Fターム［3C047FF00］の内容
研削機械のドレッシング及び付属装置 (4,541) | 付属装置一般 (1,032)
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Fターム［3C047FF00］に分類される特許
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炭化ケイ素体の研削方法
【課題】研削屑等の不純物がワーク表面に近づことを防止する研削方法を提供する。
【解決手段】炭化ケイ素体を研削すると共に酸化特性を有する研削液を炭化ケイ素体の研削面に供給してその研削面に酸化皮膜を設ける工程と、さらに任意の工程として酸化皮膜を洗浄除去する工程とを有する炭化ケイ素体の研削方法。
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