【課題】信頼性を向上させることが可能な複合基板、この複合基板を備えた電子デバイス及び電子機器の提供。
【解決手段】複合基板１は、基板本体である絶縁部２０と、絶縁部２０を貫通する分離部１５と、を備え、分離部１５は、一方の端部につば部１５ａを有する柱状であって、つば部１５ａと柱状部１５ｂとに跨り、つば部１５ａを貫通する凹部１５ｃと、凹部１５ｃによりつば部１５ａから柱状部１５ｂにかけて形成された開口部１５ｄとを、有し、絶縁部２０における凹部１５ｃ内の部分と柱状部１５ｂを取り巻く部分とが、開口部１５ｄを介して一体化されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 複雑な圧力伝達機構を用いる必要がなく、簡単な構造のセンサを用いて感度よく測定することができる水圧測定装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ１０の片側に光源１１、他方側に光検出部１２とを備え、光ファイバ１０の中間領域に水圧を検出する水圧センサ部１３が設けられ、水圧センサ部１３は、光ファイバで形成される感圧部１０ａと、周期の溝面が形成され、溝面を感圧部の光ファイバに対し軸方向に沿って当接させる棒状の溝付き部材１５と、感圧部１０ａが溝付き部材１５の溝面に圧接されるように固定するファイバ圧接部材１６とからなる光透過型のＬＰＦＧにより構成されるようにすることで、ＬＰＦＧによる特定波長の減衰量を水圧に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧力センサ素子の耐久性を向上させることを目的とする。
【解決手段】圧力センサ素子３０は、センサ面３３１および側面３３３を有する板状のシリコン基板３３０と、シリコン基板３３０のセンサ面３３１に接合された第２平面３２２、および側面３３３と略同一平面上に配置された側面３２３を有する板状のガラス基板３２０とを備え、ガラス基板３２０は、更に、第２平面３２２から側面３３３に向かうに従ってセンサ面３３１から離間しながら第２平面３２２と側面３２３とを繋ぐ面取り面３２６を有する。 （もっと読む）

【課題】単一の電子基板、改良された環境保護、およびより簡単に量産される安価な圧力センサを提供する。
【解決手段】感知素子ポート１１４と、支持リング１１０と、感知素子ポートと支持リングとの間に柔軟な干渉フィット１１２を提供し、実質的な同一平面のラップ結合を形成するための複数の干渉フィットスリット１３２とを含む。また、支持リング内で、安定した搭載を提供する平坦な搭載タブ１２４ａに取り付けられた電子基板１２２を含む。 （もっと読む）

【課題】液体の粘度や密度、気体の圧力や真空度を広い測定範囲で高感度、高精度にリアルタイムで測定できる圧電センサーを提供する。
【解決手段】圧電センサー素子１１は、基部１８から延出する３つの振動腕１９ａ〜１９ｃの外側に側辺部２０ａ，２０ｂを有する圧電振動片１２が、被測定流体を外部から導入しかつ流通可能に連通孔１７を設けたパッケージ１３内に、基部において片持ちに固定支持される。圧電振動片の側辺部は、隣接する振動腕の側面と平行をなしかつその間に所定寸法の狭い隙間２７ａ，２７ｂを画定する平坦な側面２６ａ，２６ｂを有する。振動腕を面外方向に屈曲振動させると、側辺部と振動腕との隙間内で被測定流体が定常的な速度分布の流れを生じる。このとき振動腕が被測定流体から受ける粘性抵抗の変化を圧電振動片のＣＩ値の変化として検出し、被測定流体の圧力等の測定対象の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】液体の粘度や密度、気体の圧力や真空度を広い測定範囲で高感度、高精度にリアルタイムで測定できる圧電センサーを提供する。
【解決手段】圧電センサー素子１１は、被測定流体を外部から導入しかつ流通可能に連通孔１７を設けたパッケージ１３内に音叉型圧電振動片１２を備える。圧電振動片は基部１８において片持ちに固定支持され、振動腕１９の下側主面１９ａが平坦なキャビティ底面１６ａと平行をなしかつそれらの間に所定寸法ｓ１の狭い隙間２２を画定するように配置する。振動腕を屈曲振動させると、その下側主面が移動壁として固定壁であるキャビティ底面に対して所定の速度で往復移動し、隙間内で被測定流体が定常的な速度分布の流れを生じる。このとき振動腕が被測定流体から受ける粘性抵抗の変化を圧電振動片のＣＩ値の変化として検出し、被測定流体の圧力等の測定対象の変化を検出する。 （もっと読む）

