【課題】真空シール機構において、封止機能が低下した場合でも、シール材の交換作業や製造装置などの交換などを要することなく、簡単確実に封止機能をリニューアルすることができるようにする。
【解決手段】この真空シール機構Ｓは、回転軸５の軸心方向に多層状に配設された複数個の環状のシール材２０と、シール材２０に対応して回転軸５の外周面に多層状に形成された複数個のシール壁３０とを備える。シール材２０は、ハウジング７内で回転軸５の軸心方向に変位可能に組み付けられたシールホルダ４０に保持されている。シールホルダ４０をハウジング７内で変位させると、それまで封止機能を発揮していたシール材２０ａ・２０ｃとシール壁３０ａ・３０ｃとが接触状態から非接触状態となって、その役目を終えるとともに、これとは別のシール材２０ｂ・２０ｄとシール壁３０ｂ・３０ｄとが非接触状態から接触状態となって、新たな封止機能が発揮される。 （もっと読む）

【課題】加工後のウエーハを次工程へ搬送する際、ウエーハを変形させることなく搬送することによってウエーハの強度を維持することができる搬送方法および搬送手段を配設した加工装置を提供する。
【解決手段】加工が終了し着脱位置に戻ってきたウエーハ１の表面に液体供給ノズルから液体を供給し、次いで、ウエーハ１の上面に、回収手段の吸着パッド７８の吸着面７８ａを押し当て、ウエーハ１と吸着パッド７８との間に薄い液膜８を形成する。次に、吸着パッド７８に設けた熱電冷却素子８０に電荷をかけて吸着面７８ａを冷却し、液膜８を凍結させて吸着パッド７８にウエーハ１を結合させる。この後、回収アーム７９を旋回させてウエーハ１を搬送先のスピンナ式洗浄装置に搬送し、熱電冷却素子８０に冷却したときとは逆の電荷をかけ、吸着面７８ａを加熱して凍結液膜を溶融し、ウエーハ１を吸着パッド７８から離して洗浄装置内に移載する。 （もっと読む）

要約
【課題】 基板の汚染を低減しつつ基板を高速に冷却することを可能にする。
【解決手段】複数の基板３９を保持する基板保持具３５と、前記基板保持具３５により前記複数の基板３９を保持しつつ熱処理する処理室１００と、前記処理室１００に隣接して設けられる予備室と、前記予備室で前記基板保持具３５に保持された複数の基板３９，３９間に、熱交換部を挿入可能とする熱交換部駆動機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる熱歪みを抑制することを目的とする。
【解決手段】基板１２をステージ１４上に載置し、吸着装置８４により基板１２をステージ１４に吸着させる。その際、基板１２がステージ１４に接触してから、基板の熱容量Ｃ、基板の温度上昇許容量ΔＴｐ、基板と保持部材との間の熱抵抗Ｒ、基板と保持部材との温度差ΔＴとに応じて決定した所定時間ｔ以内に、基板１２をステージ１４に吸着させる。 （もっと読む）

【課題】基板と基板載置手段との吸着が解除されて基板の位置がすれることを防止することを目的とする。
【解決手段】リフトピン８１、８２を、リフトピン８１に設けられた吸盤８３と基板１２との吸着が維持されるような速度プロファイルで降下させる。その際、基板１２とステージ１４との間の圧力Ｐ、基板１２の重量Ｇ、基板１２と吸盤８３との吸着力Ｓが、下記（１）式を満足するように、リフトピン８１、８２の降下速度Ｖを設定する。また、基板１２とステージ１４との間の圧力Ｐを、下記（２）式から演算する。
Ｐ＜Ｇ＋Ｓ…（１）
Ｐ＝２∫_０^Ｌ／２Ｐｎ、（Ｐ_ｎ＝Ｐ_ｎ−１＋αμＬＶ／ｈ^２）…（２）
但し、Ｌは基板１２の長辺の長さ、αは比例定数、μは空気抵抗、ｈは基板１２とステージ１４との間隔である。 （もっと読む）

【課題】リングフレームの半導体ウエハを接着保持する支持用粘着テープの切断精度を向上させることのできる粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】カッタ刃４２を装着したカッタホルダ４３の先端側の基準面６２を支持用粘着テープＤＴの基材ｂの表面に接触させた状態で、カッタホルダ４３の基準面を基材表面に追従させながら支持用粘着テープＤＴを切断してゆく。このとき、カッタ刃４２の先端が、粘着層ａを貫通させずにリングフレームｆとの接着界面の間際を通過させる。 （もっと読む）

