【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 保持テーブルと吸着パッドの平行度の自動調整を可能にした板状物搬送装置を提供することである。
【解決手段】 テーブル表面の傾きが異なる複数の保持テーブル間で板状物を搬送する板状物搬送装置であって、水平移動、垂直移動及び旋回移動可能に支持されたアームと、アームの先端部に固定された支持ベースと、板状物を吸着保持する吸着パッドと、吸着パッドを支持ベースに傾き調整自在に支持する支持手段と、吸着パッドを保持テーブルと平行となるように調整する調整手段とを含んでいる。支持手段は複数のロッドと各ロッドに遊嵌された圧縮ばねとを含んでおり、調整手段は流体を保持テーブルに向かって噴射する同一円周上に等間隔で配置された３個以上の流体噴射ノズルを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】積み重ねられた複数の基板の最上層の基板をその下層の基板から容易に剥離して引き上げることができる基板移送方法を提供すること。
【解決手段】多数枚積層されるガラス基板積層体８から最上層のガラス基板３を取り出して移送するに際し、最上層のガラス基板３の片隅部２０を初めに吸引して引き上げ、その片隅部２０を下層の基板３より剥離し、次に、その片隅部２０を剥離した状態で、ガラス基板３の剥離した箇所に近接した部位２４を吸引して引き上げ、その吸引箇所を下層のガラス基板３より更に剥離する。そして、これを維持した状態で、ガラス基板３の残りの部位を吸引して引き上げ、ガラス基板３全体を下層のガラス基板３より剥離して取り出す。 （もっと読む）

【課題】ハンドの原点位置において多関節アームの姿勢を安定に保持する。
【解決手段】一端が基台６３の支持軸９１に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８とを備え、多関節アーム６１の第１アーム７１Ａ，７１Ｂと第２アーム７２Ａ，７２Ｂがほぼ平行となるハンドの原点位置で、支持軸９１の周りへの多関節アームの回動を規制するロック機構１００を備える。ロック機構１００は、ロックバー１０１と保持アーム１０２の接触によってアームの回動規制を行う。ロックバー１０１は、ハンドがその原点位置から所定距離移動するまでの間にわたり、ベルト７６と同期して移動するとともに、保持アーム１０２との接触状態を維持する。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】保持ハンドの小型化及び非接触搬送装置の構成の簡略化を図りつつ、ワークの搬送中におけるワークの損傷の発生を十分に抑制することができる非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】移動部材３にハンド本体７が設けられ、ハンド本体７の中央側に作動流体が流入可能な流入口１１を有し、ハンド本体７の保持面９における流入口１１の周辺に、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体７の保持面９とワークＷの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック１３が配設され、各ベルヌーイチャック１３は、作動流体をハンド中心５ｃ側へ噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源１７に接続した噴出孔１５をそれぞれ有したこと。 （もっと読む）

【課題】ワークＷの変形を抑制して、ワークＷの一部とハンド本体７の保持面９との干渉を回避すること。
【解決手段】ハンド本体７の内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源１３に接続した供給チャンバー１１が形成され、ハンド本体７の保持面９に複数のベルヌーイチャック１７が設けられ、各ベルヌーイチャック１７に作動流体を噴出可能な噴出凹部１９がそれぞれ形成され、各ベルヌーイチャック１７が噴出凹部１９の内壁面に沿うように作動流体を導入可能かつ供給チャンバー１１に連通した導入孔２１をそれぞれ有したこと。 （もっと読む）

【課題】反りのあるワークＷを保持ハンド５により非接触で保持する場合であっても、ワークＷの表面を保持ハンドの保持面に平行に沿うようにさせて、保持ハンド５によりワークＷを非接触で安定して保持すること。
【解決手段】保持ハンド５における複数のベルヌーイチャック９の噴出孔１１へ作動流体を供給する作動流体供給ユニット１３が設けられ、保持ハンド５の保持面７の全域に複数のセンサ１７が散点的に配設され、複数のセンサ１７のうち少なくともいずれかのセンサ１７によってワークＷとの間隔が所定の接近距離になったことが検出されると、作動流体の供給動作を開始するように作動供給ユニット１３を制御すること。 （もっと読む）

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】
軽量で、コンパクトで、経済性が優れ、若干の移送対象物のそりなどの変形を容易に吸収でき、短時間に吸着を完了し、移送タクトタイムを大幅に短縮可能な移送装置を提供する。
【解決手段】
（１）支持板２と、（２）支持板２の下面に設けられ、移送対象物７に当接され、略平行して延びている２つの封止部材３と、（３）２つの封止部材の間に設けられている吸引孔と、（４）支持板２と２つの封止部材３と移送対象物７とによって囲まれる空間内を吸引する吸引手段（図示せず）と、を備える移送装置。 （もっと読む）

【課題】真空吸着状態が切れても基板の健全性を維持し、検査時に発見した基板の裏面の汚れ等をクリーニングすることを可能にする。
【解決手段】基板Ａの少なくとも裏面の目視検査を行うための基板検査装置１であって、基板Ａの裏面を真空吸着する吸着保持部６と、該吸着保持部６により吸着された状態の基板Ａの外周縁に接触して半径方向に挟む複数の接触部１０を有する押圧保持部８とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ロボットのアーム伸縮動作時における急停止によって各部材に生じる応力で、各部材を破損しないようにする。
【解決手段】複数軸で構成されたロボットの動作を制御する制御装置において、アームの伸縮動作時における急停止によって各部材に生じる応力が各部材の強度を超えないように、アームの上下移動位置に従って予め許容されるアームの許容動作速度が設定され、アーム軸回転駆動源の駆動でアームの伸縮動作をする際の前記アームの伸縮動作する速度は前記アームの上下移動位置に基づいて求める前記アームの許容動作速度を超えないように速度制限する速度制御手段を備えるように構成した。 （もっと読む）

