【課題】 電子部品の製造、組付に用いられる治具において、摩耗粉末による汚染低減、加工コストの低減、熱膨張係数を有する被処理材に適合できるよう熱膨張係数をコントロールすることが課題である。
【解決手段】 珪素を含む混合粉末でなる成形体を素材として、最終形状に近い形状、寸法に生加工する工程と、窒素雰囲気中での加熱により実質的に寸法変化を生じることなく、前記珪素を窒化珪素に転化せしめるとともに焼結する工程と、必要に応じて最終加工工程を行う。 （もっと読む）

【課題】 大型のセラミックハニカム構造部材を用いてなる、比剛性の分布の均一な軽量高剛性セラミックス系部材を提供する。
【解決手段】軽量高剛性セラミックス系部材１０は、実質的にＳｉＣ／Ｓｉ複合材料からなる隔壁１１により仕切られた多数の柱状空隙部１２を有するハニカム構造部材１３と、所定のセラミックス系材料からなり、ハニカム構造部材１３の少なくとも一方の開口面に取り付けられる板部材１４と、を有する。隔壁１１はその厚み方向にＳｉＣとＳｉとが層構造をなした微構造を有しており、１個のハニカム構造部材１３を用いることにより、比剛性の分布を均一とした。 （もっと読む）

【課題】高温となる金属溶湯と接触しても急激に破損することのない信頼性の高い窒化ケイ素セラミックス材料を製造し、提供する。
【解決手段】反応焼結された窒化ケイ素を主たる連続相として、該連続相中に含まれる、少なくともホウ素化合物又はホウ素化合物と黒鉛から構成され、かつ、前記構成成分が層状に配され、該層内において、ホウ素化合物の基底面が層に対して平行に優先配向しているセラミックス材料、及び、ケイ素及び少なくともホウ素化合物又はホウ素化合物と黒鉛を含む原料を、スラリー化し、帯状にシート化し、このシートを層状に重ねた後、窒素を含む雰囲気中で焼結して、前記ケイ素を窒化ケイ素に転化させることにより上記セラミックス材料を製造する方法。
【効果】一気に亀裂が進展することを防止でき、強度、耐熱衝撃性に優れたセラミックス製の金属溶湯用部材を提供できる。 （もっと読む）

【課題】肉厚が一定でなく、また、厚肉部位を有する大型セラミックス構造体について、原料ロスが少なく、有機バインダー成分を最小限にとどめ、更に、大掛かりな設備を使用することなく、成形、製造する方法及びそのセラミックス構造体等を提供する。
【解決手段】型内に、反応焼結窒化ケイ素の多孔質の小片と、ケイ素を主成分として酸化物を含有してなるスラリーを充填し、前記多孔質の小片の気孔部にスラリー中の水分を吸収させる、あるいは固化材の作用、冷却により、前記スラリーを固化させた後、必要に応じて脱脂し、窒素気流、あるいは雰囲気中で加熱し、前記ケイ素を窒化ケイ素に転化させた後、前記酸化物が窒化ケイ素と液相を形成する温度以上に更に加熱することで緻密化することによるセラミックス構造体の製造方法、そのセラミックス構造体、及び大型のセラミックス部材。 （もっと読む）

【課題】化学反応により合成した、微細な組織と高密度、高強度を有する窒化ケイ素−炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料、その製造方法及びその用途を提供する。
【解決手段】ケイ素、炭化ホウ素及び雰囲気中の窒素の化学反応を利用して作製した、ケイ素及び炭化ホウ素の混合粉末を、窒化ケイ素のマトリックス中に均一、且つ細かく分散した窒化ホウ素分散窒化ケイ素−炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料、その複合材料の製造方法、及び上記複合材料から成る耐熱材料、耐腐食材料、溶融金属に対する撥水性の良い耐腐食材など部材。
【効果】微細な組織を有し、高密度と高強度を持ち、窒化ケイ素−炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造し、提供することができる。 （もっと読む）

