【課題】 板状体、特に太陽電池素子を破損させることなく搬送することが可能で、かつ摺動部に微粒子などの粉塵の侵入を抑制することが可能な吸着搬送装置を提供すること。
【解決手段】 複数の貫通孔が形成される昇降基板と、前記昇降基板の貫通孔を通して下向きに設けられる摺動可能な吸着手段とを備える、板状体の吸着搬送装置であって、前記貫通孔の底面側開口部を囲むように中空状の防塵部材が設けられる、板状体の吸着搬送装置。 （もっと読む）

【課題】２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられた回転駆動装置における駆動用回転軸が短く、小型化及び軽量化を図れることを利用し、装置を大型化することなく、設計上及びコスト上の負担の少ない上下移動機構を有する回転駆動装置を提供すること。
【解決手段】駆動用回転軸１１７，１２７の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸１３９の昇降により前記駆動用回転軸１１７，１２７を同時に上下に移動させる上下移動機構を配置する。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物の重量が変動しても、ハンドに搭載される搬送対象物の傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、搬送対象物２が搭載されたときのハンド３の撓みによる搬送対象物２の傾きを補正する傾き補正機構１７とを備えている。傾き補正機構１７は、駆動源となる傾き補正用モータと、傾き補正用モータの出力軸に連結される偏心回転部材と、偏心回転部材に下端側が取り付けられるリンク部材と、リンク部材の上端側が取り付けられる取付部材とを備えている。傾き補正機構１７は、偏心回転部材の回転に伴ってリンク部材とともに上下動する取付部材によって、支点部３６を回動中心として搬送対象物２の傾きを変化させる方向にハンド３を回動させている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成と省スペースを実現できるダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物２，３が載置されるハンド部２３，３３、各々が関節部で回動可能に連結された複数のアーム２１，２２，３１，３２を有し、ハンド部２３，３３がアーム２２，３２の一端に関節部で回動可能に連結される、第１及び第２の多関節アーム１１，１２と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の一端が、基端の関節部によって各々回動可能に連結されるアーム支持部１３と、アーム支持部１３の一端を鉛直方向に移動可能に保持し、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部で回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２における基端の関節部以外の関節部での回動を行わせる第１及び第２の関節回動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プーリの熱膨張による軸間距離が長くなりベルトのプーリ間の軸間距離が伸びる。これによる伝達ベルトの張力が過大からくるアームの反りや、ベルトの伸びや破断を引き起こさないようにする。
【解決手段】 各テンションプーリ２３とそれを取り付ける固定ベース５１の間に、テンションプーリ２３を支持するプレート２６を介在させ、プレート２６は熱膨張率が各々異なる支持板Ａ５５と支持板Ｂ５６を張り合わせることにより形成する。熱膨張時のバイメタル効果によりプレート２６が曲がってテンションプーリ２３の位置を変位させることにより、伝達ベルト２４の張力の増減が相殺されてベルト張力を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】減速機などの伝達系を用いた搬送装置における異常検出で、減速機の２次側にベルトやプーリを介す水平多関節ロボットのように、負荷側の状態がモータエンコーダに反映されにくいような機構において精度よく異常が検出できなかった。
【解決手段】エンコーダ２０２から得られた回転角度からモータ部フィードバック加速度４１２を求め、さらにエンドエフェクタ部に搭載された加速度センサからエンドエフェクタ部フィードバック加速度４１４を求め、さらにエンドエフェクタの位置指令４０７からエンドエフェクタ部加速度指令４０８を求め、これらの差分を用いることによって、伝達系の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板検出センサのセンサ信号を取りこぼさないようにすることで、基板搬送システムの基板搬送精度を向上させる。
【解決手段】フォーク３４を動作させる搬送アーム３１と、搬送アーム３１を駆動するアーム駆動モータ３２と、アーム駆動モータ３２の回転角度を検出するモータエンコーダ３３と、基板を検出可能な基板検出センサ４と、基板検出センサ４からのセンサ信号４１を受信し、センサ信号４１が変化すると同時にモータエンコーダ３３からのエンコーダ値を保持するラッチ回路２４と、センサ信号の変化の順番と、そのときのエンコーダ値とを各々セットにして順次記憶する記憶手段２５と、記憶手段２５に記憶されたデータをもとに基板５の位置を演算する演算部と、を備える基板搬送システム１とした。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４ａを積層した積層板４を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板４の表面に静電消失層５が形成され、積層板４の加工端面に端面保護層６を形成した搬送用治具１。 （もっと読む）

【課題】大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下動させる上下駆動機構と、上下駆動機構を制御する制御部８０とを備えている。上下駆動機構は、２台の駆動用モータ２０を備え、制御部８０は、２台の駆動用モータ２０を制御するモータ制御部８１を備えている。モータ制御部８１は、一方の駆動用モータ２０と、他方の駆動用モータ２０とを個別に制御している。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

【課題】その保持手段の強度を従来と同じ以上の強度に保ちながら、表面が緻密で窪みや孔がないロボットアームを提供すること。
【解決手段】動力源により駆動される移動部と、前記移動部に連結され該移動部と共に駆動される取付台と、繊維強化樹脂材からなる中空管体であって、前記取付台から延伸するとともに、その管面に吸盤が管内と連通するように取り付けられていて管内の吸気により管外の物品を吸着し保持することができる保持手段と、を備えているロボットアームにおいて、前記保持手段は、中空管体に形成された本体部と、該本体部の管体内周面を被覆する下鞘部と、該本体部の管体外周面を被覆する上鞘部とからなり、前記本体部は、カーボン繊維を強化材とした繊維強化樹脂材からなり、前記下鞘部及び上鞘部は、ガラス繊維を強化材とした繊維強化樹脂材からなることを特徴とするロボットアームを提供する。 （もっと読む）

