。また、吸入過程での体積効率が低下してヘリウムガス流量が低下することになる。その結果、圧縮機の性能が低下するという課題がある。そこで本発明は、圧縮機の性能を向上することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するため本発明は、油注入用ポートが旋回外側圧縮室に連通する第一の旋回角度範囲と、油注入用ポートが旋回内側圧縮室に連通する第二の旋回角度範囲とが、略同じ旋回角度範囲となるように固定スクロール部の歯溝底面に油注入用ポートの開口部を設定したものである。 （もっと読む）

【課題】スクロール圧縮機において、低資源かつ低コストで、十分に潤滑された状態で摺動されるスラスト軸受部を実現する。
【解決手段】スラスト軸受部を、揺動スクロール３とフレーム１２の底部１２ａとの間に配設されたリング状のスラストプレート１５と、揺動スクロール３の台板３ａの底面の外周側に下方に突き出る状態で形成されたリング状のスラスト面とで構成する。揺動スクロール３の公転運動により、スラスト面がスラストプレート１５からはみ出す面積が常に存在し、はみ出した面は油で満たされた空間に露出した後、再びスラストプレート１５と摺動する。この動作が、１秒間に回転数と同数回繰り返されることにより、揺動スクロール３のスラスト面とスラストプレート１５が潤滑された状態で摺動される。 （もっと読む）

【課題】 高圧側の旋回スクロールを大型化することなく、スラスト方向の変形を防止し、スクロール式流体機械を小型化、軽量化できるようにする。
【解決手段】 低圧段，高圧段の旋回スクロール２８Ａ，２８Ｂとケーシング２との間に偏心ブッシュウエイト２１Ａ，２１Ｂと自転防止機構３５Ａ，３５Ｂとをそれぞれ設ける構成とする。従って、旋回スクロール２８Ａ，２８Ｂの回転バランスを専用の偏心ブッシュウエイト２１Ａ，２１Ｂによって整えることができる。また、旋回スクロール２８Ａ，２８Ｂに作用するスラスト荷重を自転防止機構３５Ａ，３５Ｂによって受承することができる。これにより、大きなスラスト荷重が作用する高圧段の旋回スクロール２８Ｂでも、変形を防止するための構造変更による大型化を防止でき、スクロール式空気圧縮機１全体を小型化、軽量化することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動側渦巻壁と従動側渦巻壁とを圧接方向に圧接させつつ、両スクロールの傾きを抑えることができる両回転スクロール型圧縮機を提供すること。
【解決手段】両回転スクロール型圧縮機１１の従動側軸受１８には、駆動側渦巻壁３１ｂと従動側渦巻壁３２ｃとを圧接させる方向へ荷重を付与する従動側予荷重付与部材４０が設けられている。この従動側予荷重付与部材４０は、従動側軸受１８の従動側外輪１８ｂにおいて、その軸方向における中央よりも圧縮室３３寄りの位置に設けられている。また、駆動側軸受１６には、駆動側渦巻壁３１ｂと従動側渦巻壁３２ｃとを圧接させる方向へ荷重を付与する駆動側予荷重付与部材４１が設けられている。この駆動側予荷重付与部材４１は、駆動側軸受１６の駆動側外輪１６ｂにおいて、その軸方向における中央よりも圧縮室３３寄りの位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】チップシールの分割位置を最適化して、圧縮した冷媒の漏れを確実に防止すると共に、容量の相違する圧縮機におけるチップシールの共用化により、スクロール型圧縮機のコストダウンを図る。
【解決手段】チップシール３０を複数に分割すると共に、スクロール部材１０の渦巻状の壁部１３、１４の巻き始め側のシール溝２０に装着されるチップシール３０の終端３１を、少なくとも圧縮工程において三つの圧縮室４０、４２が連通して三室混合を生じた直後における前記スクロール部材１０の壁接触点１６と共に、前記壁部の巻き始め側の位置から伸開角３６０°の位置に指向する伸開線（Ｌ）上で一致する位置まで伸ばすように形成する。 （もっと読む）

【課題】Ｏリングの熱損傷を防止できると共に、設置作業効率の良いフィルター配設構造を有するスクロール型圧縮機を提供する。
【解決手段】固定スクロール２２と揺動スクロール２４を収容する鉄鋼製の圧縮機ケーシング１０を貫通して、外部配管Ｐからの冷媒ガスを吸入する吸入管５０が接合固定されており、該吸入管の下端部は前記固定スクロールに設けた吸込み口部２２ＫにＯリング６０を介して嵌合させたスクロール型圧縮機であって、吸入管は、前記吸込み口部側が鉄鋼製の鉄管体であり、該鉄管体の上端側に、銅製の銅管体を接合して構成し、該吸入管の銅管体を前記圧縮機ケーシングに対して銀ロー付け接合を施しており、フィルターＦを、前記吸入管の中に装着している。 （もっと読む）

【課題】Ｏリングの熱損傷を防止できる吸入管とし、フィルターの設置作業効率を良くすると共に、フィルター機能を十分に発揮できるフィルター配設構造を提供する。
【解決手段】吸入管５０の下端部は固定スクロール２２に設けた吸込み口部２２ＫにＯリング６０を介して嵌合させたスクロール型圧縮機であって、吸入管は、前記吸込み口部側が鉄鋼製の鉄管体であり、上側が銅製の銅管体であり、該銅管体を圧縮機ケーシングに対して銀ロー付け接合を施しており、フィルターＦを吸入管の下端部に装着して該吸入管から下方に突出した突出部を有し、吸込み口部２２Ｋに連通すると共に圧縮室に冷媒ガスを送入する孔部２２Ｈは、突出部全長に亘って、該孔部の横断面における少なくとも一つの径方向において、鉄管体の流路最大内径よりも大きく形成する。 （もっと読む）

