【課題】本発明は、正確にガラス基板の位置を検出し、位置を補正して搬送する液晶搬送ロボットを提供する
【解決手段】リンク機構（１Ａ、２Ａ）からなる昇降機構（１Ｃ、２Ｃ）と、リンク機構（３Ａ、４Ａ）からなる水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ）と、前記水平多関節機構に矩形形状の基板Ｗを載置するハンド部９と、前記昇降機構（１Ｃ、２Ｃ）に備えられた走行台車１２からなる液晶搬送ロボット１において、前記ハンド部９と前記水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ）の間にコラム８が備えられ、前記コラム８に前記基板Ｗの位置を検出するセンサ１０が備えられたものである。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４Ｂを積層した積層板を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面が樹脂シート４Ａで被覆され、加工端面が端面保護層５で被覆されている搬送用治具１。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確にガラス基板の位置を検出し、位置を補正して搬送する液晶搬送ロボットを提供する
【解決手段】リンク機構（１Ａ、２Ａ）からなる昇降機構（１Ｃ、２Ｃ）と、リンク機構（３Ａ、４Ａ）からなる水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ、５Ｃ、６Ｃ）と、前記水平多関節機構に矩形形状の基板Ｗを載置するハンド部９とからなる液晶搬送ロボット１において、前記ハンド部９と前記水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ、５Ｃ、６Ｃ）の間にコラム８が備えられ、前記コラム８に前記基板Ｗの位置を検出するセンサ１０が備えられたものである。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】センサ２０の光軸を、基板Ｓの法線方向Ｚに対して傾斜させて、基板Ｓの端面の一点を光軸上の上位検出点ＰＳ０に通過させる。また、ハンド点を法線方向Ｚに変位させて、基板Ｓの端面の他点を光軸上の下位検出点ＰＳ１に通過させる。そして、上位検出点ＰＳ０の検出結果に基づく上位距離と、下位検出点ＰＳ１の検出結果に基づく下位距離を用いて基板Ｓの中心を演算し、基板Ｓの中心を目標点に搬送させる。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】各センサが、それぞれ対応する経路ＲＴ上にレーザを投光してスポット２０Ｐを形成し、スポット２０Ｐから透過する透過レーザの量を検出する。そして、位置データを参照して、検出値が「第１閾値」になるごとに、第１検出位置ＲＰ１に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。また、検出値が「第２閾値」になるごとに、第２検出位置ＲＰ２に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。 （もっと読む）

改善された非接触型吊上げツールを用いてガラス基板を搬送する方法。非接触型吊上げツールはガラス基板にかかる圧力差を生じさせるためにベルヌーイ効果を用いる。発明のベルヌーイツールは高められた保持能力すなわち吊上げ能力を有し、ツールがガラス基板面の平面に対して傾けられた場合の、ツールとガラス基板の間の接触の機会を減じる。
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【課題】吊上げ力の大きいノンコンタクト搬送パッドを、カップ部の複雑な加工を伴うことなく提供すること。
【解決手段】正圧を用いて、ワーク３を非接触で吊上げ搬送するノンコンタクト搬送パッドにおいて、ワークとノンコンタクト搬送パッドの間にできる放射状流れ２のベルヌーイ効果を用いて、吊上げ搬送を行ない、高吊上げ力、ローコスト化を実現した。また、放射状流れの導入をノンコンタクト搬送パッドのボデイ部４およびスタット部５に設けられたテーパ６，７によって行なう構成とした。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

基板搬送装置は、フレームと、該フレームに接続され、かつ少なくとも１つの独立して制御可能なモータを含む駆動部と、該フレームに接続され、かつ基板を支持および搬送するように分配されるアームリンクを備える少なくとも２つの基板搬送アームと、該少なくとも２つの基板搬送アームのうちの一方が実質的に収縮形状のままである間に、該少なくとも２つの基板搬送アームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、該少なくとも１つの独立して制御可能なモータおよび該少なくとも２つの基板搬送アームに連結される機械運動スイッチとを含む。
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【課題】高剛性でかつガラス基板を水平に保持し、高速で安定して搬送することができる搬送用ロボットハンドを提供する。
【解決手段】中空形状である複数のフォーク５を備えた搬送用ロボットハンド１において、前記フォークの固定端側の曲げ剛性が、前記フォークのうち少なくとも２本において異なっていることを特徴とする搬送用ロボットハンド。 （もっと読む）