【課題】ワークを収納したトレーを移送または反転する手段を有するトレーハンドリング機に関するもので、各コンベアの間で往復移動しながらトレーを移送させる移載装置が、ワークを収納したトレーを回転させながらトレーの一側面と他側面を反転させる反転装置を一体に備えていることで、トレーの両面の反転及び移送を単一モジュールで達成するトレーハンドリング機及びそれを用いた半導体素子検査方法を提供すること。
【解決手段】ワークを収納したトレーを反転させる反転装置と、本体の上部を往復移動しながらワークを収納したトレーをピックアップして各部に移送する移載装置とを備えてトレーを移送及び反転させるトレーハンドリング機において、反転装置が移載装置の下端に一体に設けられていることを特徴とするトレーハンドリング機。 （もっと読む）

【課題】保持テーブル上に水層を介してウエーハを保持するための給水量を減らして表面張力が強い状態であってもウエーハを水層上から剥離して搬送できるようにする。
【解決手段】水層１６２を介して保持テーブル１６３に保持されたウエーハＷに対する搬送手段１７の吸着パッド１７１の吸着位置を、パッド中心φ２がウエーハＷの中心φ１に一致しないようにずれた位置に設定して、吸着パッド１７１で吸着した状態で搬送アーム１７２を鉛直方向に上昇させて搬送させることで、ウエーハ中心位置で吸着する場合に比べて格段に水層１６２からのウエーハＷの吸着剥離が容易となるようにした。 （もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】減圧雰囲気下のチャンバー内で作業を行う産業用ロボットにおいて、当該産業用ロボットのアームを駆動するためのアーム駆動用モータの冷却を確実にかつ効率的に行う。
【解決手段】産業用ロボット１において、アーム部３と、アーム部３近傍に配置され、アーム部３を動作させるための駆動源６が収納された収納室４と、を有し、アーム部３及び収納室４が減圧雰囲気下のチャンバー内に設置され、収納室４内には駆動源６を冷却する局所冷却機構が備えられている。そして、局所的な冷却は、例えば、圧縮空気が流通可能なアルミパイプをアーム駆動用モータの周囲に巻回し、このアルミパイプに圧縮空気を流通させることによって行う。 （もっと読む）

【課題】ウェハ収納容器等の薄板収納容器の変形の検査における判定を正確に行うことができると共に、その検査効率を向上させる手段を提供する。
【解決手段】絶縁性を有し、薄板を１枚毎に支持する段ガイドを備えた薄板収納容器の検査装置が、上面および下面を有し、段落ガイドに支持されると共に導電性を有する導電板７と、上面および下面に、それぞれ隙間Ｃを介して配置された導電性を有するシャフトと、導電板に当接する導電性を有する接触子２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化、コストの低減及び検出速度の向上を図り、被処理体及び保持具の損傷を最小限に抑制する。
【解決手段】熱処理炉と、被処理体ｗを上下方向に多段に保持して熱処理炉に搬入搬出される保持具９と、昇降及び旋回可能な基台２５上に被処理体ｗを支持するピッチ変換可能な複数枚の基板支持具２０を進退可能に有し、被処理体ｗを所定間隔で収納する収納容器と保持具９との間で被処理体ｗの移載を行う移載機構と、移載機構を制御するコントローラ６６とを備え、コントローラ６６は、基板支持具２０の進退駆動部５０の作動時にピッチ変換駆動部５７のエンコーダ６５から出力されるエンコーダ値を監視し、エンコーダ値が変化した時に異常駆動と判定し、移載機構の駆動を停止すると共に異常駆動の発生を通報するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 研削液の浸入により反復使用に関する信頼性が低下したり、半導体ウェーハの周辺装置に研削液が付着して汚染が生じるおそれを排除できる固定キャリアを提供する。
【解決手段】 バックグラインド装置に回転可能にセットされる基板２１と、基板２１の表面に形成される凹み穴２２と、凹み穴２２に並べて配設される複数の支持突起２４と、凹み穴２２を被覆して複数の支持突起２４に支持され、半導体ウェーハＷを着脱自在に粘着保持する変形可能な粘着層２５と、基板２１に穿孔され、真空ポンプ２７の駆動に基づいて粘着層２５に被覆された凹み穴２２内の空気を外部に導く給排路２６と、給排路２６に対するバックグラインド装置の研削液の浸入を防止する通気防水膜３０とを備える。通気防水膜３０が凹み穴２２に連通する給排路２６を被覆して研削液を遮断するので、固定キャリア２０内に研削液が浸入して反復使用に対する信頼性を低下させることがない。 （もっと読む）

