本発明は、窒化物結合シリコン窒化物（ＮＢＳＮ）から作られる半導体グレードのシリコンのインゴットの製造用の再利用可能な坩堝に関する。この坩堝は、シリコン窒化物粉末をシリコン粉末と混合し、坩堝のグリーン体を形成し、次いで、窒素を含有する雰囲気において前記グリーン体を加熱し、前記シリコン粉末が窒化されてＮＢＳＮ坩堝を形成することによって形成されてもよい。前記坩堝は、正方形の断面の坩堝の下部（１）及び壁（３、５）であるＮＢＳＮ材料のプレート要素によって組み立てられてもよく、及び、シリコン粉末及び任意にシリコン窒化物粒子を含むペーストを付け、続いて窒素雰囲気で第２の熱処理を行うことによって任意に固定部を密閉することによって組み立てられてもよい。
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【課題】より生産性が高く、更に常温及び高温環境下における機械的特性に優れたＳｉＣセラミックス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＣセラミックスであって、平均粒径Ｐ_ｓ＝１０μｍ^φ以下のＳｉと、平均粒径Ｐ_ｓ＝１μｍ^φ以下のアモルファスＣからなる出発原料より構成され、焼結体のβ−ＳｉＣとしての相対密度が９０％以上であるものとする。このとき、Ｂ及びＣの混合物をＢ−Ｃ系焼結助剤として含むことが好ましい。さらに、上記組成からなる焼結体中に、ＳｉＣに対して外割りで３〜１５ｖｏｌ％のカーボンナノファイバーを略均質に分散させた状態で含むことがより好ましい。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制しつつ炭化金属の生成率を向上させることができる炭化金属焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】金属（珪素Ｓｉ）又は金属元素を含む化合物と炭素を含む繊維状の化合物とを混合して混合物を得る混合工程Ｓ１と、該混合工程Ｓ１で得られた混合物を湿式抄紙法にてシート状に成形するシート状成形工程Ｓ２と、該シート状成形工程Ｓ２にて得られたシート状のものを焼成する焼成工程Ｓ３と、当該混合物をマイクロ波加熱により焼結して炭化金属焼結体を得る焼結工程Ｓ４とを有する炭化金属焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高通気性でパティキュレートの捕捉除去効率に優れ、ＤＰＦとして好適な窒化ケイ素フィルタの製造法の提供。
【解決手段】金属ケイ素粒子と、気孔形成材とを含む成形体を窒素中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素フィルタの製造法であって、前記気孔形成材の全質量中に、平均粒子直径が１０〜３０μｍの略球状の粒子を１０〜５０質量％及び平均粒子直径４０〜１００μｍの略球状の粒子を９０〜５０質量％含むことを特徴とする窒化ケイ素質フィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】 ＳｉＯ_２膜に替わる特性を備えた高誘電体ゲート絶縁膜として使用することが可能であるＺｒＯ_２・ＳｉＯ_２又はＨｆＯ_２・ＳｉＯ_２膜の形成に好適な、耐脆化性に富むシリサイドターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】 水素化金属（Ｍ）粉とＳｉ粉を１：０．８〜１：１．２のモル比に調製・混合した後、焼成し、焼成の際の加熱により、脱水素とシリサイド化を一度に行い、得られたシリサイド粉を粉砕し、これを焼結して、遊離Ｓｉが存在せず、相対密度が９９％以上であるＭＳｉ_{０．８−１．２}（Ｍ：Ｚｒ、Ｈｆ）からなる焼結体を製造する。耐脆化性に優れたゲート酸化膜形成用シリサイドターゲットが得られる。 （もっと読む）

ドープされた及びドープされていない化学量論的な高純度の多結晶ＡｌＮセラミックスの製造が、例えばＡｌペレットを窒素ガスと反応させることによって行われる。このような多結晶ＡｌＮセラミックスは、高純度のＡｌＮ単結晶の製造で使用することができ、このＡｌＮ単結晶は、その導電性を増大させるためにアニールすることがでる。 （もっと読む）

【課題】高通気性であっても機械的強度が高く、ＤＰＦとして好適な窒化ケイ素フィルタの製造法の提供。
【解決手段】金属ケイ素粒子と、気孔形成材とを含む成形体を窒素中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素フィルタの製造法であって、前記気孔形成材は、その断面形状が略球状の粒子と、柱状の粒子とからなり、前記気孔形成材の全質量中の前記略球状の粒子の含有割合が２０〜９０質量％であり、かつ、前記柱状の粒子の含有割合が８０〜１０質量％であることを特徴とする窒化ケイ素質フィルタの製造法。水銀圧入法で測定される前記フィルタの平均細孔直径が１５μｍ以上であると好ましい。 （もっと読む）

