【課題】小型化および低コスト化を図るとともに、コンクリートの品質劣化を防止しつつ、測定対象物の状態を測定し、その測定結果に基づく情報を鉄筋の腐食前の計画的または予防的な保全に活用することができるセンサー装置およびセンサー装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー装置１は、不測定対象部位の環境変化に伴って表面に不動態膜を形成するか、または、表面に存在した不動態膜を消失させる第１の金属材料で構成された第１の電極３と、第１の電極３に対して離間して設けられ、第１の金属材料とは異なる第２の金属材料で構成された第２の電極４と、基板２１と、基板２１の一方の面側に設けられ、第１の電極３と第２の電極４との電位差を測定する機能を有する集積回路５０とを含む機能素子５とを備え、第１の電極３および第２の電極４は、それぞれ、集積回路５０上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁２２−１〜２２−４には、センサ部２５−１〜２５−４が設けられている。これにより、センサ部２５−１〜２５−４の抵抗値の変化に基づいて可動梁２２−１〜２２−４の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子１が故障しているか否かを特定することもできる。 （もっと読む）

【課題】従来の光偏向器においては、駆動電圧をフルに駆動用圧電アクチュエータに印加することによって行っているので、所定の駆動力を得るには、駆動用圧電アクチュエータを大型化しなければならず、消費電力を小さくさせる。
【解決手段】ミラー２は矩形反射面を有し、支持体１の空洞部１ａ内に位置する。１対のトーションバー３、４はミラーを揺動可能に支持する。トーションバーの支持体側に作用する駆動用圧電アクチュエータ５、６、７、８を設け、トーションバーのミラー側に作用する駆動兼検出用圧電アクチュエータ９、１０、１１、１２を設ける。制御ユニットＵ２は駆動兼検出用圧電アクチュエータの検出電圧Vの振幅に応じて駆動用圧電アクチュエータの駆動電圧及び駆動兼検出用圧電アクチュエータの駆動電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて出力精度の向上を図ることのできる加速度センサ、及び該加速度センサを備えた加速度センサシステムを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ技術で形成される静電容量型の加速度センサであって、基板１と、基板に対向して配置された検出フレーム２１，２２と、基板に対向して配置された慣性質量体５と、検出フレームに対向し基板に配置される検出電極４１、４２とを備え、さらに、検出電極に隣接して基板上に設けられ検出電極の出力値を補正するための補正電極１０１，１０２を備えた。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータの信頼性を向上させる。
【解決手段】半導体装置１０は、下部電極４３，４４と、下部電極４３，４４の上方にアンカーによって支持されかつ下に駆動する上部電極４５と、下部電極４３，４４と上部電極４５との間に設けられた絶縁膜４６とを有し、下部電極４３及び上部電極４５から構成される第１の可変容量素子と、下部電極４４及び上部電極４５から構成される第２の可変容量素子とを有する静電アクチュエータ１１と、下部電極４３に接続された第１の固定容量素子と、下部電極４４に接続された第２の固定容量素子と、上部電極４５に接続され、絶縁膜４６に蓄積された電荷量を検知する検知回路１５とを含む。 （もっと読む）

【課題】従来のセンサとは別の動作原理に基づくMEMS技術を応用した新たな高感度センサを提供する。
【解決手段】磁性膜センサは、磁気歪を発生する矩形状の磁性膜を有し、磁性膜に磁気歪を発生させる磁気歪構造を有している。磁気歪構造は、例えば磁性膜を湾曲させて磁気歪を発生させるように構成されている。また、磁気歪構造は、例えば表面に凹部が形成された凹部付絶縁層を設け、その凹部を跨ぐようにして磁性膜を形成することによって得られる。磁性膜は、ＧＭＲ膜等に永久磁石バイアス層が積層され、その永久磁石バイアス層によって磁性膜の短手辺に沿った方向の磁界がＧＭＲ膜に加えられている。 （もっと読む）

