【課題】本発明は、簡単な構造の上下軸機構を備えた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ワークを一方向に搬送するアーム部５と、前記アーム部５を昇降させるリンク機構２からなる昇降機構を備えた搬送ロボットにおいて、前記リンク機構２が、少なくとも２つの前記リンク機構２、３を備え、互いに直交する回転軸Ｒ１軸、Ｒ２軸に沿ってリンク６、７が回転動作をすることで前記アーム部５を昇降させるとするものである。 （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。
【解決手段】 基板８の両面の一方を吸着する第１保持部２，３と、他方に当接してそれを支持する第２保持部６，７と、基板を吸着した第１保持部を第２保持部側へ付勢する付勢手段４，５とで基板保持機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の基板を吸着するときに半導体ウエハ等の基板から発生するパーティクルを吸引したり、大気中の埃を吸引したりして吸引路が詰まることが少なく、基板を確実に吸着できる真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置を提供する。
【解決手段】 板状体７の先端側が二股に分岐し、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に設けられた、気体を吸引して基板８を吸着するための吸着部２と、分岐部の吸着部３と他の吸着部３とをつなぐ吸引路４と、分岐部の吸着部３と吸引路４を介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備えてなる真空ピンセットにおいて、分岐部の吸着部３とをつなぐ吸引路４の途中に断面積が他の部分より大きい部分を有している真空ピンセット１である。吸引路４が詰まることが少なく、確実に基板８を吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供する。
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部の開口を移動する支持部材４と、開口部を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５ｂと、を備える。案内機構２２によって支持部材４が移動しても、シールベルト５ｂによって支柱９の内部が外部に露出しないよう構成され、シールベルト５ｂが、その両端を支柱９内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラ３５〜４２に巻装されて、開口部を封じるように張架されたものである。 （もっと読む）

【課題】アームやフォークを短くしても必要な移載ストロークを得ることができ、移載機を小型軽量で低価格にするとともに、さらに、旋回動作を必要とすることなく前後の棚にアクセスすることができ、動作時間を短縮化できる移載機を提供すること。
【解決手段】屈伸可能に連結された第１アーム１及び第２アーム２を左右に１対配設し、第１アーム１の基部をそれぞれ駆動軸３に接続するとともに、第２アーム２の先端部でフォーク４を支持し、各アーム１、２の屈伸によりフォーク４を進退するようにした移載機において、第２アーム２の先端部に第２アーム２の揺動に伴って一体に回転するギヤ５を固設するとともに、第２アーム２の内側で各ギヤ５に噛合する進退方向のラック６をフォーク４に設ける。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡易で、搬送時に搬送対象とする基板に、他の基板が張り付かないような構造の搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、基板３１を真空吸着する吸着パッド、基板３１を押圧する押し棒７、押し棒７を駆動するエアシリンダ１７、エアシリンダ１７および吸着パッドに接続された真空発生器１５を有している。
搬送装置１を用いて基板３１ａを搬送する場合は、まず、吸着パッドを、基板３１ａの上面に接触させる。
次に、真空発生器１５にエアを供給して負圧を発生させ、発生した負圧により、吸着パッドが基板３１ａを真空吸着する。
吸着パッドが基板３１ａを真空吸着すると、基板３１ａを持ち上げつつ、真空発生器１５より排気されたエアを用いて、エアシリンダ１７により押し棒７を移動させて基板３１を押圧、変形させ、基板３１ａと接触していた基板を剥離する。 （もっと読む）

【課題】ピッチ系炭素繊維の振動減衰性をさらに向上した搬送用部材を提供する。
【解決手段】高弾性率ピッチ系炭素繊維強化樹脂複合材料（ＣＦＲＰ）層及び該ＣＦＲＰ層を構成するマトリックス樹脂よりも低い引張弾性率を有する柔軟性樹脂層で構成されたＣＦＲＰ製搬送用部材であり、特にピッチ系ＣＦＲＰ層間に前記柔軟性樹脂層が介挿された構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱などの諸要因によって被保持面が変形した被保持体を、より確実に保持した状態で搬送することができる搬送装置、および搬送方法を提供すること。
【解決手段】被保持物の被保持面に対して保持面を当接させて前記被保持物を保持した状態で搬送する搬送アームＡにおいて、該搬送アームＡに、ウエハ吸着孔６が設けられたウエハ支持部２を設けるとともに、該ウエハ支持部２をウエハ支持部２の基端部２ａを中心に所定の幅だけ回動自在に構成した。 （もっと読む）