骨材としての炭化珪素粒子２が、窒化珪素３を結合材として、炭化珪素粒子２相互間に細孔５を保持した状態で結合してなる多孔質材料１であって、細孔５内の窒化珪素３表面に窒化珪素柱状体（窒化珪素ウィスカー）が存在しないか、又は不可避的に存在するとしても、太さが２μｍより大きく且つアスペクト比が１０より小さい柱状体の数が、太さが２μｍ以下またはアスペクト比が１０以上である柱状体の数よりも多いことを特徴とする多孔質材料１。耐熱性及びガス透過性に優れた多孔質材料及びその製造方法、並びにハニカム構造体を提供する。
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【課題】金属ケイ素粒子を出発原料とし、除塵や脱塵に最適な細孔径、気孔率を有する窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法を提供する。
【解決手段】金属ケイ素粒子と酸化物セラミックス中空粒子とを含む成形体を窒素雰囲気中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法であって、熱処理の過程で酸化物セラミックス中空粒子と反応して溶融物を生成する無機粒子を酸化物セラミックス中空粒子がそのままの形態で残留するのを実質的に防止する含有量で成形体中に含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 抵抗の温度依存性が小さいヒータ用部品としての炭化ケイ素焼結体及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】
炭化ケイ素粉末と炭素粉末とを溶媒中に分散してスラリー状の混合粉体を得る工程と、上記混合粉体を成形型に流し込み乾燥させてグリーン体を得る工程と、上記グリーン体を窒素雰囲気下１５００℃〜１９５０℃で仮焼して仮焼体を得る工程と、窒素雰囲気下１４５０℃〜２０００℃で、上記仮焼体に毛細管現象により溶融した金属ケイ素を含浸させ、上記仮焼体中の遊離炭素と毛細管現象により上記仮焼体中に吸い上げられたケイ素とを反応させて炭化ケイ素体を得る工程と、を有するヒータ用炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 軽量高剛性セラミック部材を提供する。
【解決手段】セラミック部材１０は、隔壁１１により仕切られた多数の柱状空隙部１２を有するハニカム構造部材１３と、ハニカム構造部材１３の開口面に設けられる板部材１４とが接合された構造を有する。セラミック部材１０の空隙率を５０％以上とする。また、ハニカム構造部材１３の高さ（ｈ）を隔壁１１の厚さ（ｔ）で除した値（ｈ／ｔ）を１０超１５０以下とし、そのヤング率を２２０ＧＰａ以上とした。 （もっと読む）

炭化ケイ素を含有するセラミック本体と、セラミック本体の上に設けた酸化物層とを含む、セラミック部材が提供され、酸化物層は、アルミナ及びアルミノケイ酸塩のうちの少なくとも一方を含む異方性形状の結晶を有する結晶性相を含有する。
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機械的強度が高く、除塵、脱塵に最適な窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法を提供する。 平均粒子直径０．２〜５０μｍの金属ケイ素粒子５〜９５質量％と平均粒子直径０．２〜４０μｍの窒化ケイ素粒子３〜９０質量％とシリカ粒子０．１〜２５質量％とからなる混合物と、気孔形成剤とを、含むハニカム成形体であって、前記混合物５０〜９５質量％と、前記気孔形成剤５〜５０質量％とを含み、かつ前記混合物と前記気孔形成剤との合量が８０質量％以上であるハニカム成形体を窒素中で熱処理することにより実質的に金属ケイ素を窒化ケイ素とすることを特徴とする窒化ケイ素質ハニカムフィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】非酸化物系セラミックスの表面に安定した超平滑な表面を形成したセラミック複合体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ケイ素及び酸化物を主成分とする混合粉末を成形する工程と、成形後、窒素ガスを含気流中で焼成し、前記ケイ素を窒化ケイ素に転化させると同時に焼結せしめる工程と、酸素を含む雰囲気中で加熱し、前記焼結体内部に存在する酸化物を毛管現象によって表面に染み出させた後、冷却して固化させる工程により、緻密で超平滑な表面を形成したセラミック複合体を製造する方法、及び平滑で緻密な表面を形成したセラミック複合体。
【効果】本発明によれば、加工や吹きつけでは得ることが困難な超平滑で安定な表面を有するセラミック焼結体及びその製造方法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、気孔率と平均細孔径が共に大きく、しかも細孔径の小さい気孔が少ない気孔分布を有し、低圧力損失でＤＰＦとして好適な窒化ケイ素質フィルタの製造法を提供する。
【解決手段】金属ケイ素粒子３５〜５８質量％と、有機高分子粒子３０〜６２．５質量％と、有機物残炭防止剤である無機粒子Ａと、窒化ケイ素の焼結助剤である無機粒子Ｂとを含む成形体を、窒素中で熱処理することにより実質的に金属ケイ素を窒化ケイ素とする窒化ケイ素質フィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】摩擦リングおよびハブプレートをセラミック材料によって一部品で形成する。
【解決手段】金属ハブプレートを用いることなく車軸に対して直接に固定できるカーボンセラミックブレーキディスクであって、炭素繊維で補強され且つ回転軸の近傍でハブプレートの形状を成すとともに外周の近傍で環状ディスクの形状を成すセラミックによって形成されているカーボンセラミックブレーキディスク。 （もっと読む）

