【課題】装置の省スペースを実現しつつ、基板の端面の汚染に起因した問題（欠陥の発生、トラックや露光装置へのクロスコンタミネーション等）を回避できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板の端面を洗浄する端面洗浄処理ユニットＥＣを備える洗浄処理部９３を、インデクサブロック９に配置する。インデクサブロック９に設けられたインデクサロボットＩＲは、カセットＣから取り出した未処理基板Ｗを、処理部である反射防止膜用処理ブロック１０に搬送する前に洗浄処理部９３に搬送する。洗浄処理部９３においては、基板Ｗの端面および裏面を洗浄する。すなわち、端面および裏面が汚れた基板Ｗが処理部に搬入されることがないので、基板の端面や裏面の汚染に起因した問題を回避できる。 （もっと読む）

【課題】処理部に対して高い位置精度にて基板を搬送することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボットＴＲ１は、熱処理タワー２２，２３に設けられた冷却ユニットから第１下地塗布処理部２１および第２下地塗布処理部１２１に設けられた塗布処理ユニットに基板Ｗを搬送する。また、搬送ロボットＴＲ２は、熱処理タワー３２，３３に設けられた冷却ユニットからレジスト塗布処理部３１およびレジストカバー膜塗布処理部１３１に設けられた塗布処理ユニットに基板Ｗを搬送する。冷却ユニットには、位置決め機構が設けられており、水平面内における基板Ｗの位置が基準位置に合わせ込まれる。基準位置に合わせ込まれた基板Ｗを搬送ロボットＴＲ１，ＴＲ２の吸着搬送アームが吸着保持して塗布処理ユニットに搬送するため、高い位置精度にて基板Ｗを搬入することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器内の基板の収容状態を把握する基板検出装置を提供する。
【解決手段】 隔壁１２の通過口１２ａを塞ぐためのシャッター部材５に反射型センサ１０を取り付ける。シャッター部材５とともに下降する反射型センサ１０は、カセット１内の基板Ｗを順次検出していく。データ処理部１１は、基板Ｗの検出情報を収集する。一方、位置検出手段は、昇降機構７ａに備えるエンコーダ１３ａから送られる情報から、反射型センサ１０の位置を検出する。処理部１４は、基板Ｗの検出情報と、反射型センサ１０の位置とから、カセット１内の基板Ｗの状態を把握することができる。 （もっと読む）

【課題】小バッチに対応し、コストを低減する。
【解決手段】バッチ式ＣＶＤ装置１の筐体２の正面下部にポッド２６のキャップを開閉するポッドオープナ２１を設置し、ポッドオープナ２１のポッド載置台２２の左右両脇に第一ポッドステージ２４、第二ポッドステージ２５を設置する。ポッドオープナ２１，両ポッドステージ２４，２５の上方には把手２８を上下の押さえ５３と５０とで把持した状態で、ポッド２６をポッドオープナ２１とポッドステージ２４，２５との間で搬送するポッド搬送装置３０を設置する。ポッドはポッドステージとポッドオープナとの間をポッド搬送装置によって直接的に搬送されるため、ポッドを一時的に保管する保管棚を省略でき、小バッチ式ＣＶＤ装置のイニシャルコストやランニングコストを低減できる。 （もっと読む）

【課題】チップにダメージを与えることなく効率よくシートから剥離させることができるチップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】チップピックアップ装置において取出しノズル２０によってチップ６をシート５から取り出す際に、シート５の下面に当接してチップ６とシート５との剥離を促進する剥離促進機構７において、剥離ツール２２の吸着面２２ａに吸着開口部２４および吸着孔２２ｂの真空吸引力がシート５の下面に及ぶ距離まで吸着面２２ａをシート５の下面に近接させた状態において下面に当接する厚みの凸部２３を形成し、凸部２３をシート５の下面に当接させた状態で真空吸引してシート５を下方に撓ませることにより、凸部２３の近傍に位置するチップ外縁部を剥離の起点としてチップ６とシート５とを剥離させる。 （もっと読む）