【課題】保持部材によりウエハシートを引き伸ばし、ウエハを拡張する装置において、ウエハサイズが変更に応じてウエハのθ方向回転機構構成部材を変更する必要が無く、交換部品の少数化が可能なウエハ拡張装置を提供する。
【解決手段】ウエハシートを、環状部材に当接させた状態で反対の方向へ引っ張ることでウエハシートを引き伸ばしてウエハを拡張させるウエハ拡張装置において、ベース部材３２と、ベース部材に回転自在に設けられ、上記環状部材を着脱可能に支持する支持部材３３と、ウエハシートを保持する保持部材３４，３５と、保持部材を移動させる移動手段と、保持部材を回転させる回転手段とを備えるとともに、移動手段により保持部材を移動させて、ウエハシートを環状部材３０の当接部に当接させて引っ張り、ウエハを拡張させ、該ウエハを拡張させた状態で回転手段により保持部材を回転させて、環状部材と共にウエハシートを回転させる。 （もっと読む）

【解決手段】 粘着シート１２の半導体チップ１が接着されている接着範囲に紫外線を照射して該接着範囲における粘着シートの粘着力を低下させ、その状態で突上げ部材７７により粘着シートの裏面から上記半導体チップを突上げて吸着保持手段７に吸着保持させて、該吸着保持手段によって半導体チップを粘着シートから取り上げる。
上記突上げ部材７７は、紫外線を透過させる材料から構成した突上げ部材を備えており、上記紫外線照射手段からの紫外線は突上げ部材を透過して粘着シートに照射されるので、上記接着範囲の全域に紫外線を照射することができる。
【効果】 上記接着範囲の全域に紫外線を照射できるので、従来のように接着範囲の一部に紫外線が照射されない部分が生じることがなく、したがって接着範囲における接着力を均等に低下させることができるので、板状物品を粘着シートから円滑に取り上げることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハを破損させることなくダイボンドフィルムを貼り付ける。
【解決手段】表面保護テープ２が貼り付けられたウェハ１に、ダイボンドフィルム６をフィルムセットローラ９ａとフィルム貼り付けローラ９ｂで押し付け、それらの間の領域に所定形状でレーザ光７を照射する。フィルムセットローラ９ａとフィルム貼り付けローラ９ｂを回転移動させながら、その移動に合わせてレーザ光７をウェハ１上でスキャンし、レーザ光７によるダイボンドフィルム６の溶融部分を後続のフィルム貼り付けローラ９ｂでウェハ１に押し付けて貼り付ける。ダイボンドフィルム６をレーザ光７で溶融させてウェハ１に貼り付けるため、ウェハ１が薄くその強度が低下していても、表面保護テープ２の熱収縮等に起因したウェハ１の破損を回避することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】
吸着するフレームの外径サイズに応じて、吸着位置を素早く容易に調整することが出来るワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供すること。
【解決手段】
フレームＦを吸着する複数の吸着部３１と、フレームＦの径の大きさに応じて吸着部３１の位置を連動させて移動することにより吸着部３１の位置を調整する直動式の移動機構４とを備えたことにより、１つの動作で全ての吸着部３１を同時に調整することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】付着式ピンセットに対して好適な新規の移載システムを提供する。
【解決手段】
微細部品を付着するための粘着材、この粘着材を先端に導くための導出パイプ、この導出パイプ先端に粘着材を送り出す手段、導出パイプ先端より突出及び後退して、付着した微細部品を離脱するスライドパイプからなる付着式ピンセット１を搭載するキャリア５と、このキャリア５を水平方向に走行案内する走行レール２，３と、キャリア５を上下方向に昇降案内する昇降レール４と、キャリア５を走行及び昇降レール２，３，４に沿って駆動する手段２０，３０，４０と、スライドパイプを前進及び後退する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ワーク搬送装置のインチ切り替えを簡単に、かつパッドの位置を均等にする。
【解決手段】ワークＷがマウントされたフレームＦを吸着する吸着部５を、それぞれの先端部に有し、ガイドレール４ｂに沿って移動可能な複数のアーム９と、前記フレームＦのサイズに応じて前記複数のアーム９を、カム機構により同時に均等に移動させて前記吸着部５の位置を同時に均等に変更するサイズ切替手段とを備えたことによりパッドの位置が均等となるようにして、インチ切り替えを簡単に行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの洗浄を行う際に、低圧処理機器の運転を停止せず、基板処理の高生産歩留まりを実現できる低圧処理機器のハウジング移動装置等の提供を目的とする。
【解決手段】この課題を達成するため、ベースをハウジングで覆い内部に基板を収容して低圧処理するための低圧処理機器のハウジングを移動させるための装置であって、第１エアーアクチュエータ、第２エアーアクチュエータ、前記第１エアーアクチュエータの一端側と第２エアーアクチュエータの一端側と間に設けた支持体、前記第１エアーアクチュエータの他端側に設ける少なくとも１つの第１滑動部材、前記第２エアーアクチュエータの他端側に設ける少なくとも１つの第２滑動部材、前記支持体に設け前記ハウジングに接続可能な少なくとも１つの第１接続部材を含む低圧処理機器のハウジング移動装置等を採用する。 （もっと読む）