【課題】モールド構造体の複製を１回のインプリントで高精度に行え、欠陥の発生が少なく、微細パターンを効率よく形成することができるパターン形成方法、基板加工方法、モールド構造体の複製方法、及びモールド構造体の提供。
【解決手段】被パターン形成体、及び表面に凹凸部を有するモールド構造体の少なくともいずれかに活性種供給源を付与する活性種供給源付与工程と、前記モールド構造体の凹凸部を前記被パターン形成体に押圧して、前記活性種供給源を前記モールド構造体の凹部に封入する押圧工程と、前記モールド構造体及び前記被パターン形成体のいずれかを通して励起光を照射し、前記凹部に対応する被パターン形成体を酸化分解する酸化分解工程と、を少なくとも含むパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】効率よくナノインプリント加工を行い得る方法およびその装置を提供する。
【解決手段】転写面に凹凸パターンを形成したモールドを用いて、熱可塑性レジストを塗工した基板のレジスト面にパターンを形成するインプリント方法であり、アライメント工程、加熱工程、モプレス工程、冷却工程、離型工程を少なくとも有し、前記各工程が、１つの工程をその中で実施する独立ユニット、複数の工程をその中で実施する複合ユニットあるいは独立ユニットと複合ユニットの組み合わせからなる複数のユニット内にて実施され、モールドと基板と対にしてユニット間を搬送する搬送工程を有するインプリント方法およびインプリント方法における各工程を１つの工程をその中で実施する独立ユニット、複数の工程をその中で実施する複合ユニットあるいは独立ユニットと複合ユニットの組み合わせからなる複数のユニットを備え、さらに、前記各ユニット間をモールドと基板と対にして搬送する搬送手段を備えてなるインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂表皮材によって製造される製品における絞模様が所定に位置に配置されて見栄えのよい製品を確実に製造することができる合成樹脂表皮材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】合成樹脂シート１０面に第１の絞模様と第２の絞形態を同時に形成する方法であって、第１の絞模様が合成樹脂シート１０から製造される製品面に形成される絞模様であり、第２の絞形態が合成樹脂シート１０から製造される製品における第１の絞模様が所定の位置に配置されるように合成樹脂表皮材２２の成形加工機の加工時又は打ち抜き加工機の加工時の位置決めをするための絞形態である合成樹脂表皮材の製造方法であり、このとき得られる合成樹脂表皮材２２である。 （もっと読む）

【課題】プレート板やニップロール及び緩衝材による傷がつかず、これらの表面粗さがシート状の樹脂基材に転写することなく微細形状が転写でき、さらに成形時のひずみによる平面性悪化を好適に抑制できる微細形状転写シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】微細形状転写シートの製造方法は、微細形状が表面に形成された金型３の表面にシート状の樹脂基材２を供給した後、加熱された状態のシート状の樹脂基材を、加圧部材により金型に押圧し、シート状の樹脂基材の表面に微細形状を転写する微細形状転写シートの製造方法であって、加圧部材により押圧されるシート状の樹脂基材の非成形面側に保護フィルムが積層されており、該保護フィルムが基材層と粘着層との２層積層体を含み、該粘着層が該シート状の樹脂基材に面しており、該２層積層体の粘着層側から測定した弾性率が１３０ＭＰａ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定の凹凸形状を有する複合シートを好適に製造することが可能な複合シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、シート２、３が接合されて多数の凹状部１Ｂが形成されているとともに、シート２には凹状部１Ｂ以外の部分の一部に、凸状部１Ａが形成されている複合シート１の製造方法であり、凹凸部を有するロール１１及びロール１２を互いの凹部と凸部とが噛み合うように回転させながら両ロールの間にシート２を供給して凹凸形状を賦形するに際し、ロール１１の凹部へのロール１２の凸部によるシート２の押し込み位置において、ロール１２の凸部を、ロール１１の凹部におけるロール１１の回転軸方向及び／又は該方向に交差する方向の中心に対して非対称となるように設けておき、シート２に凹凸形状を賦形した後に、ロール１１にシート２を保持した状態で、シート３を重ね合わせるように供給して両シートを部分的に接合する。 （もっと読む）