【課題】製造コストを大幅に低減し、さらに多孔質体からなる載置部と支持部との接合強度を高めて、洗浄時の破損を防止する。また、載置部の多孔質体内に残留した研削屑や脱落砥粒等の汚染物質の十分な除去洗浄を可能とする。
【解決手段】凹部が設けられたセラミックス緻密質焼結体からなる支持部と、セラミックス粉末とガラスから構成された多孔質体の載置部とからなり、前記セラミックス粉末がガラスにより結合されて多孔質体が得られるとともに、前記多孔質体のガラスにより該多孔質体と前記支持部とが接合されて、前記凹部に多孔質体の載置部が形成されてなる真空吸着装置であって、前記載置部と前記支持部との接合界面が実質的に隙間なく一体的に焼成されてなることを特徴とする真空吸着装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、装置の基板ホルダに円板状の基板を装着するロボットに対する位置教示に関し、より詳細には基板ホルダが確実に保持できる位置に基板を供給する位置教示方法、位置教示プログラムおよび位置教示装置に関する。
【解決手段】 本発明の位置教示方法は、複数の基板ホルダを備える装置において、基板を支持する爪で支持する基板ホルダに基板を装着するロボットに対する位置教示方法であり、ロボットに基板をキーボードへの供給位置まで搬送させ、基板の中心位置を第１の位置情報として取得する第１位置取得手順と、供給位置から基板ホルダに装着した後の基板の中心位置を第２の位置情報として取得する第２位置取得手順と、第１第２の位置情報との差分である偏差を求める偏差算出手順と、複数の偏差の中から所定の算出方法で偏差を代表する代表偏差を求める代表偏差算出手順と、代表偏差を基に教示位置を求め、ロボットに教示する教示手順とで構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板を支持する支持部材を有する基板保持具がシステム構成部材と接触した場合でも、支持部材の損傷を極力回避できるようにする。
【解決手段】 基板保持具であるフォーク１０１は、スライダ１２７に固定されたピックベース１１７と、該ピックベース１１７に連結された支持部材として例えば４本の支持ピック１１９を備えている。支持ピック１１９は、中空の角筒状をなす本体１３１と本体１３１の先端に着脱自在に装着された保護部材としてのキャップ１３３とを有している。 （もっと読む）

【課題】収納体から被搬送物を搬出入して交換する時間を短縮させると共にロボットの動作の調整作業を容易にすることができるロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、前進動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８を所定のカセット２４に向かって前進するように直進動作させる。同時に、回避動作手段により、前進動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０をＷ２軸２９を中心に反時計方向回りに回動させる。次に、第１ハンド部材２８にカセット２４内の半導体ウェハ２３を保持させる。次に、後退動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８をカセット２４から後退するように直進動作させる。同時に、復帰動作手段により、後退動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０を時計方向回りに回動させる。 （もっと読む）

【課題】基板アライメント機構を備えた搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】最先端のアーム５に設けられ、ハンド６を最先端のアーム５の延在方向に前後移動させるハンド駆動機構と、最先端のアーム５に設けられ、矩形基板Ｒの側面を把持して矩形基板Ｒをハンド６に対してアライメントするアライメント機構７と、を備え、ハンド駆動機構によって最先端のアーム５上にスライドさせた矩形基板Ｒに対してアライメント機構７がアライメントするよう構成した。 （もっと読む）