本発明は、複合セラミック体およびその製造方法に関する。複合セラミック体は、炭素を含有する繊維強化された芯部領域と、ＳｉＣを含む表面領域とを有している。複合セラミック体の良好な長期挙動を得るために、芯部領域の内部を起点として表面領域の内部に至るまでＳｉＣの割合が連続的または実質的に連続的に変化するように、複合セラミック体がＳｉＣを含んでいることが提案される。 （もっと読む）

本発明の炭化珪素質多孔体は、炭化珪素粒子と金属珪素とが、炭化珪素粒子相互間、及び／又は炭化珪素粒子と金属珪素との間に細孔を保持した状態で結合されてなる炭化珪素質多孔体であって、この細孔のうち、炭化珪素粒子相互の表面間、又は炭化珪素粒子表面と金属珪素表面との間の最短距離が１０μｍ以下の微細孔部分の少なくとも一部に、珪素、アルミニウム及びアルカリ土類族金属のそれぞれの酸化物を含有する酸化物相が埋設されてなり、微細孔部分を含む細孔のうち酸化物相が埋設されていない部分の体積の総計（全気孔体積）に対する、微細孔部分のうち酸化物相が埋設されていない部分の体積の合計（微細孔部分の気孔体積）の割合が２０％以下であり、例えば、自動車の排気ガス浄化用のフィルタや触媒担体等を構成する材料として好適に用いることができる。
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炭化ケイ素焼結体の断面研磨面の炭化ケイ素粒子とケイ素粒子の面積から、気孔率（％）＝（ケイ素粒子の面積／（ケイ素粒子の面積＋炭化ケイ素粒子の面積））×１００として求めた気孔率が１５％以上３０％以下であり、残留ケイ素の含有量が炭化ケイ素焼結体の全体積に対して４％以下である炭化ケイ素焼結体。
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【課題】 耐フッ酸性に優れた窒化アルミニウム焼結体、およびそれを用いた静電チャックを提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム焼結体は、IIIａ族元素から選択される少なくとも１種の元素の酸化物を０．５〜５質量％含有し、表面粗さがＲａ０．２μｍ以下に調整された面を備えている。また、この面に４６質量％フッ酸溶液を接触させて１時間放置した後のその接触面の表面粗さはＲａ０．２μｍ以下に維持される。このような窒化アルミニウム焼結体を誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより半導体ウエハ１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、セラミックマトリックス複合材構成部品、例えばタービン構成部品を形成する方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、（ａ）化学気相堆積によって繊維トウ（１０）に繊維被覆を施す段階と、（ｂ）高温及び低温バインダ、炭化ケイ素粉末、カーボンブラック並びに水で構成された水性スラリーを通して繊維トウ（１０）を引張り、それによってプリプレグテープを形成する段階と、（ｃ）プリプレグテープをドラム（１８）上に巻取る段階とを含み、さらに（ｄ）プリプレグテープを切断し、積重ねかつ積層して複合材予備成形物（２０）を形成する段階と、（ｅ）予備成形物を溶融ケイ素で溶融浸潤する段階とを含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】 軽量化が図れ、強度が高い液晶製造装置用セラミック部材を提供すること。また、その電気抵抗が十分に高いこと。
【解決手段】 液晶製造装置に配置される液晶製造装置用セラミック部材において、２０％〜４０％の気孔率の炭化珪素であり、気孔の平均径が０．１μｍ〜１μｍである液晶製造装置用セラミック部材。 （もっと読む）