【課題】原反に凹凸柄を形成するエンボス装置であって、とりわけ、高い稼働率で効率的に原反に凹凸柄を形成することができるエンボス装置を提供する。
【解決手段】エンボス装置１０は、原反７０に対面するようになるエンボス型面３０を有するエンボスロール２０と、エンボスロール２０に対向して配置されたバックアップロール１３と、を備える。原反は、エンボスロール２０とバックアップロール１３との間で押圧されるようになる。エンボスロールのエンボス型面は、原反に形成すべき凹凸柄８５に対応した凹凸形状を有する凹凸部３５と、エンボスロールの回転軸線Ｌ１に沿って凹凸部からずれた位置に形成され、凹凸部とは異なる凹凸形状を有する凹凸パターン４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 例えば、凹凸間隔が１μｍ以下の規則的で緩やかな凹凸を有する太陽電池用基板や発光装置用基板を作製するために好適な転写用金型の製造方法と、該転写用金型の製造方法で得られた転写用金型を用いた凹凸付基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 断面形状が規則的な凹凸を有する転写用金型の製造方法であって、基板上に樹脂層を形成する工程、前記樹脂層に原型を押し当てて該樹脂層に凸部と凹部を形成する工程、前記樹脂層を加熱して凸部の上底と凹部の下底とに曲面を形成して母型とする工程、該母型にめっきを施し電鋳法により転写用金型を作製する工程を含む転写用金型の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比の周期的な構造を有する３次元モールドを、製造効率良く製造する方法と、この製造方法によって得られる３次元モールド、加工物、及び樹脂成形品を提供する。
【解決手段】本発明の３次元モールドの製造方法では、レジスト層を基体上に備える被加工物を準備する工程、第一の加熱工程、照射工程、第二の加熱工程、及び現像工程を少なくとも有する。レジスト層は、下記一般式（１）で表されるアルコキシシランの加水分解物および縮合物の少なくとも一方を含む。下記一般式（１）において、Ｒ^１は水素原子又は１価の有機基を表し、Ｒ^２は１価の有機基を表し、ｎは１〜３の整数を表す。第二の加熱工程ではレジスト層を３００℃以上で加熱する。更にこの製造方法によって得られる３次元モールドをモールドとして、加工物及び樹脂成形品を作製する。
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【課題】凹凸形成加工を比較的低温で行っても、フィルムに所望の凹凸を十分に付与できる凹凸フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】樹脂フィルム１ａに溶媒２を適用した後、残留溶媒量２０〜１５０重量％の樹脂フィルム１ｂに対して凹凸形成加工を行うことを特徴とする凹凸フィルム１ｃの製造方法。 （もっと読む）

【課題】太陽電池や発光装置用として好適な微細凹凸付き基板において、ポリイミド樹脂表面に凹凸パターンを形成する際に発生しやすいボイドやピンホールを抑制した凹凸付き基板とその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る凹凸付き基板の製造方法は、ポリイミド前駆体を含有する樹脂材料を長尺状の薄板表面に塗布する塗布工程と、塗布した前記樹脂材料を加熱処理する第１の加熱工程と、前記樹脂材料に凹凸形状転写用モールドを当接して加熱押圧する工程と、加熱押圧した前記凹凸形状転写用モールドを前記樹脂材料から剥離する工程と、前記凹凸形状転写用モールドを剥離した後の樹脂材料を加熱する第２の加熱工程とを含んでいることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面に規則的な微細凹凸パターンが形成されたエンボスシートを、欠陥なく高品質に製造することができるスタンパーローラの効率的な製造方法の提供。
【解決手段】素管ローラ３４表面にスタンパー２６ｄを設けたスタンパーローラ３６の製造方法であって、原版ローラの凹凸形状を転写した基材２０の表面に電鋳箔２６ａを設ける電鋳箔製造工程と、電鋳箔２６ａを基材２０から剥離して剥離シート２６ｂとする剥離工程と、剥離シート２６ｂをレーザー切断した切断剥離シート２６ｃを素管ローラ３４と同径のサクションローラ３０に吸引固定した後、切断剥離シート２６ｃの断面を突き合わせてレーザー溶接し円筒状にする円筒接合工程と、サクションローラ３０に送風して円筒状の切断剥離シート２６ｄを脱型する円筒脱型工程と、脱型された円筒状の切断剥離シート２６ｄを素管ローラ３４に嵌め込む円筒嵌込工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】安価にナノインプリント用金型を製造することが可能なナノインプリント用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】表面に微細な凹凸が形成されたマスタ基板に対して、添加剤が添加された第一樹脂材料を接合させて押圧し、熱転写法により第一樹脂材料を固化させることにより凹凸を転写させる（第一接合工程、第一熱転写工程）。マスタ基板を剥離した後（第一除去工程）、凹凸が形成された第一樹脂材料に対して、添加剤が添加された第二樹脂材料を接合させて押圧し、熱転写法により第二樹脂材料を固化させることにより凹凸を転写させる（第二接合工程、第二熱転写工程）。第一樹脂材料を剥離させた後の第二樹脂材料を電気鋳造の母型とし、電気鋳造法により第二樹脂材料表面に金属を電着させる。そして第二樹脂材料を溶解させることにより、ナノインプリント用金型を製造する。 （もっと読む）

