【課題】走行台車の発進、走行及び停止時のマストの振動を抑制することにより、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させること。
【解決手段】走行台車２の上にメインマスト３とサブマスト４とを所定間隔をおいて立設するとともに、メインマスト３とサブマスト４の間に、昇降台６を昇降可能に配設し、この昇降台６に移載機７を搭載したスタッカークレーンのメインマスト３とサブマスト４にガイド９を配設し、このガイド９に昇降台６のガイド受部６１を係合させるとともに、ガイド受け部６１と昇降台本体の間にダンパー８を介設する。 （もっと読む）

材料加工の間における自動材料ハンドリングシステム（例えば１１１／１１２）の積載量低減装置及び方法が開示される。１個以上のロードポート（１０４Ａ）／（１０４Ｂ）を備えた材料加工ツール（１０２）には、ツール（１０２）の前端部に取り付けられる少なくとも１個の可動バッファ（１０６Ａ）／（１０６Ｂ）が装備される。バッファ（１０６Ａ）／（１０６Ｂ）は保管位置（１０８Ａ）／（１０８Ｂ）において、自動材料ハンドリングシステム（例えば１１１／１１２）から材料ポッド（１０１）を受け取ると共に、１個又はそれより多くのロードポート（１０４Ａ）／（１０４Ｂ）の１個以上へポッド（１０１）を移動させ、及び／又は１個又はそれより多くのロードポート（１０４Ａ）／（１０４Ｂ）の１個以上からポッドを受け取り、ポッドを保管位置（１０８Ａ）／（１０８Ｂ）へ移動させるように構成される。バッファ（１０６Ａ）／（１０６Ｂ）のいかなるポッド（１０１）へも、手により或いは材料ハンドリングシステム（例えば１１１／１１２）によって接近可能である。
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【課題】 マスクの交換時間を短縮させることができる露光システムを有する平板表示装置の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも一つ以上のマスクが積載される第１マスクローディング／アンローディング装置と、前記マスクが安着するメインマスクステージと、前記第１マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第１マスク搬送装置と、前記第１マスクローディング／アンローディング装置と所定間隔離隔して位置する第２マスクローディング／アンローディング装置と、前記第２マスクローディング／アンローディング装置に積載されたマスクを前記メインマスクステージに搬送する第２マスク搬送装置とを有する。 （もっと読む）

少なくも２個の処理ユニットの複数の少なくも１個の直線状に配列されたアレイを備え、各処理ユニットにおいて１個の枚葉ウエハ形物品を処理でき、更に、かかる各処理ユニットにおいて１個の枚葉ウエハ形物品を処理し得る前記処理ユニット、少なく１個の枚葉ウエハ形物品を内部に貯蔵している少なくも１個のカセットを保持するためのカセット保持ユニット、及びカセットからウエハ形物品を取り上げてこれを処理ユニットの一つの中に置くための輸送システムを備えたウエハ形物品の処理用の装置が明らかにされる。本装置は、直線状トラック上に取り付けられた輸送ユニットを備える。前記輸送ユニットは、枚葉ウエハ形物品を、直線状トラックと平行な実質的に垂直な平面内に保持する。
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【課題】 装置の小型化、搬送速度の高速化を実現する。
【解決手段】 第１ハンド部１２４及び第２ハンド部１３４の一方のハンド部が所定の受渡位置Ｐ８にあるときに、他方のハンド部が前記一方のハンド部に干渉することなく受渡位置Ｐ８に対して進行又は待避可能なように、第１ハンド部１２４の一対の第１指部１２５ａ，１２５ｂを所定の中心軸Ａ１に対して左右非対称に構成するとともに、第２ハンド部１３４の一対の第２指部１３５ａ，１３５ｂを所定の中心軸Ａ２に対して左右非対称な形状とした。 （もっと読む）

【課題】物体の位置ずれや落下等の不具合の発生を抑制しつつ処理速度を向上する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送アームによる物体の保持の有無を例えば吸着圧により検出し、保持無しと検出された場合における前記搬送アームが速度零から所定の移動速度Ｍａｘに到達するまでに要する時間ｔ１が、保持有りと検出された場合における前記搬送アームが速度零から当該所定の移動速度Ｍａｘに到達するまでに要する時間ｔ２よりも短くなるように、該搬送アームの移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 チャックテーブルに吸着保持した半導体ウエハの表面に、外周面が弾性変形可能な貼付けローラを介して保護テープを貼り付ける保護テープ貼付け方法において、貼付けられた保護テープの収縮方向への応力を極力小さくして、薄型化の後におけるウエハの反りや歪みを少なくすることができるようにする。
【解決手段】 チャックテーブル１０に吸着保持した半導体ウエハＷの表面に、外周面が弾性変形可能な貼付けローラ２５を介して保護テープＴを貼り付ける保護テープ貼付け方法において、半導体ウエハＷの外周部に中央部よりも先行して保護テープＴを貼り付ける。 （もっと読む）

重力補償装置は、基本質量（１０）によって回転軸線（１３）から第１の距離を置いたところで平衡装置（１２）に及ぼされた力を、回転軸線から第２の距離を置いたところで平衡装置に反力を及ぼす力発生装置、例えばばね（１４）によって、部分的に又は全体的に補償する。第１の距離、第２の距離又はこれら両方は、所望の重力補償具合を提供するよう選択可能である。角度可変半径を有する１つ又は２つ以上の滑車を使用するのがよい。重力補償装置は、基本質量にそれほど質量を追加することはなく、設計が単純である。
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【課題】複数カテゴリのいずれか一つに割り当てられるようにしたデバイスをハンドリングする装置および方法を開示する。
【解決手段】上記装置は、垂直経路に沿ってトレイ群を移動させるようにした昇降機、当該トレイ群のトレイを選択的に固定し、当該固定されたトレイの上方に配置された追加トレイと当該固定トレイを支持するようにしたロッキング機構、および、一定の垂直位置に配置され、単数または複数のトレイを支持するための支持機構を有し、垂直経路の内外を水平移動するようにしたトレイロードアームを有する。 （もっと読む）