【課題】 光転写方式の微細構造転写装置において使用されるスタンパであって、自動搬送及び自動位置決めが可能なスタンパを提供する。
【解決手段】 ＵＶナノインプリントに使用される樹脂スタンパであって、光透過性材料からなり、機械的強度を有する支持部材と、光透過性材料からなる中間層と、光透過性材料からなる樹脂パターン層とからなり、
前記支持部材のサイズが前記中間層及び樹脂パターン層のサイズよりも大きく、
前記中間層が前記樹脂パターン層よりも柔軟性が高く、
前記樹脂パターン層の表面には原盤の凹凸パターンと反対の凹凸パターンが形成されていることを特徴する樹脂スタンパ。 （もっと読む）

【課題】微細貫通孔構造体を効率的に製造することができる微細貫通孔構造体の製造装置、微細貫通孔構造体の製造方法、微細貫通孔構造体、液滴吐出ノズル、液滴吐出フィルタ、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 保持部材１０４に微細孔を穿孔する被加工体１０５を保持し、保持部材１０４に保持される被加工体１０５を加熱して軟化させ、被加工体１０５の厚みより高い突起１０３ａが配置された転写パターンを有する金型１０３を加熱し、被加工体１０５および金型１０３を加熱した状態で、被加工体１０５の応力が軟化した被加工体１０５の破断応力以上かつ金型１０３の耐力以下となるような荷重で金型１０３の転写パターンを被加工体１０５に押し付けることにより、金型１０３の転写パターンに配置された突起１０３ａによって被加工体１０５に微細孔を穿孔する。そして、被加工体１０５が硬化した後、金型１０３から被加工体１０５を取り出す。 （もっと読む）

【課題】プレスを実施してもシート状基材表面に傷が付かず、また、緩衝材の表面粗さが転写することなくできる微細形状転写シートの成形方法と装置を提供する。
【解決手段】微細形状が表面に形成された金型の表面にシート状の樹脂基材を供給した後、プレート板により樹脂基材を金型に押圧して樹脂基材の表面に微細形状を転写する微細形状転写シートの成形方法ならびに成形方法であって、プレート板により押圧されるシート状の樹脂基材がその非成形面に保護フィルムが貼合されたものであることを特徴とする微細形状転写シートの成形方法。また、微細形状が表面に形成された金型と、金型の表面にシート状の樹脂基材を供給する機構と、金型の表面にシート状の樹脂基材を押圧するプレート板とを含む微細形状転写シートの成形装置であって、押圧前にシート状の樹脂基材の非成形面に保護フィルムを貼合する機構を設けたことを特徴とする微細形状転写シートの成形装置。 （もっと読む）

【課題】高い防眩機能を示す防眩フィルムの製作に有用な、表面に微細な凹凸形状を有する金型の製造方法を提供し、その金型を用いて、優れた防眩機能を示しながら、白ちゃけによる視認性の低下が十分に防止され、高精細の画像表示装置の表面に配置したときにギラツキの発生しない防眩フィルムを製造する方法を提供する。
【解決手段】金型用基材の表面に銅めっきまたはニッケルめっきを施す第１めっき工程と、第１めっき工程によってめっきが施された表面を研磨する研磨工程と、研磨された面に第一の微粒子をぶつけて凹凸を形成する凹凸形成工程と、第一の微粒子とは異なる大きさの第二の微粒子をぶつけて先に形成された凹凸形状を調整する凹凸調整工程と、第二の微粒子により調整された後の凹凸形状を鈍らせる加工を施す鈍化工程と、鈍らせた凹凸面にクロムめっきを施す第２めっき工程とを含む金型の製造方法、ならびにそれを用いた防眩フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】特殊な光源や光学系を用いることなく、容易に認識できるパターンが形成された基体とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基体１０の表面に凹凸パターン５が形成される。この凹凸パターン５は、一方の側面に深さ方向に溝幅が変調された凹凸形状３を有する。深さ方向に溝幅が変調された凹凸パターン１６を有する金型１５を用いて、ナノインプリント法により押圧した後、斜め方向に剥離して作製する。 （もっと読む）

【課題】高スループット・大面積・低コストの微細パターンの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明基体１上に加工対象層２を形成し、前記加工対象層２上に透明誘電体からなるレジスト層を形成するとともに、前記レジスト層をナノインプリント法によってパターニングすることにより、前記レジスト層の上面に凹部５３を有するパターン化レジスト層３を作るパターン化レジスト層形成工程と、少なくとも前記パターン化レジスト層３の上面３ａに金属層からなるハードマスク層４を形成した後、前記凹部５３の底部５３ａに残されたレジスト残渣５５をエッチングして除去してから、前記パターン化レジスト層３をマスクにして前記加工対象層２をエッチングするエッチング工程と、を具備することを特徴とする微細パターンの製造方法を提供することによって、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】単純かつ容易に作製可能な構造で、従来の構造に比べて同等以上の反射抑制効果を持つ無反射構造体を提供する。
【解決手段】反射を抑制すべき光が入射する表面に、その光の波長以下のピッチで配列される無数の錐体９からなる無反射構造体１を形成する。錐体９の高さはピッチより低く、アスペクト比は１以下である。また、錐体９の側面は、錐体９の底面周上の点と頂点とを結ぶ線に対して凹である。無反射構造体１は、リソグラフィーによるパターニングや、金型による形状の転写で作製される。 （もっと読む）

