【課題】コンパクトなレイアウトを採用可能とするロボットを備えた基板搬送システムを提供する。
【解決手段】本発明の基板搬送システムはロボット１を備え、その周囲に基板搬出入手段4及び基板処理装置5が配置される。ロボット1は、基板100が略水平に保持されるエンドエフェクタ22と、エンドエフェクタ22を垂直方向に駆動する垂直駆動手段18と、垂直駆動手段18を水平方向に駆動する水平駆動手段11と、水平駆動手段11を垂直軸線17周りに回転駆動する回転駆動手段と、を備える。垂直駆動手段18にエンドエフェクタ22の端部が接続され、水平駆動手段11に垂直駆動手段18の端部が接続される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、容器搬送手段１１１を、収納容器２を基板移載位置に下降移動させて搬送するように構成し、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置への下降移動途中において蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体２から離脱させる受け止め支持体１２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、ワークを所望の向きで受け渡し可能なローディング装置を提供する。
【解決手段】本発明のローディング装置は、ワークＷを受け取り、受け取ったワークＷを所定の位置に載置するローディング装置であって、受け取ったワークＷを支持した状態で、ワークＷを略水平に直線移動させる水平移動手段４と、水平移動手段４を回転可能に支持する回転手段３とを有する。とくに、水平移動手段４は、回転手段３によって略水平な状態に支持されたベース部４３と、ベース部４３に対して略平行に設けられベース部４３に対してスライドするように移動するワーク支持部４１とを含む。 （もっと読む）

真空環境内で使用されるかもしれない搬送ロボットのための方法及び装置が説明される。搬送ロボットは、第１プラットホームと、複数の支持部材によって第１プラットホームに結合される第２プラットホームを含むリフトアセンブリを含み、複数の支持部材は、支持部材の第１組と、支持部材の第２組を含み、搬送ロボットは、複数の支持部材の一部に結合される第１駆動アセンブリを更に含み、第１駆動アセンブリは、複数の支持部材に動力を提供し、これによって第１プラットホームに対して第２プラットホームを第１直線方向に動かし、搬送ロボットは、第２プラットホーム上に配置され、第２駆動アセンブリによって第２直線方向に可動なエンドエフェクタを更に含み、第２直線方向は、第１直線方向に対して直角である。
（もっと読む）

【課題】基板浮上装置、基板検査装置及び基板検査方法において、簡単な構成で確実にガラス基板の浮上状態を検知する。
【解決手段】基板（Ｇ）に対しエアを吐出するステージ部２と、基板（Ｇ）の浮上状態を、基板（Ｇ）に接触することで検知する検知部（３）と、を備える構成とする。好ましくは、検知部（３）は、ステージ部２の上部に配置される構成とする。 （もっと読む）

【課題】
ウェーハと保護部材とを外周部に形成された接着層を介して張り合わせたワークの保護部材側の接着層の内側を切削加工した後に、切削加工された保護部材を確実かつ容易に除去することが可能なワーク分離方法及び切削加工装置を提供すること。
【解決手段】
ワークＷの保護部材１２側の接着層１３の内側を切削加工した後に、切削加工された保護部材１２中央上面を分離手段１６により吸引吸着して上昇させる。 （もっと読む）

【課題】収容棚に収容された収容器搬送するのに必要となる搬送時間を低減させたまま、複数の収容棚を完全に同期させて、収容器を搬送することができる収容器搬送装置を提供する。
【解決手段】棒状部材６５を係合部材７１で係合させ、エアシリンダ６１で最上部の変位収容棚２５ａを移動させると、その棒状部材６５が延出されたその他の変位収容棚２５ｂが最上部の変位収容棚２５ａに連動して変位する。したがって、一つのエアシリンダ６１の駆動でその他の変位収容棚２５ｂを連動して変位させることができるので、複数の変位収容棚の移動を完全に同期させることができる。また、変位収容棚が変位して形成された空間を通して、搬送ロボットが固定棚列からＦＯＵＰをオープナーの載置棚へ搬送するので、ＦＯＵＰを搬送するのに必要な搬送時間を低減させたまま、ＦＯＵＰを搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納用の収納体５１に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部５２を上下方向に並設し、基板支持部５２を、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の支持用回転軸５３を、基板出し入れ方向に並設して構成し、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された連動用回転軸５４を、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって基板支持部５２における複数の支持用回転軸５３の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸５３の夫々と連動連結し、連動用回転軸５４における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体６５を設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体ダイのピックアップ装置において、保持シートの引き剥がしの際に半導体ダイに加わる力を抑制しつつ半導体ダイを容易にピックアップする。
【解決手段】保持シート１２に密着する密着面２２を含むステージ２０と、密着面２２に設けられた吸引開口４１と、密着面２２に沿ってスライドして吸引開口４１を開閉する蓋２３と、半導体ダイ１５を吸着するコレット１８とを備え、半導体ダイ１５をピックアップする際に、蓋２３の先端２３ａを密着面２２から進出させ、保持シート１２と半導体ダイ１５とを押し上げながら蓋２３をスライドさせて吸引開口４１を順次開き、開いた吸引開口４１に保持シート１２を順次吸引させて半導体ダイ１５から保持シート１２を順次引き剥がすと共に半導体ダイ１５の直上で待機しているコレット１８に半導体ダイ１５を順次吸着させて半導体ダイ１５をピックアップする。 （もっと読む）

