旭硝子株式会社により出願された特許

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【課題】EUVL用露光装置の光学系部材として好適な熱膨張特性を有するTiO2−SiO2ガラスの提供。
【解決手段】TiO2含有量が3〜9質量%であり、熱膨張係数が0ppb/℃となる温度が15〜35℃の範囲にあり、仮想温度が850℃以下であり、熱膨張係数が0±5ppb/℃となる温度幅が7.8℃以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。 (もっと読む)


【課題】EUVL用露光装置の光学系部材として使用した場合に、高EUVエネルギー光の照射時の線熱膨張係数がほぼゼロとなり、かつ超高平滑性を有するTiO2−SiO2ガラスの提供。
【解決手段】TiO2含有量が7.5〜12質量%であり、線熱膨張係数が0ppb/℃となる温度が40〜110℃の範囲にあり、脈理の応力レベルの標準偏差(σ)が0.03MPa以下であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。 (もっと読む)


【課題】被処理対象物に対し、過度の損傷や機能劣化を生ずることなく微細加工が可能であり、かつ被処理対象物に残留した場合でも容易に除去可能とする。
【解決手段】基板1に、ブラストメディアを噴射し、バイアホール7内部または周縁部に付着したスミア9を除去する。ブラストメディアは、平均粒子径が20μm以下で、粒子径50μm以上の粒子が5質量%以下であり、水溶性無機塩を90質量%以上含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、耐擦傷性の高い反射鏡と該反射鏡の製造方法を提供する。
【解決手段】基材11と、基材11上に形成された第1の銀膜13と、第1の銀膜13上に形成された、金属酸化物からなる中間膜14と、中間膜14上に形成された第2の銀膜15と、第2の銀膜15上に形成された、金属酸化物からなる保護膜16とを有する反射鏡10。 (もっと読む)


【課題】食品、医薬品、入浴剤の分野に好適な、固結防止剤を添加する必要のない、固結性の小さい炭酸水素ナトリウム(重曹)結晶粒子の製造法と包装方法を提供する。
【解決手段】平均粒子径50〜500μmの炭酸水素ナトリウム結晶粒子を、カリウム濃度が400質量ppm以下である炭酸水素ナトリウム含有水溶液の母液から析出させて製造し、次いで、炭酸ガス濃度が3体積%以上の乾燥ガスを使用して該炭酸水素ナトリウム結晶粒子を乾燥せしめることにより、結晶粒子中のカリウム濃度が50質量ppm以下、かつ炭酸イオン濃度が炭酸ナトリウム換算で1質量%以下である炭酸水素ナトリウム結晶粒子を製造する (もっと読む)


【課題】コンピテントセルの調整が不要で、簡易にかつ多数の菌株を処理することのできる、酵母の形質転換方法を提供する。
【解決手段】形質転換用DNA、キャリアDNA、ポリエチレングリコールおよびリチウム塩を含む緩衝液からなり、100μLあたり形質転換用DNAを0.5〜10μg、キャリアDNAを該形質転換用DNAに対し20倍質量以上含む処理溶液に、SD固体培地上で培養した酵母菌体を形質転換用DNA1μgあたり1×10個以上添加して、25〜35℃で30分以上インキュベーションすることを特徴とする、分裂酵母を形質転換用DNAで形質転換して形質転換体を製造する方法。 (もっと読む)


【課題】試作機等の実験設備を用いることなく、構造物の温熱快適性能を評価する。
【解決手段】(i)第1部品等に関する物性値と、(ii)少なくとも構造物内における放射熱伝達量と、透光部材を透過して構造物内の人体形状を模した測定装置に到達する日射量、建造物に到達する日射量、構造物内における対流熱伝達量、構造物内における湿度、および/または測定装置の体温調節機能のうちの少なくとも何れか一つとに基づいて、測定装置の表面からの熱損失量、測定装置の温度、および/または測定装置の表面におけるぬれ率のうちの少なくとも何れか一つを算出するステップと、この算出結果を用いて測定装置の温熱指標を算出するステップとを有する。 (もっと読む)


【課題】圧縮機にて潤滑油の存在下で圧縮されるトリフルオロイオドメタンを含む作動媒体を安定化できる安定化剤、前記安定化剤を含有する作動媒体組成物、ならびに前記安定化剤を用いた熱交換方法の提供。
【解決手段】圧縮機にて潤滑油の存在下で圧縮されるトリフルオロイオドメタンを含む作動媒体の安定化剤であって、ニトロ基を有する炭化水素類を有効成分とする安定化剤。トリフルオロイオドメタンを含む作動媒体と、前記安定化剤とを含有する作動媒体組成物。圧縮機にて、トリフルオロイオドメタンを含む作動媒体を、潤滑油および前記安定化剤の存在下で圧縮する工程を含む熱交換方法。 (もっと読む)


【課題】 簡素な構造で組み立てが簡単でありながら防塵可能な炉の天井構造体及び炉の天井構造体の組み立て方法を提供すること。
【解決手段】 保持部は、発熱体の端部を係止する溝を有する一対の絶縁体を備える。発熱体を一対の絶縁体の溝間でこの発熱体が長手方向に対し円弧状になるように保持してある。天井部材6は複数の第一薄板部材20a〜eを積層し、発熱体に沿って円弧状に形成してある。各天井部材6が少なくとも炉内外を貫く貫通部材14を挿入可能な間隙をおいて並ぶように複数のヒーターユニットを配置してある。この間隙11を第二薄板部材12a,bによって塞ぐことで天井を形成する。この第二薄板部材12a,bは、貫通部材14がクリアランス15をもって貫通する第一貫通孔13を備え、貫通部材14を密接状態で貫通させる第二貫通孔を有する閉塞部材16及びこの閉塞部材16を固定する固定部材17,18によって複数の第一薄板部材20a〜eの間で先のクリアランス15を閉塞する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、極細のPTFE樹脂製チューブを煩雑な工程を経ることなく製造することができるPTFE樹脂製チューブの製造装置及びその製造方法並びにPTFE樹脂製チューブを提供する。
【解決手段】押出成形装置10のマンドレルを、マンドレル芯材2とマンドレル補強管3とからなる二重軸構造とする。マンドレル補強管3の下端部から突出されたマンドレル芯材2の下端部2Aを、ダイ6の開口部6Aを介してトップダイ7の形成用開口部7Aに貫通配置する。マンドレル芯材2の外径は、0.05〜1.0mmであり、マンドレル補強管3の内径はマンドレル心材2の外径と同寸法である。トップダイ7の形成用開口部7Aの直径は0.11〜1.4mmである。押出成形装置10によって製造されるPTFE樹脂製チューブの内径は0.05〜1.0mmであり、厚さは、0.03〜0.2mmである。 (もっと読む)


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