【課題】バイポーラトランジスタの高周波特性を向上させる。
【解決手段】ヘテロバイポーラトランジスタ７０は、ベースとエミッタ、ベースとコレクタがヘテロ接合を有し、双条ベース構造を有する。Ｎ型エピタキシャル層３上の内部ベース層（Ｐ型ＳｉＧｅ層）５と接する外部ベース層１０、及び内部ベース層（Ｐ型ＳｉＧｅ層）５上には、絶縁膜７及びＮ型多結晶シリコン膜８が積層形成される。積層形成された絶縁膜７及びＮ型多結晶シリコン膜８の中央部にはエミッタ開口部１９が設けられる。エミッタ開口部１９にはＮ型エピタキシャル層１１が設けられる。Ｎ型エピタキシャル層１１及びＮ型多結晶シリコン膜８上には、エミッタ開口部１９を覆うようにＴ型形状を有するＮ型多結晶シリコン膜１２が設けられる。左右のＮ型多結晶シリコン膜８及びエミッタ開口領域は同時に形成され、左右のＮ型多結晶シリコン膜８の幅は同一に設定される。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑えつつ、ガードリングに接するＰＮ接合部の耐圧の向上を図る。
【解決手段】半導体基板１０の表面にＮ−型半導体層１１を形成し、その上層にＰ型半導体層１２を形成する。Ｐ型半導体層１２上には、絶縁膜１３を形成する。その後、絶縁膜１３からＮ−型半導体層１１の厚さ方向の途中に至る複数の溝、即ち第１の溝１７Ａ、第２の溝１７Ｂ、第３の溝１７Ｃを形成する。これらの複数の溝は、そのうち互いに隣接する２つの溝において、電子デバイスに近い側、即ちアノード電極１４に近い側の溝は、該溝よりも外側の他方の溝よりも浅く形成される。その後、第１の溝１７Ａ内、第２の溝１７Ｂ内、第３の溝１７Ｃ内に、絶縁材料１８が充填される。その後、半導体基板１０及びその上層に積層された各層からなる積層体をダイシングラインＤＬに沿ってダイシングする。 （もっと読む）

【課題】大きなトンネル電流が流れ、かつ接合抵抗の制御性のよいトンネル素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、ＧａＡｓを含む半導体膜１０と、半導体膜１０上に設けられた酸化ガリウム膜２０と、酸化ガリウム膜２０上に設けられた導電性膜３０と、を具備し、酸化ガリウム膜２０は、半導体膜１０および導電性膜３０の一方から他方にトンネル電流が流れるトンネル絶縁膜であるトンネル素子およびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】デバイスのピーク電界強度が低減し、実効的降服電圧を増加させ、デバイスの歩留まりを改善すること。
【解決手段】第１の伝導型を有するドリフト層と、前記ドリフト層上にあって、前記第１の伝導型とは反対の第２の伝導型を有し、前記ドリフト層とＰ−Ｎ接合を形成するバッファ層と、前記Ｐ−Ｎ接合の近傍の前記ドリフト層内にあって前記第２の伝導型を有する接合終端拡張領域とを含む電子デバイスを提供する。前記バッファ層は、前記接合終端拡張領域の埋め込み部分上を延びる階段部分を含む。関連する方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】自己発熱および高電流密度動作下においても劣化を生じにくく、高電流密度まで安定して通電可能な高信頼電極を有し、より高い信頼度を達成可能なヘテロ接合バイポーラトランジスタを提供すること。
【解決手段】半導体基板１上に、サブコレクタ層２、コレクタ層３、ベース層４、エミッタ層５およびエミッタコンタクト層６が順次積層されたヘテロ接合バイポーラトランジスタにおいて、エミッタコンタクト層６とエミッタ電極７との間に、Ｍｏの融点以上の融点を有する単体金属または合金からなるバリア金属層１３−２（図２に示す）を有するバリア複合層１３が介在することを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタを構成する。 （もっと読む）

【課題】３−５集積回路とシリコン集積回路とは別々の集積回路上に設けられてきた。３−５集積回路とシリコン集積回路等の相違する基板を必要とする複数の回路を１つの集積回路において組み合わせることを可能にするハイブリッド基板回路を提供すること。
【解決手段】ハイブリッド基板回路は、第１半導体材料の第１領域と、埋め込み酸化層および埋め込み酸化層の上方の第２半導体材料を含んでいる第２領域と、第１半導体材料内に形成された第１回路と、第２半導体材料内に形成された第２回路と、第１回路と第２回路との間のシャロー・トレンチ・アイソレーション領域１０３と、を含んでいる。第１半導体材料はシリコンを含み、第２半導体材料はシリコンを含んでいない。第１回路はＣＭＯＳ回路１０１であり、第２回路は高電子移動度トランジスタ回路１０２である。 （もっと読む）

