【課題】ウエットエッチングにより微細で高アスペクト比の構造を被加工材料に高精度に加工する。
【解決手段】水晶基板２０の表面に耐蝕膜２１を形成し、その上にフォトレジスト層２２を形成しかつ加工しようとする溝の開口形状をパターニングし、露出した耐蝕膜を除去して水晶基板表面が露出するパターン開口２４を形成する工程と、パターン開口内に露出した水晶表面をウエットエッチングして浅い凹部２５を形成する第１ウエットエッチング工程と、凹部及びパターン開口の内面をＣｒの保護膜２６で被覆し、かつ凹部底面の保護膜を除去して該底面の水晶面を露出させ、露出した凹部底面をウエットエッチングする第２ウエットエッチング工程とからなり、凹部が所望の溝の深さになるまで第２エッチング工程を繰り返し行う。 （もっと読む）

【課題】従来の加速度センサーでは、支持梁と共振体とで材質の熱膨張率が異なり、温度変化によって支持梁と共振体とに変形差が生じることにより、加速度を正確に検出できないことが考えられる。
【解決手段】慣性力を圧力として受ける隔壁３２と、隔壁３２に作用するＸ軸方向とは異なる方向の圧力を検出する圧力センサー１１０ａと、圧力センサー１１０ａが圧力を検出するときに、隔壁３２に作用するＸ軸方向の圧力を検出する圧力センサー１１０ｂと、圧力センサー１１０ａ，１１０ｂの検出結果に基づいて加速度を検出する加速度検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】温度補償型発振回路を提供する。
【解決手段】圧電振動子１４と、電圧制御型の第１可変回路１６、及び前記圧電振動子１４の発振周波数の温度特性を相殺する温度特性を有する電圧制御型の第２可変容量回路２４、が接続された発振回路１２と、前記第１可変容量回路１６に前記第１可変容量回路１６の容量を制御する電圧を出力して前記発振周波数を所定の値に調整するＡＦＣ回路４８と、前記第２可変容量回路２４に１次の温度特性を有する温度補償電圧を出力する温度補償回路４０と、を有し、前記発振回路１２には、電圧制御型の第３可変容量回路３２が接続され、前記第３可変容量回路３２には、温度センサー３８からの出力と前記ＡＦＣ回路４８の出力とを掛け合わせることにより前記第３可変容量回路３２に１次の温度特性を有する電圧を出力する温度特性補正回路５４が接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】ＡＴカット水晶板に水晶振動片の外形をウエットエッチングで加工する工程で、水晶振動片を折り取るための溝を水晶板との連結部に形成した場合にエッチングの入り込みを抑制する。
【解決手段】水晶振動片の外形を有する水晶素子片１１と水晶板の支持枠部４と水晶素子片を支持枠部に結合する連結部１２ａ，１２ｂとを加工する工程と、連結部を折り取って水晶振動片を切り離す工程とを有する。連結部は、水晶素子片のＺ´方向に延長する横辺に、Ｘ方向に延長する互いに対向する各縦辺に沿って延長するように、水晶素子片の外形線に沿って有底の溝１４ａ，１４ｂを形成するように加工される。＋Ｚ´側の溝は連結部の＋Ｙ´側の主面１３ａに、−Ｚ´側の溝は−Ｙ´側の主面１３ｂに配置される。 （もっと読む）

【課題】０点電圧の調整値を外部から簡単に設定可能な物理量検出装置、物理量検出システム及び物理量検出装置の０点電圧調整方法を提供すること。
【解決手段】本発明の角速度検出装置２（物理量検出装置の一例）は、振動子１００と角速度検出用ＩＣ１０を含む。角速度検出用ＩＣ１０は、振動子１００の出力信号に基づいて角速度（物理量の一例）に応じた検出信号６２を生成する。角速度検出用ＩＣ１０は０点電圧調整値設定回路５０と０点電圧調整回路６０を含み、０点電圧調整値設定回路５０は、外部入力端子１５から入力された０点電圧調整信号１８に基づいて０点電圧調整値５２を設定し、０点電圧調整回路６０は、０点電圧調整値５２に基づいて、検出信号６２の０点電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに、機械的強度を向上させることができる圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電デバイス１は、圧電体素子２を収容したパッケージ３と、柱部材５１を介してパッケージ３を支持する実装基板４と、柱部材５１により形成されたパッケージ３および実装基板４間の隙間に位置するように実装基板４に設けられ、圧電体素子２を駆動するための電子部品６とを有し、柱部材５１は、パッケージ３側の上端面５１１に開放する凹部５１２を有しており、柱部材５１およびパッケージ３は、凹部５１２に溜められた半田により接合されている。 （もっと読む）

【課題】各種特性（特に、ストレスマイグレーションに起因する周波数変動の抑制効果）に優れる弾性表面波素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１の製造方法は、圧電体基板２Ａの一方の面上に、複数の電極指３１ａ、３１ｂを備えるＩＤＴ（櫛歯電極）３を形成する工程と、ＩＤＴ３の圧電体基板２Ａとは反対側の面上にマスク６（保護膜）を形成した状態で、圧電体基板２Ａをドライエッチングすることにより、圧電体基板２Ａの一方の面の電極指３１ａ、３１ｂ同士の間に対応する部分に、溝２５を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】感温素子および加熱手段を用いて周囲の温度変化に対する周波数の安定化を図るようにした恒温型圧電発振器を提供する。
【解決手段】恒温型水晶発振器１において、基板４０の凹部４２の凹底部分には、複数の第１の加熱用素子５０が接合され、この凹部４２の開口部側には水晶振動子３０が接合されている。第１の加熱用素子５０と水晶振動子３０との間には放熱性樹脂５１が、第１の加熱用素子５０および水晶振動子３０に密着させて設けられ、これにより、第１の加熱用素子５０と水晶振動子３０とは熱的に結合されている。基板４０の水晶振動子３０が接合された一方の主面とは異なる他方の主面側には、感温素子６０、発振用素子７０、および温度制御用素子８０などの回路素子が接合されている。基板４０は、ベース基板１２１に複数立設された金属ピン５ａ〜５ｄに支持されている。ベース基板１２１には、カバー体１２９が被せられるように接合されている。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ光の光路長変化を測定誤差の原因とならないように補正することができるテラへルツ分光測定装置を提供すること
【解決手段】レーザー光を受けてテラヘルツ光を発光する発光素子１０と、前記テラヘルツ光を受光して検出信号を検出するための受光素子２０と、前記発光素子１０と前記受光素子２０との間に配置される試料Ｓと、前記発光素子１０から前記試料Ｓを通じて前記受光素子２０までの光路において、光路長を変更するための光学ユニット４０と、を備えたことを特徴とするテラへルツ分光測定装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、エージング特性およびリフロー特性の優れる弾性表面波素子およびそれを備える圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子２は、圧電性を有する圧電体材料で構成された圧電体基板２１と、圧電体基板２１の一方の面上に設けられ、圧電体基板２１に弾性表面波を励振させるためのＩＤＴ２２とを有している。圧電体基板２１の厚さは、６０μｍ〜２００μｍである。また、圧電体基板２１は、ＩＤＴ２２の構成材料の収縮力により生じる応力により、ＩＤＴ２２が設けられた面側に凹むように反っている。 （もっと読む）