【課題】正規品本体に直接記録され、真贋判定パターンによる意匠性が損なわれることがなく、それでいて簡単・確実に真贋判定ができ、かつ容易に複製されることがないようにした成形体、半導体メモリ等の電子機器、及び真贋判定方法を提供する。
【解決手段】成形体１１表面の形状記憶樹脂に、ナノインプリント法により凹凸形状による真贋判定パターン１２が一次賦形として転写された構成とする。また、一次賦形の真贋判定パターンそのままの状態で真贋判定ができる。さらには、この一次賦形の真贋判定パターンを二次賦形させて置き、常時は凹凸形状の周期的な構造に起因する文字、記号あるいは文様等の表示、発色などを消失させた状態にして置くことも可能になる。 （もっと読む）

【課題】インプリント材の塗布量を最適化し、基板上に転写されるパターンの形状精度が高いインプリントシステムを提供する。
【解決手段】テンプレート情報及び残膜厚設定値情報を格納する設計データ格納部２１と、インプリント材の揮発分を補填するインプリント材の塗布位置及び塗布量を示す揮発補填分塗布量分布を前記テンプレートのパターン密度に応じて複数格納する揮発補填分格納部２２と、前記テンプレート情報からパターン密度を算出し、このパターン密度に対応する前記揮発補填分塗布量分布を取り出して、前記テンプレート情報に基づくパターン充填分塗布量分布と、前記残膜厚設定値情報に基づく残膜厚分塗布量分布と、を足し合わせてインプリント材塗布量分布を算出する演算部１０と、前記インプリント材塗布量分布に基づいて基板上にインプリント材を塗布する塗布部３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】未延伸の中間ベースフィルムの脆性を改善し、安定して環状オレフィン系樹脂フィルムを製造できる方法を提供する。
【解決手段】環状オレフィン系樹脂を押出し温度２３０〜２６０℃、溶融粘度が５００〜３０００Ｐａ・Ｓでフィルム状に押出機１４でダイ１６から溶融押出し、溶融押出されたフィルム１２Ａをキャスティングすると同時に分子配向処理し、フィルム１２Ａを巻取機２６で巻き取る。次いで、送出機３２からフィルム１２Ｂを送出し、縦延伸部３４及び横延伸部４０でフィルム１２Ｂを延伸して、レターデーションを発現させて光学フィルム１２Ｃを製造する。 （もっと読む）

【課題】均一でシャープな先端を持つ高アスペクト比構造を有し、欠陥の少ないアレイ状に形成された高アスペクト比構造を有する機能性膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微細な凹部アレイが形成されたスタンパー１３に塗布したポリマー樹脂の溶解液１６を、前記凹部アレイの凹部１５に注入し、前記凹部アレイを前記樹脂ポリマー１６に転写することにより、表面に前記凹部アレイの反転型である高アスペクト比構造の微細な凸部アレイが形成された機能性膜を製造する方法において、前記スタンパー１３に塗布したポリマー樹脂の溶解液１６を前記スタンパー１３側に加圧することにより、前記溶解液１６を前記スタンパー１３の凹部１５先端まで注入することを特徴とする機能性膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】欠損のない微細な陽極酸化膜パターンを高精度に形成することが可能な電圧印加インプリント方法を提供することを目的とする。
欠損のない高解像パターンを迅速に形成することが可能なインプリント装置を提供する。
【解決手段】本発明では、基板と、パターン形成面を有するモールドとを、前記パターン形成面が前記基板と対向するように配置させる工程と、前記モールドと前記基板の間に電圧を印加する工程と、前記モールドおよび／または基板用の駆動装置を用いて、前記モールドのパターン形成面と前記基板の間の接触／非接触状態を切り替えることにより、前記基板の被酸化膜形成領域の湿度を維持する工程とを有するインプリント方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、より均一なベース層を形成可能な光インプリント方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、基板上に光硬化性レジストを離散的に滴下する工程と、前記光硬化性レジストに凹凸パターンが形成されたモールドを接触させ、モールドの凹凸パターンに前記光硬化性レジストを充填させる工程と、光を照射し前記光硬化性レジストを硬化させる工程と、モールドと光硬化させた光硬化性レジストを剥離する工程とを有する光インプリント方法において、モールドと基板上に滴下した光硬化性レジストとが接触するまでの間、基板上に滴下した光硬化性レジストの離散的な配置を保持する中間層を前記基板表面に形成してなる光インプリント方法を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントにおいて高アスペクト比の微細構造体を高速で安定して形成するための微細構造パターン転写用ベルト状金型およびそれを用いた微細パターン転写装置（ナノインプリント装置）を提供する。
【解決手段】本発明のナノインプリント用のベルト状金型は、ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を有する。 （もっと読む）

