【課題】塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、ペリクル枠体の製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上３５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】寸法精度を確保しつつ、分割部材にて構成される枠部材に塗装材により塗装を行う場合であっても、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル及びペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、分割枠体のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上１５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、分割枠体とすることにより、寸法を容易に調整することができるため、寸法精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】円盤状基板を梱包する梱包袋に穴あきが生じにくく、円盤状基板への異物の付着や円盤状基板表面の状態変化を抑制することができる円盤状基板の梱包体等を提供する。
【解決手段】複数のガラス基板１０を収容する基板収容容器６０と、ガラス基板１０が収容された基板収容容器６０を脱気した状態で密封する四隅を面取りした梱包袋７０と、ガラス基板１０が収容された基板収容容器６０が密封された梱包袋７０を複数個固定する固定手段と、を有することを特徴とするガラス基板１０の梱包体９０。 （もっと読む）

【課題】加熱テスト後の枠体の撓み量が少ない大型ペリクル用枠体を提供する。
【解決手段】平面視矩形状の開口部（４）を備えるペリクル用枠体（２）であって、端部同士が接合されることにより開口部（４）の周縁を形成する複数の部材（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する。接合される一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部には、接合される他方の部材（４ｃ、４ｄ）に向けて突出する少なくとも一つの凸部（Ｐ）を設け、他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部には、凸部（Ｐ）を嵌合させる凹部（Ｃ）を設け、凸部（Ｐ）を凹部（Ｃ）に嵌合させることにより一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部を他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部に接合させる。 （もっと読む）

【課題】多数の直管形照明灯を一つの包装体によって包装するのではなく、直管形照明灯の２本を１ユニット（一つの単位）として包装する包装装置を提供する。
【解決手段】一枚の包装部材によって直管形照明灯の管体部分を覆う本体保護部と、管体部分の両端部に突出した端子部を保護する端子保護部を形成し、本体保護部は、２本の直管形照明灯が並列配置される幅で管軸方向に長い形状の基部と、基部の長辺に連続して一方の直管形照明灯を包む第１管体包囲部と他方の直管形照明灯を包む第２管体包囲部とが一体形成され、端子保護部は、基部の管軸方向の両端部に端子部に対応した切り起こしにて立ち上がり辺とその両端部から外方向に屈曲した補強辺を備え、立ち上がり辺に直管形照明灯の端子部挿入孔が形成され、第１管体包囲部及び第２管体包囲部の先端が重ね合わせ状態で立ち上がり辺と係止し合う係止部を備えた。 （もっと読む）

【課題】搬送の際にも内容物の汚染による性能低下を起こさないクリーン性に優れた、生産性の高い電気電子機器部品搬送用ケースの提供。
【解決手段】メタロセン触媒を使用して製造されたプロピレン系樹脂１００重量部に対し、好ましくは特定の構造を有する立体障害アミド化合物である造核剤を０．０１〜０．４重量部配合してなり、揮発性成分の量が５重量ｐｐｍ以下であるプロピレン系樹脂組成物を用いる電気電子機器部品搬送用ケース。 （もっと読む）

