【課題】簡単な構成で、深度に関して解像度の良い、広い、三次元撮像方法の実現。
【解決手段】位相感知分光的符号化撮像を使用する、三次元表面測定値を得るための方法および装置が記述される。横方向および深度の両者についての情報は、単一モード光ファイバを介して送信され、本手法を小型プローブへの組み込むことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 光干渉法を用いて、１波長の単色光を測定対象面に照射し、測定対象面までの距離を変更して、少なくとも３枚以上の画像を撮像して、各画素の輝度値から位相計算をおこない、隣接画素の位相値を用いて三次元形状を測定する位相シフト法が用いられて来たが、隣接画素間の段差に波長による制約があった。
【解決手段】広帯域な波長特性を有する照射光から波長の異なる複数の単色光を抽出し、それらを混在させて、分岐手段を介して測定対象面と参照面に同時に照射し、測定対象面と参照面とから反射して同一光路を戻る反射光によって生じる干渉縞の画像を測定対象面と参照面とからの反射光路長の差を変化させて、取得した前記複数枚の画像を単色光ごとに分解し、単色光ごとに求めた各画素の位相から、複数個の表面高さの候補群を求め、各候補群から共通する高さを実高さとして求める。 （もっと読む）

【課題】広帯域光源またはレーザ光でひずみ信号及びAE信号を計測し得るFBGセンサの計測方法及び計測装置を提供する。
【解決手段】FBGセンサ１１に光を入力する広帯域光源１３及び光ファイバアンプ１４と、FBGセンサ１１からの光を切替可能にする第一の光スイッチ１６と、一方の光を光ファイバアンプ１４に戻すアンプ側の光カプラ１７と、第一の光スイッチ１６の光とアンプ側の光カプラ１７の光とを選択的に入射させる第二の光スイッチ１８と、第二の光スイッチ１８からの光を分割する計測側の光カプラ２０と、計測側の光カプラ２０で分割した一方の光を計測するブラッグ波長計測手段２１と、計測側の光カプラ２０で分割した他方の光を計測するAE計測用の光電変換器２２とを備え、広帯域光源１３と、光ファイバアンプ１４のファイバリングレーザを選択可能にする。 （もっと読む）

【課題】貼合わせウェハ全体について厚さを測定できる装置の提供。
【解決手段】貼合わせウェハ１の厚さ測定光学系及び観察光学系と、測定光学系から出力される信号を用いて貼合わせウェハ１の厚さを算出する信号処理装置とを具え、測定光学系は、第１の波長域の測定用光源３０と、この測定光を投射して光スポットを形成する対物レンズ１７と、その反射光の光検出手段４０とを有し、観察光学系は、前記第１の波長域とは異なる第２の波長域の観察用照明光を放出する照明光源４１と、照明光を投射する対物レンズ１７と、その反射光を受光して２次元画像を撮像する撮像装置４８とを有する。これらで共通の対物レンズ１７と測定光源及び観察光源との間の光路中には、前記測定光学系と観察光学系とを光学的に結合する波長選択性を有するカップリング素子３４を配置する。撮像装置４８は、前記測定光により形成された光スポットの像が重畳された像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラを自動車等に取り付ける際に、該ステレオカメラの校正距離方向と目的距離方向の調整を容易に行えるようにする。
【解決手段】ステレオカメラ１０を自動車４０に取り付けて、自動車の直進方向の距離を測定するものとする。ステレオカメラ１０は複数の単眼カメラを筐体内に備え、筐体前面を筐体基準面とし、該筐体基準面は反射面を有している。車外に設置されたレーザ光源５０の出射光軸と自動車４０の直進方向が平行になるように調整した後、レーザ光源５０からの出射光をステレオカメラ１０の筐体基準面で反射させて、反射光が出射光位置に戻るように、ステレオカメラ１０の取り付け姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】振動の測定および解析を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】高速度カメラ４の撮像部４ａは、ケーブル１０の各実測点に設けられたマーカーシール５が正反射する光を撮像する。高速度カメラ４の計算処理部４ｂは、撮像部４ａによる撮像と並行して、撮像部４ａが撮像した画像毎に各実測点の座標を求める。高速度カメラ４のメモリ４ｃは、各実測点の座標に係るデータを記憶する。コンピュータ６は、メモリ４ｃに記憶された各実測点の座標に係るデータを用いてケーブル１０の振動分析を行う。 （もっと読む）

【課題】１つの実施形態は、例えば、基板の表面の位置の計測精度を向上できる位置制御システム、露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１つの実施形態によれば、面位置計測部と制御部とを有する位置制御システムが提供される。面位置計測部は、基板の表面の高さ方向の位置を計測する。制御部は、面位置計測部による計測結果に基づいて、光学系と基板の表面との相対的な位置を制御する。面位置計測部は、複数のフォーカスセンサ４１−１〜４１−３と駆動部４２とを有する。駆動部は、基板の表面に対する複数のフォーカスセンサの基板面内方向の位置を独立して駆動する。 （もっと読む）