【課題】外力の大きさ及び方向、並びに加速度を検出することができ、低コストに製造することのできる力学量センサ及び力学量センサの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る力学量センサは、基板と、前記基板上に配置された複数の固定部と、前記複数の固定部にそれぞれ一端部が支持されて前記基板から離隔して各々が所定の間隙を空けて配置された複数の可動電極と、前記複数の可動電極の他端部に各々隣接して力学量の検出方向に配置された固定電極と、前記複数の固定部に各々電気的に接続された複数の第１端子と、前記固定電極に電気的に接続された第２端子と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外力の大きさ及び方向並びに加速度を検出することができ、低コストに製造することのできる力学量センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る力学量センサは、第１基板と、前記第１基板上に配置された固定部と、前記固定部に一端部が支持されて前記第１基板から離隔して配置された可動電極と、前記可動電極の周囲に位置し力学量の検出方向に配置された固定電極と、前記固定部に電気的に接続された第１端子と、前記固定電極に電気的に接続された第２端子と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスを駆動させ、共振周波数の誤差を測定し、製造工程の寸法誤差を評価する方法を実現する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの評価方法は、基板２０の表面に形成される下部電極５０と、下部電極５０の表面に空間を有し、互いに平行、且つ対向する方向に延在される第１駆動腕６２と第２駆動腕６４を有し、第１駆動腕６２と第２駆動腕６４それぞれの共振周波数を測定する工程と、第１駆動腕６２と第２駆動腕６４それぞれの共振周波数から共振周波数の中央値を計算する工程と、第１駆動腕６２と第２駆動腕６４それぞれの共振周波数と前記中央値との差を計算する工程と、を含み、この共振周波数の差から第１駆動腕６２及び第２駆動腕６４のずれ量を評価する。 （もっと読む）

【課題】ホールド状態で十分長い時間が経過しても、不具合を起こさないように静電型アクチュエータを駆動できるＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】基板１２上の下部電極１５、基板との間に空洞が存在するように配置された上部電極１７、及び上部電極と下部電極間に配置された第１絶縁膜４２を有する静電型アクチュエータと、基板上に下部電極と離隔して形成された第一の電極１８Ａ，１８Ｂと、上部電極との間に絶縁体を介して形成され、第一の電極と対向するように配置された第二の電極１９と、静電型アクチュエータの上部電極１７に駆動電圧が印加されている間は下部電極１５を接地電圧とし、下部電極１５に駆動電圧が印加されている間は上部電極１７を接地電圧とするバイアス回路２３を有する。バイアス回路２３により駆動電圧及び接地電圧を上部電極１５及び下部電極１７に印加することにより、第一の電極と第二の電極との間の距離を変化させる。 （もっと読む）