【課題】搬送物を多段に収納する収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことが可能なロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】このロボット用ハンド６は、先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるフォーク１０を備え、そのフォーク１０上に搬送物としてのガラス基板１００を載せて搬送するものであって、フォーク１０には、その基端部側の第１位置Ｐ１と、この第１位置Ｐ１よりも先端部側の第２位置Ｐ２とに移動可能な加重部材１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ワーク搬送ロボットを大型化することなく、高速搬送を可能とするハンドリングロボットを提供するものである。
【解決手段】水平に回転可能な第１アーム１０と、前記第１アーム１０の先端に前記第1アーム１０の回転軸と平行な軸に回転支持された回転可能な第２アーム１７と、前記第２アーム１７の先端部に前記第２アーム１７の回転軸と平行な軸に回転可能なフランジ２１と、前記フランジ２１にワーク把持部２５とを備えたワーク搬送ロボットにおいて、前記第１アーム１０の回転軸と平行な前記軸に少なくとも２つの出力軸を備えた減速機構１６，２０を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】プリント配線板等の被吸着物１０を吸引する吸着装置１において、面積が小さい被吸着物１０を吸着する場合でも、真空ポンプ４の吸引力を大きくすることなく、確実に吸着できるようにする。
【解決手段】吸引孔を塞ぐ球体弁１３の位置を制御する電磁石５を各吸引孔に設け、吸引手段にて吸引開始後、排出口２０に近い電磁石５から順に駆動して吸引孔の流路を遮蔽するようにし、被吸着物１０が置かれていない吸引孔を確実に塞ぐようにした。 （もっと読む）

【課題】吸着台上の被吸着物２０を真空吸着して保持する吸着装置１において、凹凸がある被吸着物２０でも確実に吸着するとともに、被吸着物２０が置かれていない吸着孔１９を確実に塞ぐようにする。
【解決手段】
前記吸着台は、複数の吸引孔１９を配し、近傍に光源１４を配し、前記吸着孔１９は、それぞれ電磁石５により開閉するバルブ機構８と、近傍にフォトセンサ１５を配し、前記被吸着物２０による前記光源１４からの光の遮断を前記フォトセンサ１５により検知して被吸着物２０の有無を判定し、被吸着物２０が置かれていないと判定したときは、前記電磁石５を駆動してバルブ機構８を塞ぐようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークの変形を充分に抑制しつつ確実にワークを吸着搬送することができる基板吸着搬送装置を提供すること。
【解決手段】プリント基板の製造工程においてプリント基板の前駆体となるワーク５を吸着保持して搬送する基板吸着搬送装置１。基板吸着搬送装置１は、負圧発生手段に連結された吸引流路２１を内部に設けた本体部２と、本体部２に対して上下動可能に取付けられると共に吸引流路２１と連通する吸引ノズル部３１を有する複数のバッファ部３と、各バッファ部３の下端に取付けられた複数の吸盤部４とを有する。バッファ部３は、重力以外の外力が作用していないときは、最下端の状態で本体部２に対して係止されており、バッファ部３とこれに取付けられた吸盤部４とに作用する重力と略同等の大きさの上方への外力が作用したときに本体部２側へ移動することができるよう構成されている。 （もっと読む）

一体化されたロボット機構は、搬送機器を改善し、対象物移動を、アライメント又は識別等の別の機能と一体化するために開示されている。開示された一体化されたロボットアセンブリは、複数の加工物を移動させるための多重エンドエフェクタと、１つの加工物を移動させるための単一エンドエフェクタと、アライメント能力を提供するためのロボットボディに組み込まれた回転チャックと、搬送中に対象物を識別するための選択的な識別サブシステムとを有することができる。本発明のロボットアセンブリは、ソータ又はストッカ機器において、処理機器において、及び受渡しシステムにおいて使用されることができる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用ロボットにおいて、基板を目的位置へ搬送する場合の搬送経路の選択肢を増やし、これにより搬送時間の最短経路を選択することを可能にさせる。
【解決手段】基板搬送用ロボットのコントローラが、複数の教示位置が教示された際、教示位置の各々に対するアクセス待機位置１１を生成し、アクセス待機位置１１から基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢１２までの複数の経路を生成して記憶する。。 （もっと読む）