【課題】膜の品質を低下させることなく、ウエハを保持しつつ、非接触搬送装置を用いて好適に搬送できるウエハホルダを提供する。
【解決手段】ウエハホルダ１Ａは、ウエハＷを保持し、主面５には、凹状のポケット部１０Ａが形成され、ポケット部１０Ａは、ウエハＷが載置される底部２０と、主面５及び底部２０に連なる側壁部３０とによって構成され、主面５から底部２０までの深さＤは、ウエハ厚みＨの５０％よりも深く、側壁部３０は、主面５に連なる側壁上部３２と、側壁上部３２及び底部２０に連なる側壁下部３４とを有し、底部２０の中心Ｏを通り主面５に垂直な断面において、側壁上部３２と側壁下部３４との接点である側壁接点Ｋは、底部２０からウエハ厚みＨの５０％より高く、底部２０と反対側のウエハ表面２００より低い範囲にあり、前記断面において、主面接点Ｐが側壁接点Ｋよりも中心軸Ｃから離れるように、側壁上部３２は、傾斜する。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なるガラス板の包装に対応することができるとともに、耐衝撃性の高いガラス板包装容器を提供する。
【解決手段】ガラス板包装容器１０は、ガラス板Ｇ１、Ｇ２が固定される背板１２、及びフラップから構成される。フラップ１８、２０にはフラップ１４、１６の面ファスナの雄材２２に係合される面ファスナの雌材２４が取り付けられ、背板１２には孔２８、長孔３２、孔３４、３６、３８、長孔４０、４２、４４が開口される。孔２８と長孔３２および孔３４と長孔４０には、それぞれ荷締め部材が挿入され、ガラス板のサイズに応じて、孔３６と長孔４２に、及び／又は孔３８と長孔４４に荷締め部材が挿入される。荷締め部材を、各々張設して端部同士を溶着によって係合する。この後、フラップ１４、１６を折り畳み、次にフラップ１８、２０を折り畳み、フラップ１８、２０の面ファスナの各雌材２４をフラップ１４、１６の各雄材２２に係合させる。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対して搬送部材を新規な取り付け構造によって固定することにより、容器本体の変形を防ぎ、たとえばシール性の確保等が図れた信頼性のある基板収納容器を得る。
【解決手段】基板収納容器は、開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の天面、開口から観た左右のそれぞれの側壁面、および底面のうち隣接する複数の面に対向して取り付けられる取り付け枠体と、前記取り付け枠に取り付けられた搬送部材と、を備えて構成される。これにより、搬送部材は取り付け枠体を介在させて間接的に容器本体に取り付けられる。また、前記取り付け枠体は、前記容器本体よりも剛性の高い材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数のトレー間で多くの被収容物を挟持状に保持する包装体において、被収容物に対する汚れの固着を軽減する。
【解決手段】複数の収容部１１が所定の配列で設けられた柔軟性材料からなる複数のトレー１０を備え、これらのトレー１０を、収容部１１の全部又は一部にプリフォーム５０が収容された状態で積み重ねることにより、上下に隣接するトレー１０間でプリフォーム５０を挟持する包装体１であって、上下に隣接するトレー１０が、プリフォーム５０の頂部及び底部に接触することなく、プリフォーム５０の外周縁部を挟持する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の搬送システムにおいて、予め装置に前室を設けた上で容器から、被搬送物を前室を通じることで装置区域に被搬送物を搬送していた。そのため、容器と前室との接続が複雑な機構によってなされていた。
【解決手段】搬送容器内の被搬送物を装置内に搬送するにあたり、搬送容器と装置を密着させることにより初めて前室に相当する連結室を形成するようにし、搬送容器、搬送容器扉、装置扉間の磁気引力により、その連結室ごと装置内に被搬送物を搬送するようにして搬送容器と装置の構造を簡略化し、かつ確実に被搬送物を装置内に搬送するようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて水平状態で収納する搬送用容器として、容器本体の側壁内面の収納及び取り出し操作用の切欠凹部の上端部が外方へ開放されている場合にも、蓋体被着状態においては良好な密封性を保有できるようにする。
【解決手段】容器本体１と蓋体３とからなり、容器本体１の側壁上端の開口端部１１における凸状縁１２の外側の切欠段部１３に、蓋体３の周縁部３１の嵌合壁部３２を嵌合して被着する搬送用容器であり、容器本体１の少なくとも一方の相対向する側壁１５ａ，１５ｃの内面に、凸状縁１２の部分から底部上面１４ａに至る収納及び取り出し操作用の切欠凹部１８を設け、その上端部の凸状縁１２の部分を切欠して外方へ開放し、蓋体３の嵌合壁部３２の内側に切欠凹部１８に嵌合しかつ上端部の外方への開放部分１８ａを閉塞する遮蔽壁３３を設ける。 （もっと読む）

【課題】表面からだけでなく、端面からの酸素及び水蒸気の浸入も防ぐことができ、且つ透明性を兼ね備えたガスバリア性積層体からなる包装袋、及び該包装袋を含む封入表示デバイスを提供する。
【解決手段】第１の透明ガスバリア性フィルム１ａと、該第１のフィルム上に積層された第１の接着性樹脂層２ａと、該樹脂層上に積層された第２の透明ガスバリア性フィルム１ｂと、該第２のフィルム上に積層された第２の接着性樹脂層２ｂと、該第２の樹脂層上に積層されたシーラントフィルム３とを有する積層体を、該シーラントフィルムが最内層となるように製袋して得られることを特徴とする包装袋で、該第１及び第２の接着性樹脂層が、架橋性基を有するフッ素含有共重合体と該架橋性基と反応する硬化剤とにより形成されたフッ素系樹脂からなる層であり、該シーラントフィルムがポリオレフィン系樹脂からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな装置を特に必要とすることなく、簡単な構成によって、基板の収納空間に気流を生じさせ、内部をクリーンな状態に保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に取り付けられた搬送部材とを備える基板収納容器であって、前記基板収納容器の搬送時に、空気を前記基板収納容器内に取り込む吸い込み口と、前記吸い込み口から流入する空気をろ過するろ過手段と、前記基板収納容器内の空気を外部に排気する排気口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＡｒＦエキシマレーザー光のような短波長のレーザー光を用いて長期間使用しても、フォトマスク上へのヘイズの析出を防止しうるリソグラフィ用ペリクルを提供する。また、そのリソグラフィ用ペリクルに張設するペリクル膜の製造方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ用ペリクル１は、枠状のペリクルフレーム４の一方の開口枠にリソグラフィ用のレーザー光を透過するペリクル膜２が張設されており、ペリクルフレーム４の他方の開口枠がフォトマスク１０に貼着可能なリソグラフィ用ペリクル１であって、ペリクル膜２が、異物粒子１６を通過不能でガス分子１５を通気可能な孔サイズで貫通する通気孔７を有しているものである。 （もっと読む）