【課題】基板が損傷しない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】第一、第二の従動アームによって回転され、互いに歯合した第一、第二の規制ギアに対し、それぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアを設け、第一、第二のピニオンギアでピニオンギア用ラックを挟む。ハンドが放射方向外側から内側に向けて移動し、ハンドが搬送室内に位置する状態では、ピニオンギア用ラックは放射方向外側に移動し、緩衝部材を介して基板を押圧し、基板をクランプする。ハンドが放射方向外側に移動し、処理室内に位置するときは、ピニオンギア用ラックは放射方向内側に移動し、クランプは解除される。搬送室内でクランプされているので高速移動が可能である。 （もっと読む）

【課題】 反った基板を出し入れしたり温度変化により基板が形状変化したりすると真空ピンセットの吸着面が基板を傷つけたり、基板の脱着時に汚れを付着したりして、基板から形成される半導体素子等の歩留まりや信頼性を低下させていた。
【解決手段】 板状体７の先端側が二股状に分岐し、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に基板８を吸着する吸着部３を備えるとともに、吸着部３と連通する吸引路４を内設してなる真空ピンセット１において、吸着部３は外側面が吸着面３ａに向かって狭まっており、吸着面３ａの輪郭が曲線であるものとする。吸着面３ａと基板８との接触面積を減少させられるので、基板８を汚染しにくくなる。併せて、吸着面３ａの輪郭が曲線であることから、基板８と接触したとしても線接触にならず点接触となるため、基板８を傷つけるおそれを少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】大きな面積を有する場合であっても高精度にかつ安価に製造することができ、しかも、簡単な構造により吸着板の平坦性を確実に維持することができると同時に、吸着板の吸着面に略均質な吸引力を発生させることができる吸着板を提供する。
【解決手段】金属製の平板体３を少なくとも２枚積層して成る積層体１３と、この積層体１３の上面側に予め定められた間隔を保ちながら配設される複数のスペーサー６とを有し、平板体３は、一定のピッチを保ちながら形成される複数の貫通孔４を備え、平板体に形成される複数の貫通孔４は、他の平板体に形成される複数の貫通孔４と連通し、積層体１３の上面１７とスペーサー６の下端６ａとは略線状に接触することを特徴とする吸着板２ａによる。 （もっと読む）

フレームと、フレーム内に装着され、第１のモータ部および少なくとも１つの固定子軸受部を含む少なくとも１つの固定子と、少なくとも１つの固定子軸受部が実質的に非接触で磁力により支持する同軸スピンドルであって、その各駆動シャフトが回転子を含み、回転子は第２のモータ部および少なくとも１つの回転子軸受部を含み、少なくとも１つの回転子軸受部は少なくとも１つの固定子軸受部とインターフェース接続するように構成されている、同軸スピンドルと、を備える基板搬送アームのための駆動部。第１のモータ部は、所定の軸でスピンドルを回転させるように、第２のモータ部とインターフェース接続するように構成され、少なくとも１つの固定子軸受部は、少なくとも１つの回転子軸受部との相互作用を介して、同軸スピンドルに接続している基板搬送アームエンドエフェクタの少なくとも平準化を行うように構成されている。
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【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで低振動・低騒音であり、特に半導体ウエハやＬＣＤ（液品表示）ガラス基盤などを処理するのに適する搬送装置を得る。
【解決手段】 アーム６１Ａ、６１Ｂを取着し同軸状に配置した出力軸２１Ａ、２１Ｂに連結された外接軸２０Ａ、２０Ｂと、外接軸の外周に接触配置された複数の中間軸３０Ａ、３０Ｂと、中間軸の外周に内接する内接円筒４０Ａ、４０Ｂとからなり、中間軸を回転自在に支持するキャリア１０を固定し、各組の中間軸３０Ａ、３０Ｂに前段減速機５０Ａ、５０Ｂを介して駆動モータ７０Ａ、７０Ｂを接続した。 （もっと読む）

【課題】厚みが薄く、かつ撓みが生じにくい搬送フォーク、特に、焼成処理温度のような高温下にさらされた場合であっても撓みが生じにくい搬送フォークを備える基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板焼成炉に対する基板の搬出入を行う基板搬送装置の備える搬送フォーク２４を、ハニカム構造体である本体部材Ｂと、本体部材Ｂの上面に接合され、本体部材Ｂよりも熱膨張率の小さい材質によって形成された天板部材Ｈとによって構成する。搬送フォーク２４が高温下にさらされると、本体部材Ｂと天板部材Ｈとの間の熱膨張率の差に起因して、相対的に熱膨張率が小さな部材である天板部材Ｈの側に曲がろうとする上向きの力が生じる。搬送フォーク２４の撓みの原因となる下向きの力（すなわち、支持する基板Ｗの重みや自重に起因する下向きの力）が、この上向きの力で相殺されることによって、搬送フォーク２４の撓みが抑制される。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）