【課題】リング状補強部を有するウエーハを搬送する場合に、ウエーハの割れを防止可能なウエーハ搬送方法を提供する。
【解決手段】凹部を囲繞する外周余剰領域にリング状補強部を有するウエーハを、少なくとも上下移動及び旋回運動可能な作動アームと、作動アームの先端に弾性部材を介して取り付けられた吸着パッドとを有する搬送装置により、チャックテーブルから他のチャックテーブル若しくは他のウエーハ搬送装置に受け渡すウエーハ搬送方法において、ウエーハのリング状補強部の厚さと該ウエーハに貼付された保護テープの厚さを合わせた総厚を算出する工程と、チャックテーブルの高さに該総厚を加算して吸着パッド押し込み開始点を算出する工程と、吸着パッドでチャックテーブル上のウエーハを吸着する際、吸着パッドがウエーハのリング状補強部に接してから作動アームを所定距離押し込む押し込み工程と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】被処理基板が基板保持機構によって適切に保持されているかを誤検知することなく正確に判断することができ、製造コストを低く抑えることができ、さらに、処理中に被処理基板が破損したとしても直ちにその破損を検知することができる。
【解決手段】処理装置１は、ウエハＷを保持する基板保持機構２０と、ウエハＷに処理液を供給する処理液供給機構３０と、ウエハＷを周縁外方から覆うとともに、基板保持機構２０と一体となって回転可能な回転カップ６１と、を備えている。基板保持機構２０は、一端２２ａでウエハＷを保持しているときには他端２２ｂが上方位置に位置し、他方、一端２２ａでウエハＷを保持していないときには他端２２ｂが下方位置に位置する保持部材２２を有している。当該保持部材２２の他端２２ｂの下方に、保持部材２２の他端２２ｂが下方位置に位置しているときに当該保持部材２２の他端２２ｂに接触可能な接触式センサー１０が配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体チップの移送，実装効率を改善することを目的とする。
【解決手段】ＸＹＺ方向に移動可能なボンディングヘッド２１と突き上げユニット２５とＸＹテーブルステージ３４を具備し、ボンディングヘッドは、ＸＹ方向に移動可能なボンディングヘッド軸２２とボンディングヘッド軸に取り付けられた複数個のコレットホルダー２３と複数個のコレット２３を備え、突き上げユニットは、複数の半導体チップからなるウェハが貼り付けられたリング状のシート２８とシート上でかつウェハの外側に配置されたリング２９と半導体チップを突き上げる突き上げピンを有したピンホルダー３１を備え、ＸＹテーブルステージはリングをＸＹ方向に移動する機能を備え、突き上げユニットの突き上げピンにより特定の半導体チップを突き上げ、その半導体チップをコレットにより吸着し、リードフレームに移送して実装することを特徴とするダイボンダー装置。 （もっと読む）

【課題】分断システムに対するガラス基板の供給をとぎれることなく能率よく供給する。
【解決手段】分断システムの板ガラス供給側に、実入りパレットＰを多段に搭載した移動ラックＥ、荷受けしたパレットを前後方向に走行させるコンベヤとからなる中間受け渡し装置Ｊ、昇降床上のコンベヤ１４から実入りパレットＰを乗り移らせる下段コンベヤ２５と空のパレットを乗り移らせる上段コンベヤ２４からなる上下二段コンベヤ、さらに空のパレットを送り込むリフト２６付コンベヤ２７及び吸引荷受け手段Ｌ付の移載機Ｍを並べて、逐次ガラス基板を連続供給する。 （もっと読む）

【課題】常に一方の面を支持して搬送しながらも、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供する。
【解決手段】搬送装置10による板状体Ｇａの搬送経路１中で、目視検査部Ｂに対向する部分に、昇降動手段41と反転動手段51を設けた。昇降動手段は、搬送面１Ａの下方に位置する昇降体42と、昇降装置46と、搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けた板状体持ち上げ体47とにより構成した。反転動手段は、幅方向１Ｗに移動自在な移動体52と、移動体の下部に連動した横移動装置55と、移動体の上部に、横軸心63Ａの周りに回動自在に設けた回動体61と、回動体の回動装置65と、回動体が水平状姿勢のときに下面61Ａ側に位置する板状体保持装置71とにより構成した。回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置する水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置する傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成した。 （もっと読む）

【課題】ストッカ内の入庫ラインと出庫ラインとの間で、かつスタッカクレーンと別に異なる階層間の搬送を可能とした階層間搬送用リフタを配設することで、スタッカクレーンによる作業に支障を与えず、かつ階層間搬送を効率的に行うことができる別階層工程間搬送システムを提供すること。
【解決手段】搬送ラインに沿って配設し、かつ搬送ライン側に入出庫口を備えたストッカで、ストッカ内の所定箇所へカセットＫの搬送及び移載を行うように走行可能としたスタッカクレーンＳと、カセットＫを一時保管するための搬送コンベアＣとを配設して、複数階層を同じ構成とした工程間搬送システムにおいて、ストッカ内でカセットＫの一時保管とライン搬送を行うための入庫ラインＬＩ及び出庫ラインＬＯ間で、かつスタッカクレーンＳと別に異なる階層間のカセット搬送を可能とした階層間搬送用リフタ４を配設して構成する。 （もっと読む）