【課題】揮発性炭化水素等の少ないプロピレン系樹脂組成物を用い製造され、特に半導体およびその関連部品を収納した場合に、特に揮発性物質などによる内容物への汚染や汚染による不具合の発生などの影響のないプロピレン系樹脂製の射出成形半導体関連部品搬送ケースを提供する。
【解決手段】 プロピレン系重合体１００重量部に対し、フェノール系酸化防止剤が０．０３〜０．２重量部の範囲で配合された、揮発性成分含有量が１０重量ｐｐｍ以下のプロピレン系樹脂組成物を成形材料として使用して、その材料の射出成形後の揮発性成分含有量を１５重量ｐｐｍ以下とすることにより、ケース内に収納した半導体関連部品の揮発性物質による汚染の影響を少なくした半導体関連部品搬送ケース。 （もっと読む）

【課題】本発明は、装填されたチップ状電子部品が腐食して劣化することがない、多層抄き板紙を使用したチップ状電子部品用キャリアテープ台紙及び生産効率の高いチップ状電子部品用キャリアテープ台紙の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るチップ状電子部品用キャリアテープ台紙は、基紙が、表層と、裏層と、前記表層及び前記裏層の間に１層以上の中間層とを有する多層抄き板紙であり、前記基紙は、水溶性高分子及び硫酸銅を含有し、前記硫酸銅の含有量が、前記基紙のパルプ固形分質量に対して５×１０^−４質量％以上３５×１０^−４質量％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのパワー半導体モジュールと輸送包装を備えて構成される配列装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのパワー半導体モジュール５と輸送包装２を備えて構成される配列装置１であって、および輸送包装がカバー層１０と、各切り欠き２３０が少なくとも１つのパワー半導体モジュール５に割り当てられた中間層２０と、カバーフィルム３０とを有する配列装置１である。少なくとも１つの切り欠き２３０では、パワー半導体モジュール５が、カバー層の第１の主面１００上に配置され、前記パワー半導体モジュール５のベース要素４０は、カバー層１０の第１の主面１００上に位置するようになり、およびカバーフィルム３０は、少なくとも１つのパワー半導体モジュール５のハウジング５０のかなりの部分を接触するようにして覆い、およびカバーフィルム３０はさらに、中間層２０の第１の主面１００に接続される。 （もっと読む）

【課題】パネル状物品の破損を防止可能であって、且つ、収納したパネル状物品を取り出しが容易な収納トレイを提供すること。
【解決手段】収納トレイ１は、複数のトレイ本体１１を積層させる収納トレイ１は、トレイ本体１１に、パネルＰの側部と当接する側壁部１５及びパネルＰの下面の外縁部を支持する支持部１６を有する収納部１２と、収納部１２の一対の側部に設けられ、その支持部１６と隣接する側面と底面との稜部にアンダーカットである突部２１を有する指逃げ部１３と、を備え、パネルＰの主面方向及び上下方向の移動を、側壁部１５、支持部１６及び突部２１にて規制する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス板積層体に含まれるガラス板の積込作業や取出作業を阻害することなく、ガラス板の前後方向と幅方向のズレを同時に確実に抑制し得るガラス板梱包用パレットを提供する。
【解決手段】複数枚のガラス板を縦姿勢で積層したガラス板積層体Ｇの下面を支持する基台部１と、ガラス板積層体Ｇの背面を支持する背面部２と、ガラス板積層体Ｇの前面を押える前面押え部材３と、ガラス板積層体Ｇの両外側面よりも外側に食み出した前面押え部材３の両端部を支持する支持部材６とを備えたガラス板梱包用パレットであって、支持部材６にガラス板積層体Ｇの外側面を押える外側面押え部材４を設けるとともに、支持部材６が背面部２に係脱自在に支持されている。 （もっと読む）