直線的に配置された第一固定子と、第一アームに結合している第一回転子と、を有する第一シャフトレス回転モータと、直線的に配置された第二固定子および第二アームに結合している第二回転子を有し、第二アームが第一アームに連結している第二シャフトレス回転モータと、第一および第二アームのうちの少なくとも１つに結合している第一基板支持体と、を備える基板搬送装置であって、第一および第二固定子は、第一および第二アームならびに第一基板支持体が両固定子の内側にあるように、また、第一および第二シャフトレス回転モータと第一および第二アームのそれぞれの１つとの連結におけるモータ出力が、第一および第二アームの周辺に形成される合力であるように、構成されている
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【課題】移動距離を延長しても、直線移動機構全体の重量化、および旋回動作による慣性力の増大を適切に回避する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、垂直状の旋回軸線Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に支持された直線移動機構３と、直線移動機構３に支持され、ワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４からの駆動力を直線移動機構３に伝達するための伝動軸２５，２６とを備える。直線移動機構３は、水平軸線Ｏ１周りに回転可能な駆動プーリ３３５、および、垂直面内に沿うように駆動プーリ３３５に掛け回され、移動行程の平行線に沿って往復動する出力ベルト３３７を含んで構成された駆動機構３３Ａ，３３Ｂと、出力ベルト３３７に連結されたハンド４Ａ，４Ｂを移動可能に支持するガイドレール３２Ａ，３２Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置への基板の搭載および取り外しを自動化することのできる基板ハンドリング装置、基板搭載方法、基板取り出し方法を提供する。
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられる基板ハンドリング装置であって、ロボットアームに取り付けられた板状保持部材と、板状保持部材に基板保持方向に突出可能に軸支され、先端に基板吸着パッド部１５を備えた基板保持アーム１６と、基板保持アーム１６を板状保持部材から突出しない状態で固定するロック機構と、基板吸着パッド部１５を基板保持アーム１６から突出する方向に付勢する突出機構１８と、基板吸着パッド部１５の基板保持アーム１６からの突出を制限する吸着パッド部２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度を向上するとともに、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 第１および第２アーム部３６，３７は、互いに相対的に旋回可能に設けられる。第１および第２アーム部３６，３７間の関節には、第２旋回駆動手段４２が設けられる。第２旋回駆動手段４２は、第２モータ７６と、第２動力伝達部７７とを有する。第２モータ７６は、第１アーム部３６に固定される固定部７８と、固定部７８に対して、第１アーム部３６の延在方向に略平行な回転軸線Ｌ２２まわりに回転する回転部７９とを有する。第２動力伝達部７７は、第２モータ７６と第２アーム部３７との間に介在し、第２モータ７６の動力を、第２モータ７６の回転部７９から第２アーム部３７に伝達する。このような第２旋回駆動手段４２によって、第１および第２アーム部３６，３７が互いに相対的に旋回駆動される。 （もっと読む）

【課題】死点脱出が可能な離間二軸（フロッグレッグタイプ）の基板搬送装置を提供する。
【解決手段】離間二軸（フロッグレッグタイプ）の基板搬送装置１０では、回動軸１，２に設けられた第１アーム１１，１２の長さと、第１アームと基板支持体の間に設けられた第２アーム２１，２２の長さが異なる場合があるが、本発明の基板搬送装置１０では、死点脱出機構１５の回転力の伝達は、死点位置では解除されるため、長さが異なる場合であっても動作不能になることはない。 （もっと読む）

【課題】据え付け時などにおいて取り扱いが容易な搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、固定ベース１に対して鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に搭載されたガイド部材３と、旋回ベース２ないしガイド部材３に支持された直線移動機構４と、直線移動機構４に支持され、ワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド５Ａ，５Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４の駆動力を直線移動機構４に伝達するための伝動軸２６，２７とを備えた搬送装置Ａ１であって、旋回ベース２は上下に分離可能に連結されたハウジング２２と円筒軸２１とを備え、ハウジング２２には軸線Ｏｓ周りに回転可能に支持された連結部材６１，６２が付属させられており、連結部材６１，６２には伝動軸２６，２７に対して上方から係合される係合部材７１，７２が着脱可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに起因する不良製品が発生した場合、発生原因となった搬送アームを容易に特定することを可能にする。
【解決手段】搬送室１１〜１３には、複数の処理室が連結されている。処理室としては有機ＥＬ層を成膜するＢＥＬ蒸着室２５、ＲＥＬ蒸着室２６、ＧＥＬ蒸着室２７等がある。各搬送室１１〜１３には、基板を保持する保持部３２ａ〜３２ｃを備えた搬送アーム３１が設けられ、保持部３２ａ〜３２ｃはそれぞれ異なる形状に形成されている。製品に搬送アーム３１が原因の不良品が発生した場合、不良品の不良箇所の形状を各搬送アーム３１の保持部３２ａ〜３２ｃの形状と比較することにより、不良原因の搬送アーム３１を容易に特定することが可能となる。 （もっと読む）

少なくとも１つの駆動軸を有する駆動部と、少なくとも１つの駆動軸に動作可能に連結される少なくとも２つのスカラアームと、を有する基板搬送装置であって、少なくとも１つの駆動軸は、少なくとも２つのスカラアームの伸長および収縮を生じさせる少なくとも２つのスカラアームのための共通駆動軸であり、少なくとも２つのスカラアームは、少なくとも２つのスカラアームに連結される少なくとも１つの駆動軸によって、駆動軸の回転が、少なくとも２つのスカラアームのうちの別の１つの運動に実質的に関係なく、少なくとも２つのスカラアームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、互いに連結される。
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【課題】昇降動作のストローク量を大きく確保するとともに装置全体の高さを低く抑えることができる、低床型の搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、旋回ベース２と、この旋回ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、旋回ベース２を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構と、旋回ベース２に支持された直線移動機構５と、直線移動機構５に支持され、直線移動機構５の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド６Ａ，６Ｂとを備えた搬送装置Ａであって、昇降機構３は、固定ベース１に対してテレスコピック状に伸縮するように組み合わされた２段の昇降部材３１，３２と、各段の昇降部材をその下位段の部材に対して昇降させる第１および第２の昇降駆動機構３３，３４と、を備えて構成されており、かつ、旋回ベース２は、最上位段の昇降部材３２に支持されている。 （もっと読む）

基板搬送ロボットのエンドエフェクタが、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された上プレートと、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）から製造された下プレートと、上プレートと下プレートとの間に配置され、アルミニウム、ステンレス鋼およびハニカム形繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）からなる群から選択された中間部材とを備える。さらに、基板搬送ロボットが上記のエンドエフェクタを備えている。
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