【課題】排気ガス浄化用フィルター及びその製造方法を提供する。
【解決手段】排気ガス浄化用フィルターにおいて、フィルター基材が、遷移金属元素（Ｔｉ、Ｎｂ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｖ、Ｍｏ）の中の一つ、３族又は４族元素（Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ）の中の一つ、及び炭素又は窒素の３元素からなる３元系化合物で構成されていることを特徴とする排気ガス浄化用フィルター、及びその製造方法。
【効果】ディーゼル及びガソリンエンジン排気ガス浄化用フィルターに求められる高融点、高温で分解しない安定性、高温強度、高温耐酸化性、耐熱衝撃性、高比表面積、低圧損、狭い細孔径分布、高熱伝導性、良好な触媒濡れ性、制振性などを兼ね備えた新しい材料系の排気ガス浄化用フィルターを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】炭化硼素質焼結体の結晶粒径分布がほぼ均一であり、高い衝撃を受けた際のクラックの進展を抑制することができず、特に防護部材として用いた場合には圧縮強度が十分でないため、クラックが生じやすいという。
【解決手段】炭化硼素を主結晶相とする炭化硼素質焼結体であり、断面視における所定範囲内の炭化硼素の結晶のうち、結晶粒径１０μｍ以下の結晶を前記所定範囲に対して５０面積％以上有するととともに、結晶粒径２０μｍ以上の結晶を前記所定範囲に対して５面積％以上有する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ高熱伝導窒化ケイ素セラミックス、その製造方法及びその応用製品を提供する。
【解決手段】ケイ素粉末の反応焼結を利用して合成した反応焼結窒化ケイ素焼結体であって、β相窒化ケイ素を主成分とし、Ｙ、Ｙｂ、Ｎｄ、Ｓｍの少なくとも一種を酸化物に換算して０．５〜７ｍｏｌ％含有し、Ｍｇの存在量が酸化物に換算して２ｍｏｌ％以下であり、１００Ｗ／ｍＫ以上の熱伝導率、６００ＭＰａ以上の３点曲げ強度、及び予き裂導入破壊試験法で測定した破壊靱性が７ＭＰａｍ^１／２以上であることを特徴とする窒化ケイ素焼結体、その製造方法、及びその応用製品。
【効果】低品位のＳｉ原料を含む多様なＳｉ原料粉末を出発原料として用いることが可能で、しかも優れた特性を有する窒化ケイ素焼結体を低コストで合成できる。 （もっと読む）

【課題】多くの不純物酸素を含む低品位のケイ素粉末を出発原料として用いることができ、従来の成形、焼成プロセスを用いて、優れた機械特性と高熱伝導性を併せ持つ窒化ケイ素焼結体を製造し、パワーモジュール用基板に適した高熱伝導窒化ケイ素基板を提供する。
【解決手段】ケイ素粉末に、ケイ素を窒化ケイ素に換算した際の比率において、０．５〜７ｍｏｌ％の希土類元素の酸化物と、１〜７ｍｏｌ％のマグネシウム混合物とを、上記ケイ素粉末に含まれる不純物酸素とマグネシウム化合物からの酸素との総量が０．１〜１．８質量％となるように混合し、該混合物を成形して窒化し、得られた窒化体を０．１ＭＰａ以上の窒素中で加熱して相対密度が９５％以上になるように緻密化し、得られた板状の窒化ケイ素焼結体の少なくとも一方の面に、マグネシウム、チタン、ジルコニウムのうち少なくとも一種の金属元素を含むろう材を用いて金属板を接合する。 （もっと読む）

【課題】
資源的に最も豊富でありかつ極めて優れた特性を有するものの、製造コストが高価に過ぎる為に活用されていないケイ素系ファインセラミックス、βサイアロンの製造コストが低減されて、広範な社会基盤材料としての活用が嘱望されている。
【解決手段】
燃焼合成により合成したβサイアロンを平均粒径５００ｎｍ以下、最大粒径５μｍ以下に粉砕分級後、ゴム型を用いた成型、マイクロウエーブ焼結を介して製品化する事により、製造コストが低減できると共に、従来材以上に優れた機能が確保できた。これによりβサイアロンが社会基盤材料として活用できる。 （もっと読む）

【課題】クラッチ廃材等のSiC生成に必要な珪素と炭素成分を含む複合体シートから、適当な強度を有するSiC含有シートを製造する方法を提供すること。
【解決手段】複合体シートを予備加熱し、1400〜1600℃で熱処理することを含むSiC含有シートの製造方法であって、前記複合体シートは、セルロースおよび合成繊維の少なくとも一方、炭素粉体および炭素繊維の少なくとも一方、珪藻土並びにフェノール樹脂を含有し、かつ少なくとも前記予備加熱は、複合体シートからの揮発成分雰囲気下で行う前記方法。 （もっと読む）