【課題】従来技術では、背圧室と吸込室または圧縮室とを繋ぐ背圧室流体流出路に、前後の差圧を制御する背圧制御弁と絞り流路部と旋回スクロールの旋回運動により間欠的に連通する間欠流路部を配することで、安定した背圧を確保していたが、間欠流路部を配することにより背圧室と吸込室（または圧縮室）との連通時間が短縮され、圧縮室への必要な給油量を得ることができない虞があった。また、間欠流路部を配さない場合は、前記背圧室流体流出路内の圧力脈動が大きく、背圧制御弁が異常開口し、背圧を生成できない。
【解決手段】背圧室から吸込空間または圧縮室へ至る経路の途中で前記背圧制御弁よりも前記背圧室側に、当該経路の入口の断面積よりも断面積が１.５倍以上大きな拡大空間を有し、その入口は旋回スクロールで塞がれることなく常時開口させる。 （もっと読む）

【課題】磁性体製バランサを用いて、より大きな排除容積に対応することができるスクロール圧縮装置を提供する。
【解決手段】ケーシング３の内部に冷媒を圧縮するスクロール圧縮機構１１と、スクロール圧縮機構１１と駆動軸１５で連結され当該スクロール圧縮機構１１を駆動する駆動モータ１３とが収容され、スクロール圧縮機構１１がメインフレーム２１によりケーシング３に支持され、駆動モータ１３のロータ３９が駆動軸１５に連結され、駆動軸１５がベアリングプレート８によりケーシング３に支持され、駆動軸１５のステータ３７より上位の軸上に磁性体製の上バランサ６３が取り付けられ、ロータ３９の下端に非磁性体製の下バランサ７７が取り付けられ、かつロータ３９の上端と上バランサ６３との間隙に非磁性体製の補助バランサが取り付けられていることを特徴とする （もっと読む）

【課題】信頼性を確保できるとともに効率を向上させることができる圧縮機を提供することを目的とする。
【解決手段】外周側に位置する固定側支持位置Ｆで固定して取り付けられた固定端板４５の一側面に立設された渦巻き状の固定渦巻体４７を有する固定スクロール４１と、一側面に固定端板４５とかみ合う渦巻き状の旋回渦巻体５３が立設され、固定側支持位置Ｆよりも中心側に位置する旋回側支持位置Ｃに公転旋回運動可能に支持される旋回端板５１を有する旋回スクロール４３と、を有するスクロール圧縮機構７を備えている圧縮機であって、固定渦巻体４７の先端部と旋回端板５１との間隔および旋回渦巻体５３と固定端板４５との間隔の少なくともいずれか一方は、旋回側支持位置Ｃよりも外側の間隔Ｓ１が、中心側の間隔Ｓ２よりも大きくされている。 （もっと読む）

【課題】揺動スクロールラップの外面及び内面と固定スクロールラップの外面及び内面とについて、熱膨張時に隣り合う２つの面の間に形成される隙間を小さくできるスクロール型流体機械を提供する。
【解決手段】揺動スクロール２を固定スクロール３に対して揺動させることにより、揺動スクロールと固定スクロールの間に圧縮室又は膨張室を構成し、揺動スクロール及び固定スクロールがそれぞれ、揺動鏡板２０及び固定鏡板３０と該鏡板２０、３０から突出する揺動ラップ２１及び固定ラップ３１とを有しているスクロール型流体機械１において、固定ラップ３１は外周側Ｓｅに傾斜しており、固定ラップ３１の厚さは、鏡板側Ｓｐから先端側Ｓｄに向けて厚くなっており、鏡板側の厚さ３１Ｔｐに対する先端側の厚さ３１Ｔｄの比は、固定ラップ３１の内周側Ｓｉから外周側Ｓｅに向かう一方向に沿って大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】作動流体の洩れを抑制して圧縮室のシール性をより向上できるスクロール流体機械を提供すること。
【解決手段】このスクロール流体機械では、ラップ３２の段差部３２１が、ラップ３２の外周面３２４と内周面３２５とを接合する一つの平面３２６を有する。また、ラップ３２の段差部３２１が、外周面３２４と平面３２６との接合位置および内周面３２５と平面３２６との接合位置に、エッジ部Ａ、Ｂをそれぞれ有する。また、ラップ３２の段差部３２１が、ラップ３２の段差部３２１と端板の段差部との噛み合い状態にて、エッジ部Ａ、Ｂに対して高圧側となる面に凹部３２７をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】 受圧面積の大きな背圧室を容易に設けることができ、小型化が可能なスクロール式流体機械を提供する。
【解決手段】 ケーシング１には固定スクロール２を取付けると共に、固定スクロール２と対面した位置に旋回スクロール８を設ける。また、旋回スクロール８の背面側にはホルダ１７を設けると共に、ホルダ１７を挟んで連結部材２１を設ける。そして、連結部材２１は、旋回スクロール８と駆動軸５との間を連結し、旋回スクロール８と一緒に旋回運動する。また、旋回スクロール８の背面には背面プレート１６を設けると共に、背面プレート１６とホルダ１７との間に背圧室１９を形成する。 （もっと読む）