圧力を測定するための光ファイバーシステムは、圧力センサー素子であって、少なくとも２つの平行する部分反射表面（５、７）を有し、前記表面の１つは、隔壁（６）両側の圧力差の結果として、もう１つの固定された前記表面に対して移動可能である隔壁上に配置され、前記表面は、前記２つの表面間の実際の距離に応じて、前記２つの表面に略垂直に入射して反射される光の干渉現象を起こすように配置される圧力センサー素子を有する。前記圧力センサー素子は少なくとも８００℃までの連続温度に耐える安定した物質から成り、前記隔壁（６）は炭化ケイ素から成り、前記センサー素子に接続している前記光ファイバー（３）の少なくとも一部（２３）は少なくとも８００℃の連続温度を耐えられる物質から成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】正確に圧力を検出することができる圧力センサ用容器、および圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ用容器は、セラミックスからなる基体１と、セラミックスからなり、圧力が作用することによって変位するダイアフラム２と、基体１とダイアフラム２との間に設けられた感圧室１ａとを備え、基体１とダイアフラム２とは、感圧室１ａの周囲において、基体１およびダイアフラム２の少なくとも１つから溶出されたガラス質成分３ａ（接合部３）を介して全周にわたって連続的に接合されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化による誤差を補正し、且つ温度センサーが低消費電流である圧力検出ユニットを得る。
【解決手段】圧力検出ユニットは、一対の振動腕２５ａ、２５ｂ及び一対の振動腕の両端部に夫々一体化された基部２４ａ、２４ｂを有する第１の圧電振動片２３と、振動腕２８及び振動腕の一端部に一体化された基部２７を有する第２の圧電振動片２６と、前記第１の圧電振動片２３の基部２４ａ、２４ｂが接合される一対の支持部１３ａ、１３ｂを有するダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と対向配置される基台１５と、を備えている。前記第２の圧電振動片２６の基部２７は前記第１の圧電振動片２３の一方の基部２４ａに同一面内で連結されている。 （もっと読む）

【課題】温度の影響を除去し、圧力測定精度を改善した低消費電流型の圧力検出ユニット
を得る。
【解決手段】圧力検出ユニット１は、一対の振動腕及び該一対の振動腕の両端部に夫々一
体化された基部を有する第１の圧電振動片２０と、振動腕及び該振動腕の一端部に一体化
された基部を有する第２の圧電振動片２５と、前記第１の圧電振動片２０の基部が接合さ
れる一対の支持部１３ａ、１３ｂを有するダイヤフラム１０と、前記ダイヤフラム１０と
対向配置される基台１５と、を備えている。そして、前記第２の圧電振動片２５は、前記
ダイヤフラム１０の厚み方向において前記第１の圧電振動片２０と重なり合わない位置に
配置されている。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動子のＣＩ値（クリスタル・インピーダンス）より圧力を計測する圧力センサを提供することである。
【解決手段】 圧力センサ（１００）は、所定の真空度で密閉したパッケージ（９０）と、パッケージ（９０）内に配置された圧電振動片（２１）と、圧電振動片のＣＩ値を計測するＣＩ値計測回路（５０）と、ＣＩ値とパッケージ内の圧力との関係を記憶した記憶部（６０）と、を備える。パッケージ（９０）はその一部に弾性変形する弾性変形領域を有し、弾性変形領域はパッケージ（９０）外の圧力にとって変形する （もっと読む）

【課題】放電が発生することを抑制可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】参照電極８ａ及び固定電極８ｂは、二酸化珪素(SiO₂)や窒化珪素(SiN)等の絶縁材料９内に埋設されている。このような構成によれば、Ｓｉ基板１とガラス基板４とを接合する際に固定電極８ｂとダイヤフラム部７間に電位差が発生することにより、放電が生じることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】接合面に十分な接合強度を得ることができ、かつビーム側への接着剤のはみ出しに起因する振動特性の劣化も防ぐことができる圧力センサを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧力センサは、双音叉型圧電振動片２０を感圧素子とするダイヤフラム型の圧力センサ１０であって、ダイヤフラム部３４に形成された載置部３６に接合される前記双音叉型圧電振動片２０の結合部２４に貫通孔２８を設け、前記載置部３６における載置面３８と前記結合部２４における接合面とを接着剤１２にて固定し、前記接着剤１２を前記貫通孔２８に充填したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】絶対圧力センサあるいは差圧センサのダイアフラムの変形による、差圧センサへの影響を抑制し、高精度の測定が可能な静電容量式圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】静電容量式圧力検出装置において、差圧センサ手段と絶対圧センサ手段とを基台上に分離して設置するように構成した。また、差圧センサ手段を構成する二つ以上の差圧センサを基台上に分離して設置するように構成した。 （もっと読む）