【課題】可動部の軽量化を十分に図ることが可能な光走査装置用揺動ミラー、及び、該光走査装置用揺動ミラーを備える光走査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】固定部３１ａ、３１ｂ、可動部３２、及び、固定部３１ａ、３１ｂに対して可動部３２を揺動可能に支持する支持部３３ａ、３３ｂを有する基板３と、可動部３２の一方の面側に設けられるミラー部４と、可動部３２とミラー部４との間に介装される平面コイル５とを備えることを特徴とする光走査装置用揺動ミラー２、及び、該光走査装置用揺動ミラー２を備える光走査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械（ＭＥＭＳ）加速度計および加速度検出方法を提供する。
【解決手段】ハウジング４４と、ねじれ屈曲部４６、４８、５０、５２によりハウジング４４内に吊るされるプルーフマス４２と、ねじれ磁気再平衡要素として、プルーフマス４２上の平面コイル６０および磁石６６を有する。平面コイル６０は、ねじれ屈曲部を中心とするプルーフマス４２の回転軸の両側に延び、磁石６６は、Ｎ−Ｓ軸がプルーフマスの４２回転軸にほぼ垂直になるように方向付けられる。ＭＥＭＳ加速度計内のピックオフの容量の変化を検出し、平面コイルに電流を通じることでＭＥＭＳ加速度計を再平衡させる。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体チップを積層した積層体にＭＥＭＳセンサを内蔵した小型の半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体チップ１３、１４、１５が、絶縁層１６、１７を介して積層された積層体１８と、第１領域１１に形成され、積層体１８の最上層の半導体チップ１５から最下層の半導体チップ１３に至り、最下層の半導体素子に電気的に接続された貫通電極１９と、第２領域１２に形成され、積層体１８の最上層の半導体チップ１５から最下層の半導体チップ１３に至る貫通孔２０の底面から立設し、最上層の半導体チップ１５に至る高さを有するとともに、貫通電極１９と材質が同じ可動電極２１と、貫通孔２０の淵に沿って最上層の半導体チップ１５上に形成され、貫通孔２０の外側に向かって互いに直交する方向に延伸した第１および第２固定電極２２、２３と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】感度を改良し、大きな信号対雑音比および低電力の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）加速度計および加速度検出方法を提供する。
【解決手段】ヒンジタイプの屈曲部４４により吊るされるプルーフマス４２と、プルーフマス４２上に位置する平面コイル４６、４８と、コイルの平面に対して約３０°から約６０°の間の範囲の磁束角度で、磁束場がコイルを通るように位置決めされる磁石５０，５２とを有する。例示的な一実施形態において、この角度は４５度である。磁石は、プルーフマス４２の第１側部側に位置する第１環状磁石５０と、プルーフマス４２の第２側部側に位置する第２環状磁石５２とを備える。ＭＥＭＳ加速度計のピックオフのキャパシタンスを検出し、平面コイル４６、４８に電流を伝達することによりＭＥＭＳ加速度計を再平衡させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、装置の充分な信頼性を確保することができるアクチュエータ装置、このアクチュエータ装置を備えた液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ基板（アクチュエータ装置）１０においては、疎水剤導入部５２は、開放孔５１からの疎水剤供給経路長が全ての静電型アクチュエータ７３の中で最長の位置にある静電型アクチュエータ７３と同一となる位置又はこの静電型アクチュエータ７３よりも長くなる位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】絶縁のために電圧等を印加する必要が無く、機械的強度の低下を抑えることができ、寄生容量を抑制可能な、互いに電気的に絶縁された複数の導電性領域を有する構造体及びその製法を提供する。
【解決手段】互いに電気的に絶縁された複数の導電性領域104を有する構造体は、導電性領域104の上面側に、可動に支持された可動子301が設けられ、可動子301は導電性領域104に対向する電極を有する。導電性領域104の下面を介して電気信号が授受可能に構成され、複数の導電性領域104間が、連続した酸化領域によって絶縁され、酸化領域は、複数の貫通孔103もしくは溝が形成された材料の酸化物102から成る。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータの状態を簡単かつ正確に判定し、チャージング等が生じていると判定される場合にはこれを速やかに正常な動作状態に復帰させる。
【解決手段】上部電極１４にはホールド電圧Ｖｈｏｌｄを、下部電極１５には接地電圧Ｖｓｓを印加し、その後、下部電極１５の電圧ＢＥを試験電圧Ｖｔｅｓｔとしてから上部電極１４のホールド電圧Ｖｈｏｌｄを切り離して上部電極１４の電圧ＴＥを高インピーダンス状態（ｈｉ−Ｚ）とする。上部電極１４と下部電極１５との間の電位差は、Ｖｈｏｌｄ−Ｖｔｅｓｔ＝Ｖｍｏｎとなる。その後、電圧ＢＥを接地電圧Ｖｓｓに戻す。このときの容量カップリングによる電圧ＴＥの下降幅に基づき、電極１４、１５間の容量を測定して開・閉状態を判断する。 （もっと読む）

【課題】ギャップを更に狭小化することが可能なマイクロエレクトロメカニカルデバイスの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロエレクトロメカニカルデバイスにおいては、共振子２２と電極２１が互いに対向し、その対向面には一対の熱酸化膜５、５が形成されて、両熱酸化膜間に狭小化されたギャップを有している。本発明に係るマイクロエレクトロメカニカルデバイスの製造工程においては、共振子２２と電極２１となるＳｉ層に対し、フォトリソグラフィとエッチングを用いた加工を施して、ギャップとなる溝２０を形成した後、該Ｓｉ層に対し、熱酸化処理を施して、溝２０の対向面に一対のＳｉ熱酸化膜５、５を形成する。 （もっと読む）

MEMSデバイスの閾値電圧を測定する方法およびデバイスが開示される。閾値電圧は、デバイスに状態の変化を生じさせる試験電圧に基づく。デバイスの状態変化は、試験電圧を駆動するのに使用された積分電流または積分電荷をモニタすることによって検出される。
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【課題】 小型化が可能であり、複数の共振周波数を得ることができること。
【解決手段】 Ｘ方向に延びるように形成され、Ｘ方向に直交するＹ方向に振動する振動片３４と、振動片３４の両端を支持する振動子アイランド３３ａ，３３ｂとを有する振動子３２と、振動片３４に対して所定距離を空けた状態で振動片３４を間に挟むように配置され、電圧が印加された時に静電引力を発生させて振動片３４を振動させる電極部３１ａ，３１ｂと、を備え、さらに、振動片３４の上方（Ｚ軸方向）に薄膜５０を備える発振子１００を提供する。 （もっと読む）