【課題】処理装置の搬出部から薄板を引き出す際における薄板のたわみを十分に抑えつつ、浮上搬送装置の搬送効率を高めること。
【解決手段】装置本体９の前端側及び後端側に薄板Ｗを搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラ１１が搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、装置本体９における前後方向の中央側に薄板を浮上させるセンタ浮上ユニット３９が設けられ、装置本体９におけるセンタ浮上ユニット３９の前側及び後側にのみ薄板Ｗを浮上させるサイド浮上ユニット４３が設けられ、サイド浮上ユニット４３は、通常の浮上力を発揮する通常浮上力状態と通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態とにセンタ浮上ユニット３９と独立して切り替え可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】薄板移送装置の製造コストの低下を図りつつ、薄板移送装置のＸ軸方向の設置スペースを小さくすること。
【解決手段】装置本体に一対の移送アーム３５がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向へ間隔を置いて設けられ、各移送アーム３５は、Ｘ軸方向の一端側に第１吸着パッド３９をそれぞれ有し、Ｘ軸方向の他端側に第２吸着パッド４１をそれぞれ有し、移送アーム３５によって第１薄板処理装置３Ａ等から薄板Ｗを装置本体側に引き出した直後に、薄板Ｗを装置本体に対して位置決めする引出直後用位置決め機構５１，５５，５９，６１と、移送アーム３５によって装置本体側から薄板Ｗを第２薄板処理装置５Ａ等に送り出す直前に、薄板Ｗを装置本体１７に対して位置決めする送出直前用位置決め機構５３，５７，５９，６１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】真空吸着状態が切れても基板の健全性を維持し、検査時に発見した基板の裏面の汚れ等をクリーニングすることを可能にする。
【解決手段】基板Ａの少なくとも裏面の目視検査を行うための基板検査装置１であって、基板Ａの裏面を真空吸着する吸着保持部６と、該吸着保持部６により吸着された状態の基板Ａの外周縁に接触して半径方向に挟む複数の接触部１０を有する押圧保持部８とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工容易でありながら、高い保持剛性を実現できる搬送物浮上装置及びこれを用いたステージ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】表面１１に吹出孔５０と吸引孔６０とを有し、内部１２に前記吹出孔に連通する吹出流路７０と前記吸引孔に連通する吸引流路８０とを有する搬送台１０と、
該搬送台の外部に設けられ、前記吹出流路にエアを供給するエア供給路２０とを有する搬送物浮上装置２００、２００ａ、２００ｂであって、
前記エア供給路は、前記エアに圧力損失を生じさせる圧力損失発生手段２１、２１ａ、２１ｂを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】使用時のコストを低下することができる塗布装置、基板の受け渡し方法及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板搬送部の搬入側ステージ及び搬出側ステージに外部搬送機構との間で基板を受け渡す際に当該外部搬送機構の一部を収容する収容部がそれぞれ設けられているので、外部搬送機構の一部を収容させる際に基板の受け渡しを行うことができる。これにより、昇降ピンを設けなくても基板の受け渡しを行うことができるので、その分のコストを低下させることができる。また、昇降ピンを設けなくても基板の受け渡しを行うことができるので、処理タクトを短縮化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】枚葉状の可撓性基板を、処理中に抜け落ちることなく湾曲、撓み又はしわ等の発生を防止し、容易に固定出来る可撓性基板保持具及びこの可撓性基板保持具を使用した有機ＥＬパネルの製造方法の提供。
【解決手段】矩形状の可撓性基板を平面状態に保持する可撓性基板保持具であって、前記可撓性基板は前記可撓性基板保持具への取り付け孔を有し、前記可撓性基板保持具は、矩形枠状の枠体と、前記枠体に取り付け部材を介し片持ち状態で一体に形成された梁構造の梁部とを有し、前記枠体の前記取り付け部材と対向する辺の２隅に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第１係止ピンと、前記梁部の両端に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第２係止ピンとを有することを特徴とする可撓性基板保持具。 （もっと読む）

【課題】入出庫処理を効率よく行うことができるストッカ装置を提供することである。
【解決手段】ストッカ装置１は、箱型の本体部１１と、本体部１１内に設けられ搬送車２６によって運搬された荷物１６が載置される荷物載置台１２と、本体部１１内に設けられ荷物１６を保管するための保管棚と、荷物載置台１２と保管棚との間で荷物１６を移動させる荷物移載機構とを備えている。荷物載置台１２は、搬送車２６の走行方向となる本体部１１の全長にわたり荷物移載機構が荷物１６を載置可能な高さに設けられ、少なくとも２つを超える荷物を載置可能な領域を有する。搬送車２６は、平面視において本体部１１の外側に設けられた搬送経路に沿って荷物１６を搬送可能であって、その搬送経路上の荷物１６を荷物載置台１２上に移動させるアーム機構３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】ウエハをリングフレームにマウントする際に、ウエハに搬送手段が直接接触することのないマウント装置を提供すること。
【解決手段】研削装置１１で裏面研削された半導体ウエハＷを、接着シートＳを介してリングフレームＲＦに一体化するマウント装置１０であって、研削装置１１の領域内にアクセス可能な搬送手段１２を含む。この搬送手段１２は、リングフレームＲＦを吸着する吸着パッド２３Ａを備えた吸着アーム２３と、接着シートＳをウエハＷに押圧するプレスローラ２５とを備え、研削装置１１で研削されたウエハＷが被加工位置Ｐ３に払い出された位置で、接着シートＳを介してリングフレームＲＦに一体化するようになっている。 （もっと読む）