【課題】観測点の水を制限的にセンサ内に出入りさせることによって、深海などの高水圧下でも高精度に水圧の変化（水圧変動）が測定できるＦＢＧ水圧変動測定センサを提供する。本発明のＦＢＧ水圧変動測定センサは、津波観測用の水圧計として利用できる。
【解決手段】観測点の水圧の変化を受けて水圧検出面１ｂの面形状が変形する、外部との水の出入りを可能にしたチャンバ１と、チャンバ１の開口１ａに連通し、このチャンバ１への水の出入りを制限する水量調整器２と、チャンバ１の水圧検出面１ｂにファイバ３を介して設けられ、この水圧検出面１ｂの面形状の変形の度合いにより伸縮するＦＢＧ４とを備え、観測点の水圧の変化により変形したチャンバ１の水圧検出面１ｂの面形状が、水量調整器２を介して行われる水の出入りとともに復元されてしまう前に、水圧検出面１ｂの面形状の変形の度合いをＦＢＧ４の伸縮により検出して観測点の水圧変動を測定する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧力測定を行うことができる磁気式圧力センサを提供すること。
【解決手段】本発明の磁気式圧力センサは、シリコン基板１１と、このシリコン基板１１との間でキャビティ領域１７を形成するようにシリコン基板１１上に接合されており、ダイヤフラム領域Ｘを有するシリコン基板１１と、ダイヤフラム領域Ｘにおけるキャビティ領域１７の外側の主面上に設けられたハード磁性層１６と、前記主面のダイヤフラム領域以外の領域上に設けられたＧＭＲ素子１４と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧力測定を行うことができる磁気式圧力センサを提供すること。
【解決手段】キャビティ１８の突出部１１ｂ上には、ＧＭＲ素子１３と電気的に接続するようにコンタクト層１４ａが形成されている。キャビティ１８の外側の突出部１１ａ上には電極パッド１５が形成されている。キャビティ１８の内側のガラス基板１２には、ＧＭＲ素子１３と電気的に接続にするように突出部１２ａにコンタクト層１４ｂが形成されている。キャビティ１８の外側のガラス基板１２には電極パッド１５が形成されており、突出部１２ａから突出部１２ａの外側を経て電極パッド１５までコンタクト層１４ｃが形成されている。ガラス基板１２の突出部１２ａ上には、ガラス基板１２との間でキャビティ１８を形成するようにシリコン基板１６が接合されている。 （もっと読む）

【課題】温度の変化によっても生ずるひずみ分の検出を除去できる簡易な手段を採用し、もって正確な水圧の計測が安価なコストで形成できる光ファイバセンサを使用した、例えば地下水の水圧や地下水の間隙水圧をも計測できる、いわゆるFBG光ファイバセンサ式水圧計測装置の提供を目的とする。
【解決手段】中空部を有する筒状水圧計測装置本体部と、該本体部の下部開口に設けられた水圧検出部と、水圧値を揺動幅に変換する揺動幅変換部と、揺動幅により水圧が計測できる水圧計測部とを備え、水圧検出部、揺動変換部及び水圧計測部は、前記本体部内に配置されると共に、水圧計測部は、揺動変化によるひずみ及び温度変化によるひずみを一対のＦＢＧにより検出するひずみ検出部を有し、ひずみ検出部によって温度変化によるひずみ分が計測されて、揺動変化によるひずみ分のみ取り出すことが可能とされた、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水圧による歪を正確に計測することが可能な分布型光ファイバセンサの提供。
【解決手段】水圧歪検出用光ファイバを軟質材で包囲してなる少なくとも１つの第１センシング部と、長手方向歪測定用光ファイバを硬質材で包囲してなる少なくとも１つの第２センシング部とを、スロットを介して束ね、これらをシースで一括被覆してなることを特徴とする分布型光ファイバセンサ。前記スロット内には、抗張力繊維とともに各センシング部に固定されていない状態で温度補償用光ファイバが収容される。 （もっと読む）

【課題】圧力周波数変換装置の、双音叉振動子の振動方向に沿った長さが、長い。
【解決手段】双音叉振動子２は、第１の方向Ｐと、第１の方向Ｐと交差する第２の方向とにより規定される平面上で第１の方向Ｐに延在する相互に平行な二つの振動片部２ａ，２ｂであって、第２の方向に沿って振動する二つの振動片部２ａ，２ｂと、当該二つの振動片部２ａ，２ｂを、第１の方向Ｐについて挟持する二つの端部２ｃ，２ｄとを有し、伸縮部材３は、第１の方向Ｐに沿って延在し、双音叉振動子２を収納する柱状であって、両底面３ｃ，３ｄがそれぞれ双音叉振動子２の二つの端部２ｃ，２ｄのうちの一つに固定されており、圧力周波数変換装置１の第２の方向の長さを規定する伸縮部材３の第２の方向の長さ、を規定する、側面３１の一部３１ａ及び他の一部３１ｂが、それぞれ双音叉振動子２の二つの振動片部２ａ，２ｂのうちの一つに近接する。 （もっと読む）