本発明は真空移送システムにおいて物品を把持するのに使われる非接触式真空パッドに関する。本発明の真空パッドは、本体、エアガイド、及び前記本体とガイドによって形成される排出通路を含む。前記エアガイドは前記本体の下部端から突出しないように装着され、前記供給ホールに連通する中央流入孔、前記流入孔から壁面を貫いて形成される一つ以上の流路、及び底面から延びて前記流路に連結される吸入ホールを持つ。圧縮空気が流路を通過するとき、真空パッドの下側外部空気が拡散面付近及び吸入ホールを通じて圧縮空気に誘引され、圧縮空気と合流して一緒に排出される。この際、真空パッドと物品の間の空間で発生する負圧で物品を力強く把持することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はメンテナンスが容易な多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部８と、前記ハンド部８と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え、前記ハンド部８を１方向に移動するように伸縮し、上下方向に対向するように配置された多関節アーム２１、２２と、上下に移動するようにコラム１２に取り付けられた上下方向に移動する移動機構１１と前記多関節アーム２１、２２とを連結する支持部材１０と、前記コラム１２の下端部に連結され、前記コラム１２に取り付けられた前記多関節アーム２１、２２を旋回する台座１３とからなる多関節ロボットにおいて、前記台座１３を旋回させる減速機３７の出力軸３９の固定面が前記台座１３を支持する前記軸受４２の厚みの略中心に位置するものである。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャック１３のノズル口１５の周縁部付近に斥力としての正圧が発生することを抑えて、保持ハンド５の保持効率を十分に高めること。
【解決手段】ハンド本体７に複数のベルヌーイチャック１３が設けられ、各ベルヌーイチャック１３は、先端側が開口しかつエアを噴出可能なノズル口１５をそれぞれ有し、各ベルヌーイチャック１３にノズル口１５の内壁面に沿うようにエアを導入可能かつエアを供給するエア供給源１９に接続した導入孔１７がそれぞれ形成され、各ベルヌーイチャック１３のノズル口１５の周縁部が先鋭形状をそれぞれ呈していること。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物を支持すると共に設置台に対して旋回可能に設置される支持手段を備える搬送装置の軽量化を図る。
【解決手段】搬送対象物を支持すると共に設置台１に対して旋回可能に設置される支持手段２を備える搬送装置であって、前記設置台１と前記支持手段２とのうち一方に固定される環状のガイド部３１と、前記設置台１と前記支持手段２のうち他方に固定されると共に前記ガイド部３１に沿って移動可能な複数のブロック部３２とを有し、前記支持手段２を前記設置台１に対して旋回可能に支持する旋回支持手段３を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

ロボットは、リソグラフィ装置の真空チャンバ内で対象物を位置決めする。ロボットの第１コンポーネントは、並進軸に沿って対象物を位置決めするために真空チャンバ内に配置される。シャフトは、シャフトの対称軸が並進軸に対して垂直になるように第１コンポーネントを支持し、第２コンポーネントは、対称軸の周りでシャフトを回転させ、かつシャフトを対称軸に対して平行方向に移動させる。第２コンポーネントは、シャフトの外周面に沿ってガスを導入するように構成されたガスベアリングと、第２コンポーネントガスベアリングによって導入されたガスを排気するように構成された排出シールとを含む。ロボットは、炭化水素分子のガス放出を約０〜２００ａ．ｍ．ｕ.の範囲に実質的に減少または除去し、よってロボットは極端紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィ用途での使用に適する。 （もっと読む）

【課題】ハンドに保持された基板の平面の法線方向において、これを直接的に相手側の基板保持機構と授受できるようにする基板搬送装置用のハンドを提供すること。
【解決手段】ハンド１を、基部となるハンドベース４と、ハンドベース４に重なるように配置され、基板２を支持する揺動ハンド３と、ハンドベース４と揺動ハンド３との間にあって、揺動ハンド３をハンドベース４に対して傾斜及び平行移動可能に支持する揺動機構５と、から構成した。 （もっと読む）

【課題】 剛性の低下を抑えて吸着力を向上させることによって、半導体ウエハ等の基板を確実に吸着して搬送できる真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置を提供する。
【解決手段】 先端側が二股に分岐した板状体７と、板状体７の先端部および分岐部の各表面の少なくとも３カ所に設けられた、気体を吸引して基板８を吸着するための吸着部３と、分岐部の吸着部３と他の吸着部３とをつなぐ吸引路４と、分岐部の吸着部３と吸引路４を介してつながって気体を吸引するための吸引部５とを備えてなる真空ピンセットにおいて、分岐部の吸着部３と吸引部５とをつなぐ吸引路４の断面積が、分岐部の吸着部３側よりも吸引部５側の方で大きい真空ピンセット１である。吸引に掛かる抵抗が小さくなり、吸引路４の容積が大きくなることから、吸着力が向上し基板８を確実に吸着することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構造の上下軸機構を備えた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ワークを一方向に搬送するアーム部５と、前記アーム部５を昇降させるリンク機構２からなる昇降機構を備えた搬送ロボットにおいて、前記リンク機構２が、少なくとも２つの前記リンク機構２、３を備え、互いに直交する回転軸Ｒ１軸、Ｒ２軸に沿ってリンク６、７が回転動作をすることで前記アーム部５を昇降させるとするものである。 （もっと読む）