【課題】高気孔率であっても機械的強度が高く、ＤＰＦとして好適な窒化ケイ素フィルタの製造法の提供。
【解決手段】金属ケイ素粒子と、気孔形成材とを含む成形体を窒素中で熱処理することにより金属ケイ素を実質的に窒化ケイ素とする窒化ケイ素フィルタの製造法であって、前記金属ケイ素粒子は、全金属ケイ素粒子中の粒子直径２０〜１００μｍの金属ケイ素粒子の含有割合が９０質量％以上であり、かつ、粒子直径１〜１０μｍの金属ケイ素粒子の含有割合が０．１〜１０質量％であることを特徴とする窒化ケイ素フィルタの製造法。 （もっと読む）

【課題】木炭から出発して、高い炭化珪素含有量を有し、密で、圧密で、均質な等方性セラミック成形体を製造するための方法を提供する。
【解決手段】幾何学的密度が少なくとも２．８０ｇ／ｃｍ³の炭化珪素含有セラミックスを製造するための方法であって、粒子の粒径が最大４０μｍである木炭粉を調製する工程、木炭粉と炭化可能なバインダとから均質混合物を製造する工程、この混合物から成形体（グリーン体）を製造する工程、グリーン体を９００℃以上の温度の非酸化性雰囲気中で炭化し、炭化された予備成形体とする工程、及び炭化された予備成形体を溶融珪素で溶浸して珪化する工程を含む方法。 （もっと読む）

【課題】セラミック分離膜の基材等として用いるのに好適な非酸化物系多孔質セラミック材を比較的低コストに製造し得る方法を提供すること。
【解決手段】本発明の製造方法は、炭化ケイ素粉末及び／又は窒化ケイ素粉末と、金属シリコン粉末と、酸化イットリウム粉末及び／又は酸化アルミニウム粉末とを含む成形用材料であって、炭化ケイ素粉末と窒化ケイ素粉末の合計１００質量部に対して１０〜１００質量部の金属シリコン粉末が添加され、且つ、該金属シリコン粉末の含有量の２〜２５０mass％に相当する量であって成形用材料全量の２０mass％を超えない量の酸化イットリウム粉末及び／又は酸化アルミニウム粉末が添加された成形用材料を用意する工程と、該成形用材料を所定の形状に成形する工程と、該成形用材料から成る成形体を窒化可能な雰囲気中で反応焼結させる工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】酸素濃度が１０００ｐｐｍ以下の非酸化性雰囲気であっても強度の著しい劣化や破損を防止することができるとともに、実使用できる寿命を大幅に向上させることができる非酸化性雰囲気用窯道具を提供する。
【解決手段】主成分としてＳｉＣとＳｉ₃Ｎ₄及び／又はＳｉ₂Ｎ₂Ｏを含んで構成され、酸窒化珪素と酸化珪素以外の無機酸化物を０．１２〜３．０質量％含有する非酸化性雰囲気用窯道具である。 （もっと読む）

高ＣＢＮ含有量の多結晶ＣＢＮ成形体を製造する方法を提供する。この方法は、ＣＢＮと粉末結合剤相との混合物の少なくとも８０体積％の量でＣＢＮが存在する混合物を摩砕することにより粉末組成物を製造することを含む。この粉末混合物を、ＣＢＮ成形体を製造するのに適した高温及び高圧条件におく。 （もっと読む）

【課題】
静電チャック部材、半導体製造部材等として好適な高剛性で低熱膨張係数を有するアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体を提供する。
【解決手段】
炭化珪素粉及び珪素粉、或いは、炭化珪素粉、窒化珪素粉及び珪素粉を使用し、反応焼結により珪素粉を窒化させてセラミックス多孔体を作製し、アルミニウムを主成分とする金属を含浸することを特徴とし、未反応の残存珪素粉が、セラミックス多孔体中の１０質量％以下であることを特徴とするアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体の製造方法。炭化珪素粉及び窒化珪素粉を含み、相対密度が６０〜８５％であるセラミックス多孔体にアルミニウムを主成分とする金属を含浸することを特徴とするアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体。
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【課題】ガス分離材における支持体（基材）等に適した窒化ケイ素多孔質体を形状精度よく製造し得る方法、及び、係る多孔質体を用いたガス分離材を提供する。
【解決手段】本発明の窒化ケイ素多孔質体の製造方法では、金属Ｓｉ粉末と金属Ａｌ粉末と酸化イットリウム粉末Ｙ₂Ｏ₃と酸化アルミニウム粉末Ａｌ₂Ｏ₃とを含む成形用材料を所定の形状に成形し、該成形体を仮焼した後、窒化可能な雰囲気中で反応焼結させる。このときの仮焼温度及び反応焼結温度は、Ｘ線回折パターンにおける酸窒化物のピーク強度Ｘ_ONとβ型窒化ケイ素のピーク強度Ｘ_SiNとの強度比（Ｘ_ON／Ｘ_SiN）が２０〜４０であり、且つ、３点曲げ強度（２５℃）が７０ＭＰａ以上である窒化ケイ素多孔質体が形成されるように決定される。本発明のガス分離材は、該多孔質体から構成される基材１４と、その上に形成されたガス分離膜１０とを備える。 （もっと読む）