【課題】ＧａＡｓチップの耐湿性を向上させることができる半導体装置を得る。
【解決手段】ＧａＡｓチップ１４は樹脂２６で封止されている。ＧａＡｓチップ１４は、ｐ型ＧａＡｓベース層３４（ｐ型ＧａＡｓ層）と、その上に形成されたｎ型ＧａＡｓエミッタ層３６（ｎ型ＧａＡｓ層）を有する。ＧａＡｓチップ１４の外周部においてｎ型ＧａＡｓエミッタ層３６上に金属電極１８が形成されている。この金属電極１８には正電圧が印加される。ＧａＡｓチップ１４の中央部に形成された素子領域２０と金属電極１８との間において、ｐ型ＧａＡｓベース層３４とｎ型ＧａＡｓエミッタ層３６に半絶縁性領域３８が形成されている。半絶縁性領域３８よりも外側において、ｐ型ＧａＡｓベース層３４と金属電極１８は接続部４０により電気的に接続されている。 （もっと読む）

本発明は、装置10であって、前表面14及び後表面24を有する基板12と、前記基板の前記前表面に設けられる半導体要素16と、第１不動態層18と、前記基板の前記後表面に設けられる第２不動態層22と、を含む、装置に関する。本発明は、このような装置を製造する方法にも関する。
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【課題】ＳｉＧｅ混晶層を有する半導体装置において、高い高周波特性と安定した低いベースコンタクト抵抗とを得られるようにする。
【解決手段】半導体装置は、Ｎ型のコレクタ層１ａと、コレクタ層１ａの上に形成され、Ｐ型ＳｉＧｅ層３ｂを含む真性ベース層となるＳｉＧｅエピ膜３と、ＳｉＧｅエピ膜３の周囲に形成され、Ｐ型の多結晶シリコン層及びＰ型の多結晶シリコンゲルマニウム層を含むベース引き出し電極４と、ＳｉＧｅエピ膜３の上部に形成されたＮ型のエミッタ層８とを有している。真性ベース層の上部には、Ｓｉ−Ｃａｐ層３ｃが形成されており、エミッタ層８は、Ｓｉ−Ｃａｐ層３ｃの上部に形成された上部エミッタ領域８ｂと、該上部エミッタ領域８ｂの下側に該上部エミッタ領域８ｂと接して形成された下部エミッタ領域８ａとにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】追加部材を形成することなく表面保護膜の端部での剥がれを防止でき、チップエッジからの水分浸入を防止して信頼性(耐湿性)を向上できる半導体装置を提供する。
【解決手段】この半導体装置では、エピタキシャル層４Ａを覆う表面保護膜１１が高抵抗ＧａＡｓ層(素子間絶縁層)５の外周側の外周エピタキシャル層４Ａ−１の一部を覆って上記一部に接しているので、表面保護膜１１の端部の密着性が向上して外部からの水分侵入を防止できる。 （もっと読む）

【課題】静電気放電に耐久性を有するヘテロ接合バイポーラトランジスタ素子を提供する。
【解決手段】静電気放電耐久性を有するヘテロ接合バイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）およびシステム、およびその製造方法が開示されている。静電気放電耐久性を有するＨＢＴ素子は、サブコレクタ層と、サブコレクタ層の上に形成されたコレクタ層と、コレクタ層の上に形成されたベース層と、ベース層の上に形成されたエミッタ層と、エミッタ層の上に形成された遷移層と、遷移層の上に形成されたエミッタキャップ層と、を備える。 （もっと読む）

【課題】犠牲層を介してＩｎＰ系のデバイスを形成したときに、犠牲層としてＡｌＡｓ単層を用いたときのデバイス特性よりも良好なデバイス特性を得ることができ、かつ、犠牲層をエッチングする際に、デバイス層もエッチングされてしまう虞のない半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】保護膜３５の平坦面３５Ａに支持基板１０を接合もしくは接着したのち、ＩｎＰと疑似格子整合するＩｎＡｌＡｓからなる犠牲層４２を、フッ酸を用いて選択的に除去することにより、ＩｎＰ基板４１を、ＩｎＰ系のデバイス層２１を含む支持基板１０から剥離する。 （もっと読む）

