【課題】研削ホイールの損耗をできるだけ抑制しつつドレッシング効果を更に改善して、研削加工精度をより一層高めかつ研削加工の生産性をより一層向上する。
【解決手段】ロータリドレッサ６の周速Ｖｄを超砥粒砥石５の周速Ｖｗより小さく設定した第１ドレッシング工程と、周速Ｖｄを周速Ｖｗと同一に設定した第２ドレッシング工程と、周速Ｖｄを周速Ｖｗより大きく設定した第３ドレッシング工程のうち、少なくとも２つのドレッシング工程を採用して、切込みを与えられかつ送り動作をされたロータリドレッサ６により超砥粒砥石５の研削使用面５ａを、ロータリドレッサ６の周速Ｖｄを変えてドレッシングする。 （もっと読む）

【課題】渦流によるクーラントの浄化とともに当該クーラントを冷却することができ、クーラントを循環利用しても加工装置による加工精度を維持できる渦流循環型クーラント装置を提供する。
【解決手段】加工装置Ｋから導かれスラッジ等が混入したクーラントを渦流状態で収容し、清浄度の高いクーラントを外周側で渦流させるクーラント槽（第１クーラント槽１、第２クーラント槽２）を具備するとともに、当該清浄度の高いクーラントを加工装置Ｋに送り込むことによりクーラントを循環利用するための渦流循環型クーラント浄化装置において、第２クーラント槽２の外壁面２ｃに沿って形成され、当該第２クーラント槽２内のクーラントを冷却するための冷却槽６を具備したものである。 （もっと読む）

【課題】液体成分と固体成分とが混在した廃液を、固形成分と液体成分とに効率良く分離できるとともに、液体成分を純度良く回収でき、固形成分および液体成分ともに再利用できる廃液のリサイクル方法を提供する。
【解決手段】固形成分と液体成分とが混在した廃液Ｗを、前記固形成分と前記液体成分とに分離して、前記固形成分と前記液体成分とをそれぞれ再利用する廃液のリサイクル方法１であって、薄膜蒸発装置を用いて廃液Ｗの前記液体成分を蒸発させて前記固形成分の濃縮液２Ａを生成する濃縮工程２と、濃縮液２Ａに前記固形成分を多く含む固形スラッジを加えた混合液を、攪拌乾燥装置を用いて乾燥させて固形成分３Ａを得る乾燥工程３と、濃縮工程２及び乾燥工程３において排出される気化された液体成分２Ｂ、３Ｂを液化して回収する回収工程４とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分割して構成する単位リニアモータ間において、切粉・鉄粉のスムーズな受渡し作用を行える切粉・鉄粉の搬送装置を提供すること。
【解決手段】溝部で分割されたそれぞれの単位リニアモータ２０Ａ、単位リニアモータ２０Ｂを搬送方向に沿って順に配列する。単位リニアモータ２０Ａにはコイル組１４Ａ₁とコイル組Ａ₂を配置し、単位リニアモータ２０Ｂにはコイル組１４Ｂ₁とコイル組１４Ｂ₂を配置する。単位リニアモータ２０の右端の半溝部１１１ａにＵ相コイル１３Ｕを巻回し、単位リニアモータ２０Ａと単位リニアモータ２０Ｂとの間の連結溝部１１１ｂには、それぞれの単位リニアモータ２０ＡのＶ相コイル１３Ｖと単位リニアモータ２０ＢのＶ相コイル１３Ｖを共有して巻回する。そして、単位リニアモータ２０Ｂの左端の半溝部１１１ｃには単位リニアモータ２０ＢのＷ相コイル１３Ｗを巻回する。 （もっと読む）

【課題】 研削時に発生する発熱や研磨カスによる目詰まりを防止することが可能な電着砥石を提供する。
【解決手段】 円板状台金２の外周面に砥粒が電着されて電着面３が形成され、加工対象物１０の輪郭加工を行う電着砥石１である。円板状台金２の側面から電着面３に至る研削液供給孔４が貫通形成され、研削液供給孔４の一方の開口部４ｂが電着面３において外部に臨んで開口する形で形成されている。輪郭加工に際しては、電着砥石１の円板状台金２の側面から研削液を注液し、研削液供給孔４を介して電着面３に研削液を供給する。また、併せて加工対象物１０の電着砥石出口側からも電着砥石１に研削液を供給する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造におけるシリコンウエハの研磨または切断工程から排出されるシリコン粒子を含む廃液の処理、及び該シリコン粒子を含む廃液からのシリコンの回収を安全かつ経済的に行う方法を提供する。
【解決手段】シリコン粒子を含む廃液に、シリコン粒子の表面を不活性にする成分を添加し、次いで廃液をｐＨ８以上のアルカリ性にした後、廃液に放流可能な処理を行うことを特徴とするシリコン粒子を含む廃液を処理する方法。前記方法において、アルカリ性にした後、廃液から水素ガスが発生しない間に廃液からシリコンを回収する方法。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の端面研削の精度を向上し、端面からの発塵を抑え、かつ砥石を長期間良好な状態に保つことのできる技術を提供する。
【解決手段】砥粒２３を埋設した研削手段２１と、研削位置に冷却液を供給する冷却液供給手段２６とを用いてガラス基板１０の端面１２、１３を研削する方法であって、前記冷却液２５の温度を２８℃以下に調節する。 （もっと読む）