【課題】親モールドの破損が抑えられ、微細パターンの転写精度が高く、転写の際の圧力を低くでき、かつ硬化性樹脂の使用量が抑えられる、微細パターンを有する物品の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】親モールド１００の表面に形成された微細パターンを一旦、転写基材１０４に転写して反転パターンを有するレプリカモールドを製造し、ついでレプリカモールドの表面に形成された反転パターンを物品本体１０２の表面に転写して微細パターンを有する物品を製造するに際し、親モールド１００の微細パターンが形成された表面に、第１の供給手段１７から第１の硬化性樹脂を供給し、該第１の硬化性樹脂を、親モールド１００の微細パターンの転写基材１０４への転写に用いる。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性シートにエンボスパターンを形成する際に、シートの両端部のシワや折れ曲がりを防止することが可能な熱可塑性シートの加工装置を提供する。
【解決手段】本発明は、搬送中の熱可塑性シートにエンボスパターンを形成する熱可塑性シートの加工装置であって、熱可塑性シートの幅よりも長い軸方向長さを有し、表面に凹凸が形成され、回転可能に支持された円筒状のエンボス版と、エンボス版との間を通過する熱可塑性シートを押圧し、回転可能に支持された円筒状の圧胴と、熱可塑性シートに対し、エンボス版よりも上流側で且つこのエンボス版と同じ一方面側に配置され、熱可塑性シートの一方面を加熱するヒータと、ヒータと熱可塑性シートの一方面との間に配置され、ヒータの両側部のうち、熱可塑性シートの両側縁よりも幅方向の外側に延びる部分を覆う第１遮蔽部材と、を備え、第１遮蔽部材には、複数の貫通孔が形成されている。 （もっと読む）

【課題】１つの原盤から複数のモールドを製造することが可能であり、鋳型からの剥離性が良好なモールドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１又は凹凸のパターンが形成された原盤３上に、少なくとも１つの光重合性基を有する化合物と光重合開始剤とを含有する液状の光硬化性組成物からなる光硬化性組成物層２を形成する工程と、前記基板及び前記原盤で前記光硬化性組成物層を挟み込む工程と、前記基板及び前記原盤で挟み込まれた状態のままの前記光硬化性組成物層を活性光で露光して光硬化層４とする工程と、この光硬化層から前記原盤を離型する工程と、前記光硬化層を鋳型として湿式めっきを行い前記光硬化層上にめっき堆積物層５を形成する工程と、前記光硬化層をアルカリ溶液に浸漬することにより溶解させて前記光硬化層を前記めっき堆積物層から剥離する工程。 （もっと読む）

【課題】パターン欠陥が皆無又は皆無に近い良好なパターンを密閉空間内で行うことなく大気圧環境下でも形成することができる光インプリントリソグラフィによるパターン形成方法。
【解決手段】活性光に対して実質的に透明である、基板１及び凹凸のパターンが形成されたモールド３を用いて、前記基板又は前記モールドのいずれか一方の部材に第１の光重合性基を有する化合物及び光重合開始剤を含有する液状の第１の組成物からなる第１の組成物層を形成すると共に、他方の部材の前記第１の組成物層に対向する領域の少なくとも一部に前記第１の光重合性基を有する化合物と同一又は異なる第２の光重合性基を有する化合物を含む液状の第２の組成物からなる第２の組成物層４を形成。両層が互いに接触するように挟み込み一体化して光硬化性組成物層５とする。挟み込まれた状態のままの活性光で露光して光硬化層６とし光硬化層から前記モールドを離型する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一つのメンブレイン（Ｍｅｍｂｒａｎｅ）の表面に親水性および疎水性をそれぞれ付与しながらも、設定しようとする位置に親水性または疎水性をそれぞれ付与できるメンブレインの製造方法に関するものである。
【解決手段】本発明は、微細ホールが外面に形成されたテンプレート（ｔｅｍｐｌａｔｅ）を準備するテンプレート段階、テンプレートの外面の予め設定されたパターン領域に高分子物質を塗布する高分子物質塗布段階、テンプレートの外面に親水性フィルムを付着するフィルム付着段階、および親水性フイルムでからテンプレートを分離除去するテンプレート除去段階を含む。 （もっと読む）

【課題】微細ガラスパターンを高いパターン精度で形成することができるインプリントモールド用マスクブランクを提供する。
【解決手段】ガラス基板１と該基板上に形成された薄膜２とを有するインプリントモールド用マスクブランク１０であって、上記薄膜２は、Ｔａ又はＴａ化合物、或いはＳｉまたはＳｉ化合物の何れかを主成分とし、フッ素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な材料で形成された上層４と、Ｃｒ又はＣｒ化合物で形成された下層３との積層膜からなる。 （もっと読む）

【課題】 熱、光いずれのナノインプリント法にも好適に使用できる、離型性に優れ、安価な、表面に微細パターンを有する樹脂成型用モールドを提供する。
【解決手段】 少なくとも片方の表面に微細パターンを有し、その微細パターンが凸部および／または凹部を有するパターンからなり、その凸部および／または凹部の幅が１０ｎｍ〜５０μmである、４−メチル−１−ペンテン系重合体を含む樹脂からなるシート、そのシートである樹脂成形用モールド。 （もっと読む）

【課題】エッチング深さの基板面内分布および再現性を改善したナノインプリント用金型及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ナノオーダの凹凸構造からなる転写用パターンｐ１を有し、樹脂からなる被転写材料に押し当てて転写用パターンｐ１を転写するためのナノインプリント用金型１において、金型用基板２上に金属酸化物層３が形成され、その金属酸化物層３上にＳｉ膜あるいはＳｉＯ₂膜４からなる転写用パターンｐ１が形成されたものである。 （もっと読む）