【課題】周辺温度や使用環境に依らずに安定したブレークダウン電圧を与え得るサージ保護素子を提供する。
【解決手段】サージ保護素子１０は、第１の導電型の不純物を含むベース領域２１と、第２の導電型の不純物を含む第１半導体領域２３と、第２の導電型と同じ導電型の不純物を含む第２半導体領域２４と、この第２半導体領域２４よりも低い不純物濃度を有する高抵抗領域２２とを有する。第１半導体領域２３はベース領域２１の上面側で接合され、第２半導体領域２４はベース領域２１の下面側で接合されている。高抵抗領域２２は、ベース領域２１および第２半導体領域２４の双方に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 エッチング量を工程内で測定し、フィードバックをかけることにより、エッチング量のばらつきを無くすことを実現する。
【解決手段】 半導体層が選択エッチングされることにより半導体素子が形成される半導体素子領域と、前記半導体層と同じ材質からなり、前記半導体素子が選択エッチングされた量を検査するモニタ用半導体素子が設けられたモニタ領域とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリサイド化の工程をＭＯＳトランジスタ及びＨＢＴと別けることなく、抵抗値のばらつきが小さいヒューズ素子を形成する半導体装置の製造方法を実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、ＭＯＳトランジスタ形成領域１１Ｂにゲート電極２２及びソースドレイン領域２５を形成する工程と、ＭＯＳトランジスタ形成領域１１Ｂを除いて、半導体基板１１の上にシリコン及びシリコン以外のIV族元素を含む混晶膜と、シリコン膜とが順次積層された積層膜３１Ａ、３１Ｂを形成する工程と、シリコン膜３０Ｂの露出部分、ゲート電極２２の上部及びソースドレイン領域２５の上部をシリサイド化する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】コレクタ電流が流れている状態でのオン抵抗および耐圧を両方同時に向上させることが可能なＨＢＴを提供する。
【解決手段】ｎ型のＧａＡｓサブコレクタ層１０１と、ＧａＡｓサブコレクタ層１０１上に形成されたＩｎＧａＰコレクタ層１０２と、ＩｎＧａＰコレクタ層１０２上に形成されたｎ型のＧａＡｓスペーサ層１０３と、ＧａＡｓスペーサ層１０３上に形成されたｎ型のＧａＡｓ第２コレクタ層１０４およびＧａＡｓ第１コレクタ層１０５と、ＧａＡｓ第１コレクタ層１０５上に形成されたｐ型のＧａＡｓベース層１１０と、ＧａＡｓベース層１１０上に形成されたｎ型のＩｎＧａＰエミッタ層１１１とを備え、ＧａＡｓサブコレクタ層１０１は、ＧａＡｓ第２コレクタ層１０４およびＧａＡｓ第１コレクタ層１０５より高いキャリア濃度を有し、ＧａＡｓ第２コレクタ層１０４はＧａＡｓ第１コレクタ層１０５より高いキャリア濃度を有する。 （もっと読む）

【課題】コレクタ電流が流れている状態でのオン抵抗および耐圧を両方同時に向上させることが可能なＨＢＴを提供する。
【解決手段】ｎ型ＧａＡｓサブコレクタ層１０１と、ＧａＡｓサブコレクタ層１０１上に形成されたＩｎＧａＰコレクタ層１０２と、ＩｎＧａＰコレクタ層１０２上に形成されたｎ型ＧａＡｓコレクタ層１０３と、ＧａＡｓコレクタ層１０３上に形成されたｐ型ＧａＡｓベース層１０４と、ＧａＡｓベース層１０４上に形成されたｎ型ＧａＡｓエミッタ層１０５とを備え、ＧａＡｓサブコレクタ層１０１のキャリア濃度は、ＧａＡｓコレクタ層１０３のキャリア濃度より高く、ＩｎＧａＰコレクタ層１０２とＧａＡｓサブコレクタ層１０１との間には、ｐ型ＧａＡｓスペーサ層１１０が挿入される。 （もっと読む）

【課題】トレードオフの関係にあるＨＢＴの特性上のメリットとＨＦＥＴの特性上のメリットとを両立することが可能な半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ−ＨＦＥＴであって、ＨＢＴは、順次積層されたサブコレクタ層１０７、ＧａＡｓコレクタ層１０８、ＧａＡｓベース層１０９及びＩｎＧａＰエミッタ層１１０を有し、サブコレクタ層１０７は、ＧａＡｓ外部サブコレクタ領域１０７ａと、ＧａＡｓ外部サブコレクタ領域１０７ａ上に位置するＧａＡｓ内部サブコレクタ領域１０７ｂとを有し、ＧａＡｓ外部サブコレクタ領域１０７ａ上には、メサ状のコレクタ部８３０と、コレクタ電極２０３とが離間して形成され、ＨＦＥＴは、ＧａＡｓ外部サブコレクタ領域１０７ａの一部により構成されたＧａＡｓキャップ層１０５と、ＧａＡｓキャップ層１０５上に形成されたソース電極３０４及びドレイン電極３０５とを有する。 （もっと読む）

【課題】 偶発的に生成される層を異方性エッチングすることにより、エッチングを行う時間によるエッチングのばらつきを改善し、かつ任意の層を異方性エッチングで一定量エッチングすることにより、回り込みエッチングの制御性の向上を図ることを実現する。
【解決手段】 第１の層の表面に第２の層を積層したものに、前記第１の層を横方向にエッチングする半導体素子の製造方法において、前記第２の層側から前記第１の層側に向かって縦方向に異方性エッチングを行うステップと前記第１の層を横方向に等方性エッチングを行うステップとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】二酸化ケイ素や窒化ケイ素など非常に薄い低応力誘電体材料と半導体層とで形成された可とう性の膜で集積回路（２４、２６、２８、．．．３０）を製造する汎用手法を提供する。
【解決手段】膜（３６）の半導体層中に半導体デバイス（２４、２６、２８．．．３０）を形成する。最初に、標準厚さの基板（１８）から半導体膜層（３６）を形成し、次いで、基板の薄い表面層をエッチングまたは研磨する。他のバージョンでは、ボンディングされた従来の集積回路ダイ用の支持および電気的相互接続として可とう性膜を使用し、膜中の複数の層に相互接続部を形成する。１つのそのような膜に複数のダイを接続することができ、膜は次いでマルチチップ・モジュールとしてパッケージされる。 （もっと読む）