【課題】 微細スラッジを固形物と液体とに分離する処理能率の高い微細スラッジ脱液装置を提供する。
【解決手段】 円筒状金型１４内にて微細スラッジ１８を圧縮するプレス受部材６０は、その上ブロック７０を貫通する貫通穴６８と、その受け面７４において断面が環状の排出穴７６を形成するようにその貫通穴６８内に着脱可能に挿入されたピン７２をそれぞれ備えていることから、微細スラッジ１８内の工作液が１本で多数本の細径排出穴として機能する円環状の排出穴７６を通して外部に導出されるので、微細スラッジ１８がブリケット８７と工作液とに効率よく分離される。また、上記貫通穴６８内に設けられたピン７２は着脱可能に挿入されていることから、たとえ円環状の排出穴７６が詰まったとしても、そのピン７２を取り外すことによって貫通穴６８の内周面とピン７２の外周面とを簡単に清掃できるので、微細スラッジ脱液装置１０の処理能率が高められる。 （もっと読む）

【課題】ホーニングスラッジ等のように、スラリー状体の固体成分が細かなものや、絡み難い形状のものであっても、固液分離によ固形化の処理が簡単に行えるスラリー状体の固形化物を提供する。また、固液分離に使用されて付着したフィルタが公害の要因とならないものとする。
【解決手段】このスラリー状体の固形化物ＳＢは、スラリー状体を圧搾により円柱状に固形化した固形化物本体ＳＢａと、この固形化物本体ＳＢａの両端面に付着した繊維状でペーパー状のフィルタ４，５とでなる。フィルタ４，５は、圧搾時に使用された固液分離用のフィルタであり、その圧搾過程で固形化物本体ＳＢａに付着状態となる。材料のスラリー状体Ｓは、鋼材のホーニング加工、スーパー加工、ラッピング加工で生じるスラッジや、一般の研削加工のスラッジであり、この他におからや小豆かす等の食品かす、パルプかす、脱水汚泥、超鋼、ガラス粉のスラリー状体であっても良い。 （もっと読む）

【課題】 歩留まりおよび研削精度が良好な研削装置を提供する。
【解決手段】 研削装置１０は、前後相隣接して搬送される複数のワークＷを研削する研削装置であって、ワークＷを下流に向けて搬送する搬送装置２０、ワークＷを研削するために搬送装置２０の下流側に設けられかつワークＷの下流への搬送を補助する方向に回転する砥石１８、ワークＷを押圧するために砥石１８の下流側に設けられる押圧装置５２、ワークＷの位置を揃えるために砥石１８の上流側に設けられる位置調整装置３２、ワークＷにクーラントを供給するために砥石１８と搬送装置２０との間に設けられるクーラント供給装置５０、砥石１８と搬送装置２０との間であってワークＷの上方に設けられる板状部材７２、および砥石１８と押圧装置５２との間であってワークＷの上方に設けられる板状部材７４を備える。 （もっと読む）

【課題】シール室にチップが侵入するのを抑制して、濾過性能を向上でき、シール機構のシール性及び耐久性を向上できるチップコンベアにおける濾過装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３４の開口部３４ａから供給されたクーラントの廃液を濾過するための濾過用ディスクプレート４９を所定位置において回転可能に支持する。濾過用ディスクプレート４９の外周縁に対し、シール機構６１を配設し、開口部３４ａから廃液が濾過用ディスクプレート４９の下側を迂回して濾過液貯溜槽側に移動しないようにする。シール機構６１のシール室６８に濾過液を供給するためのノズル７０を前記ホルダ３４に取り付ける。ホルダ３４と濾過用ディスクプレート４９の間の濾過室Ｅからラビリンス通路６９を介して、シール室６８に侵入しようとするチップをノズル７０からシール室６８内に供給されるクーラントの濾過液によって抑制する。 （もっと読む）

【課題】 集塵機の負荷を小さくでき、集塵効率も高めることのできる研削・切断装置を提供する。
【解決手段】 回転砥石を有する研削・切断機が、開閉扉１４を有する密閉ケーシング１２内に配置された研削・切断装置１０において、ケーシング１２内に飛散する削り屑を収集すべく吸入口２２ａがケーシング１２内に開口されると共に、削り屑が回収された後の空気をケーシング１２内に戻すべく吐出口２４ａがケーシング１２内に開口された集塵機２０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研削液等の加工液を工具の加工点に確実に供給する。
【解決手段】砥石１の潤滑、冷却等を目的とする加工液は、工具周辺の空気を巻き込み、加工点２に到達させるのが難しい。そこで、加工液分断装置８において加工液を微細に分断し、空気を含有させてノズル３に導入し、振動子４によって加工液の流動方向に振動を与えて加工点２に吐出させる。加工液の分断による表面張力の低下と、気泡が破裂するエネルギーと、流動方向に作用する１ＭＨｚ以上の振動によって加工液を加工点２へ浸透させる。 （もっと読む）