【課題】 位置合わせに用いるマークからの光量を多くして検出しやすくする位置検出装置、及び、それを用いたインプリント装置を提供する。
【解決手段】 本発明の位置検出装置は、第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、第１回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、第一回折格子と第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、検出した回折光に基づいて第一回折格子と第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークディスタンスが変化しても計測可能な位置計測装置でかつ、高分解能化可能な位置計測装置を提供する。
【解決手段】目盛部３０を、第１及び第２反射面３１，３２の相対距離が周期的に変化するように構成し、受光センサ１４によって、これら第１及び第２反射面３１，３２に反射された光によって形成された干渉光の光強度を計測する。この干渉光の光強度の周期変化を演算部２０によって位置情報に演算することにより、ワークディスタンスの変化に係わらず計測対照の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】収束光学系を有するレーザ干渉測定装置における測定面上の位置の校正が簡便かつ高精度に行えるレーザ干渉測定装置の横座標校正治具および横座標校正方法を提供すること。
【解決手段】横座標校正治具１０は、マーカを有する画像を投影する画像投影手段１９と、画像投影手段１９を第１回動軸線Ａ１まわりに回動自在に支持しかつ第１回動軸線が所定の回動中心Ｃを通る第１支持機構１１と、第１支持機構を第２回動軸線Ａ２まわりに回動自在に支持しかつ第２回動軸線が回動中心Ｃで第１回動軸線Ａ１と交叉する第２支持機構１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管２内面の検査箇所にパターンを有するパターン光Ｐ１を管２内面の周方向にわたって投影する投影手段１１と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光Ｐ２として投影する表示手段１２と、反射パターン光Ｐ２の形状を観測する観測手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】内径の異なる種々の穴形状を精度良く測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定領域の少なくとも一部の面の法線方向とは異なる方向から前記被測定領域に照明光を照射することで被測定領域に帯状の照明領域を形成する照明系と、前記照明系による照射方向と前記帯状の照明領域における長手方向等を含む面からはずれた位置から照明領域の散乱光を受光する受光系と、受光系の受光結果に基づいて被検面の形状を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】より明瞭に撮像できる視覚装置を提供する。
【解決手段】被撮像物１を撮像する撮像手段１１と、照明光を発生する照明光発生手段１２と、照明光を拡散させる照明光拡散手段１３とを備え、照明光拡散手段１３は、撮像手段１１の光軸の延長上に配置された筒状の部材であり、照明光発生手段１２は、照明光拡散手段１３の筒壁の外面に照明光を照射できる位置に配置され、照明光拡散手段１３の筒壁は、照明光発生手段１２から照射された照明光を照明光拡散手段１３の内部に透過させ、照明光拡散手段１３の内部に透過した照明光を反射・拡散させることができるように形成されており、照明光拡散手段１３の内部で反射・拡散された照明光が被撮像物１に当たり、被撮像物１に反射した照明光が照明光拡散手段１３の内部を通じて撮像手段１１に送られる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を採用しつつ検出光量ムラの発生を抑制可能とした走査型検出測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の走査型検出測定装置は、レーザ光を射出する発光素子と、発光素子から供給されるレーザ光を走査しつつ標本に照射する走査光学系と、標本から生じる光を検出する検出光学系と、発光素子と走査光学系との間に設けられレーザ光の一部を発光素子に向けて反射させる反射光学素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大できるとともに機器の簡略化が可能な斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】光源４１と、光源４１からの原光を分割する光束分割部と、測定光を被測定物Ｗに照射する照射部４３と、測定光と参照光とを合成する光束合成部４４と、合成された光束を受光する受光部４５とを有する斜入射干渉計１において、干渉計本体３０と、被測定物Ｗを保持する基台１０と、干渉計本体３０を被測定物Ｗに沿って移動可能な移動機構２０と、干渉計本体３０の移動軸線の延長上に配置された補助反射鏡５１と、光源４１からの原光から補助光を分割して補助反射鏡５１に照射する補助光束分割部５２と、干渉計本体に設置されかつ補助反射鏡５１で反射された補助光を受光する補助受光部５５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる。
【解決手段】撮像手段１１と対象物Ｔとの間に光軸Ｏに交差する方向に向けて光線Ｌを放射する光源１２と、光源１２から放射された光線Ｌを撮像手段１１の光軸Ｏ方向に沿って対象物Ｔ側に向けて反射するハーフミラー１３と、ハーフミラー１３と対象物Ｔとの間に光軸Ｏと同軸に配置され、外周面１４ａにハーフミラー１３により反射された光線Ｌが入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材１４と、内ミラー部材１４よりも大径の円錐台状の孔部１５が光軸Ｏと同軸に貫設され、孔部１５の内周面１５ａに内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌが入射する外ミラー部材１６とを備え、外ミラー部材１６は、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する検査装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動量と、移動体の移動方向と直交する方向におけるずれ量との測定にかかる測定時間を短くすることができるとともに、測定にかかるコストを低減できる追尾式レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】追尾式レーザ干渉計１は、レトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２２を用いて移動体Ｍまでの距離を測定する測長部２１と、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２とを有する本体２と、検出器２２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備え、制御手段３は、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させることを停止させた状態で、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１の検出器２２２における受光位置Ｑ２に基づいて、移動体Ｍの移動方向に対して直交する方向における移動体Ｍのずれ量を測定するずれ量測定部３２を備える。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）