【課題】 光学フィルムの製造の高速化に伴い、フィルムをロール状に巻き取った後のエンボス部高さを確保する。光学フィルムの生産における高速化＋長尺化に確実に対応する。フィルムの高品質化を果たし、近年の偏光板用保護フィルム等の薄膜化、広幅化、及び高品質化の要求に応え得る、光学フィルム、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 溶液流延製膜法または溶融流延製膜法によるロール状光学フィルムの製造方法は、ナーリング加工の処理温度をＴ（℃）、ベースフィルムのガラス転移温度をＴｇ（℃）、ベースフィルムがエンボスリングに接している時間をｓ（秒）としたときに、下記の関係式を満たす条件でナーリング加工を行ない、ロール状光学フィルムを製造する。
０．７５≦（Ｔ−Ｔｇ）×ｓ≦１．００ （もっと読む）

【課題】ンプリントモールドによる繰り返しインプリント法を行っても、インプリントモールドと樹脂パターンの剥離性が低下することのないインプリントモールド及びインプリントモールドの製造方法並びに光インプリント法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールド１００は、基板１１の一方の面に第一モールドパターン４０と第二モールドパターン５０が形成され、基板の他方の面に前記第一モールドパターン４０と相対するように第一位相差補正用パターン４５が、前記第二モールドパターン５０と相対するように第二位相差補正用パターン５５がそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】室温であっても微細な凹凸パターンを短時間で効率よく形成することができる方法を提供する。
【解決手段】フルオロエチレンに由来する単量体単位が５０質量％以上であり室温で固体状態である含フッ素重合体からなる膜の表面に、微細な凹凸パターンを有するモールドを室温で圧着させる工程（１）と、上記モールドを室温で上記膜から脱離する工程（２）とを含むことを特徴とする凹凸パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】光線が該拡散シートを通過する場合、該拡散構造によって反射、もしくは拡散作用が得られ、光線の拡散と均一の目的を達成する拡散シートの光拡散構造の成型方法と、その装置を提供する
【解決手段】 その方法は、樹脂を溶融してスラリー状にするステップと、該スラリー状の樹脂を押出して拡散シートを成型するステップとを含み、該スラリー状の樹脂を押出して該拡散シートＢを形成する場合、表面に複数のパターンを形成したローラで該拡散シートの少なくとも一方の表面を押し圧して、該拡散シートの少なくとも一方の面に該複数のパターンに対応する光拡散構造を形成する。その装置は複数の樹脂粒を溶融してスラリー状とし、かつ該スラリー状の樹脂を材料出口から押し出して成型する加熱圧出ユニットと、該拡散シートの表面の位置に設置され、かつ表面に複数のパターンを具える成型ローラを含んでなり、該加熱圧出ユニットの材料出口に近接した位置に連結するローラユニットと、を含む。 （もっと読む）

【課題】大面積の表示装置に好ましく用いられる、反りやたわみが無く、巻き癖（カール）も無い面光源用光学シートを効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】ロール巻き状の基材フィルム１３をロールから巻きだして、プリズム部１６の賦形型を表面に有するドラムに供給する供給工程と、プリズム部形成用樹脂が充填された賦形型に基材フィルムを圧着した後、そのプリズム部形成用樹脂を硬化する硬化工程と、基材フィルムをドラムから剥がして硬化後のプリズム部を基材フィルムに転写する転写工程と、プリズム部が形成されたプリズム部形成シートをロール巻きする巻取工程と、ロール巻き状のプリズム部形成シート２０と枚葉状又はロール巻き状の基材シート１２とを同時に供給して、基材シート上にプリズム部形成シートの基材フィルム側を貼り合わせる貼合工程と、貼り合わせた後のシートを所定形状に裁断する裁断工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】モールドへ流れ込み易く、ＩＺＯやＩＴＯ等の金属酸化物に対する接着性に優れた紫外線硬化型のインプリント成形用組成物を提供する。
【解決手段】ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー及びエポキシ(メタ)アクリレートオリゴマーからなる群から選択される少なくとも一種の(メタ)アクリレートオリゴマー（Ａ）と、ヒドロキシル基含有(メタ)アクリレートモノマー及びカルボキシル基含有(メタ)アクリレートモノマーからなる群から選択される少なくとも一種の(メタ)アクリレートモノマー（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含んでなり、粘度が1000 mPa・s以下であることを特徴とするインプリント成形用組成物である。 （もっと読む）