【課題】 貯留槽の使い勝手の向上を容易に図ることのできる貯留槽用液体流動制御部材を提供する。
【解決手段】 貯留槽Ｔの内部に供給される液体の貯留槽Ｔの内部における流動を制御するために、貯留槽Ｔの内面に配置される取付本体２と、この取付本体２を貯留槽Ｔに取着するための取着手段３とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石の回転速度に関わらず切粉を確実に除去して目詰まりをなくし、研削加工を効率的に行うこと。
【解決手段】 回転可能な研削砥石２により光学レンズ３の外周を研削加工して、該光学レンズ３の光軸と該光学レンズ３の外周の軸芯とを合わせるレンズの芯取り加工を行う装置であって、光学レンズ３の外周と研削砥石２との接触点に研削液Ｗを供給する第１のノズル４と、０．１ＭＰａ以上に加圧された流体Ｗ１を、研削砥石２の外周面に対して直角方向、又は、該直角方向を中心に±８５度の範囲内で斜めの方向から直接吹き付ける第２のノズル５とを備えている光学レンズの芯取り装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 強力な吸引力を有する高価な集塵装置を用いなくても、簡易かつ低コストな構成によって十分な集塵力が得られる研磨集塵装置を提供する。
【解決手段】 モーターにより回転駆動される研磨治具を設けた研磨装置と、この研磨装置の少なくとも研磨治具周囲部を囲うカバーハウジングと、集塵用の通気路を介してカバーハウジングに連絡された吸気式の集塵装置と、集塵装置の浄化気体排出部をカバーハウジングに連絡させた還流用の通気路とにより気体循環サイクルを構成した研磨集塵装置。好ましくは、研磨治具の回転駆動軸に回転式の送風部材を取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 高速回転する砥石の側面に連れ回りする側面随伴空気層が砥石外周研削面に回り込むことを防止して研削点にクーラントを確実に供給する。
【解決手段】 研削点にクーラントを供給しながら工作物を砥石により研削加工するとき、砥石コア１５側面に連れ回りする側面随伴空気層３３は、砥石コア１５の外周面に砥石チップ１６の幅方向両外側で全周に亙って突設された遮断壁２７により外周研削面に回り込むのを遮断される。これにより、側面随伴空気層３３の一部が外周研削面に回り込んで外周随伴空気層３３の流速を速くすることがなくなり、クーラントを研削点に確実に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】相互に分離可能に連結される分割体から構成された砥石軸において、各分割体相互の連結状態を確認することができる砥石軸を提供する。
【解決手段】相互に密接する密接部（第一砥石軸７１の端面８４，第一砥石軸７１のテーパ穴８５，第二砥石軸７２の端面８６，第二砥石軸のテーパ筒８７）を夫々有し、軸方向に分離可能に連結され、分離した状態で相互の間隙を介して砥石車Ｔが着脱される第一砥石軸７１及び第二砥石軸７２と、連結された状態の前記第一砥石軸７１及び第二砥石軸７２の各密接部（８４，８５，８６，８７）の間に流体圧を付与する流体圧付与手段９２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス板などの硬質脆性材の加工に適した研削加工方法及び装置に関するもので、砥石の目詰まりを防止して、ドレス作業なしの長時間連続研削を可能にすること、研削液を無駄なく利用できるようにすると共に、少ない量の研削液で加工を行うことを可能にすることである。
【解決手段】超音波を重畳した研削液を回転砥石３とワーク１とが接触する加工点２ａ、２ｂより砥石回転方向上流側の位置で砥石表面に付与し、付与された研削液が砥石表面に付着した（巻付いた）状態で加工点２ａ、２ｂに運ばれるようにして、当該加工点への研削液の供給を行うと共に、研削液が砥石表面に付与される位置で、砥石表面の洗浄作用が発揮されるようにする。研削液の付与位置を加工点から離すことができるので、ノズル先端７を砥石表面に十分に接近させることが可能になり、研削液の無駄を防止できる。 （もっと読む）

【課題】金属板の表面残留応力を、回転砥石による研削のみで圧縮応力にする。
【解決手段】回転砥石3のみに向かって冷却ノズル7から窒素ガス7Gを吹き付け、該回転砥石3のみを冷却しながら金属板20の表面20aを研磨し、該表面20aの残留応力を圧縮応力にする。 （もっと読む）