【課題】フラッシュランプからの閃光照射時の基板の割れを防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハーＷを保持する保持プレート７４は石英にて形成された概略円板状部材であり、平面視で半導体ウェハーＷの直径よりも小さな直径を有する円板形状の凹部７８が形設されている。凹部７８を囲繞するエッジ部７９によって半導体ウェハーＷの端縁部が線接触にて支持される。半導体ウェハーＷの下面と凹部７８の底面と間に所定間隔の隙間が形成され、その隙間に気体層が挟み込まれる。保持プレート７４に保持された半導体ウェハーＷの下方からハロゲン光を照射して予備加熱した後、上方からフラッシュ光を照射してフラッシュ加熱を行う。気体層によって半導体ウェハーＷの振動が抑制されるとともに、保持プレート７４と半導体ウェハーＷとの間の熱伝導も防止される。 （もっと読む）

【課題】費用を増加させず、生産性を向上させるガラスパネルの昇降装置及び昇降方法を提供する。
【解決手段】ガラスパネルの昇降装置は、第1フレーム２３１ａに昇降可能に裝着される第1昇降ユニット２３０ａ、第2フレーム２３１ｂに昇降可能に裝着される第2昇降ユニット２３０ｂ、第1昇降ユニットと第2昇降ユニットを連結する連結シャフト２７１、及び第1昇降ユニットと第2昇降ユニット中いずれか一つに連結される駆動部材２７０を含み、上記駆動部材の駆動動作によって上記第1昇降ユニットと上記第2昇降ユニットが同時に上昇及び下降する。 （もっと読む）

【課題】処理装置の構成の自由度を向上することができる搬送機構を提供する。
【解決手段】複数の処理室１２，１４に接続された処理物Ｗの搬送室１３と、搬送室の内部に配置され、処理物を複数の処理室に搬送する搬送手段５１と、搬送手段を処理室に対して出し入れする移動機構６５，７５と、を備えた搬送装置において、搬送手段と移動機構とを相互に接続および分断する断接部を備え、断接部が接続された状態で、移動機構が搬送手段を処理室に対して出し入れし、断接部が分断された状態で、搬送手段が処理物を複数の処理室に搬送するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 成膜時においてシャドウエリアの少ない基板ホルダーを備える成膜装置を提供すること。
【解決手段】 成膜装置の基板ホルダーは、開口部を有する導電性の基板ホルダー本体と、開口部の内周から開口部内に向けて突出して形成されており、絶縁性基板の一端部を支持するための挟持部材を備える第１の支持部材と、絶縁性基板の他の端部を支持するための狭持部材を備え、開口部内に向けて突出し、または開口部内から退避するように移動可能な第２の支持部材と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

【課題】構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースをより小さくすることができる物品収納設備の提供。
【解決手段】上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられ、物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置と収納部１から引退する引退位置とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】物品支持体が物品を支持した状態において上方側から下方側への浄化空気の流れを阻害するのを防止し、清浄度の低下を抑制しながら物品を保管する。
【解決手段】物品支持体２８は、固定枠体２９に対して移動経路に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ固定枠体２９から下方に延びる形状に形成された移動体３０と、移動体３０の下端部から遠近方向に沿って延びるように設けられた載置体３１とを備え、載置体３１は、移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭で移動体の下端部から遠近方向に沿って延びるように設けられた当接載置部４０と、当接載置部４０から移動経路に沿う方向に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を備え且つ移動経路に対する遠近方向において物品よりも幅狭に形成された移動規制部４１とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】自動倉庫内のクリーン環境を保ち、保管物品の汚染を効率的に防止し、搬送中に物品が受ける振動を所定のレベル以下に保ち、物品への悪影響を効率的に防止する。
【解決手段】棚と、入出庫装置と、クリーンエアの供給用ファンフィルタユニットと、開度調整自在な排気口と、入出庫装置によって搬送と棚との間の受け渡しが自在なクリーン環境の測定用ユニット、とを備えた自動倉庫であって、予め定められた所定のルールに従って、自動倉庫内のクリーン環境と振動とを測定すると共に、ＦＦＵの送風量及び排気バルブの開度を調整し、搬送中に搬送物品が受ける振動を所定レベル以下に保つためにスタッカークレーンの動作を規制する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置の高さの低減、及び汚染物質等の進入の抑制を図る。
【解決手段】複数の基板Ｗが上下方向に並列的に収容される棚を有し、該棚の全段に相当する寸法の開口６ａがその一側面に形成された基板容器６が設置される容器台４２と、容器台４２を、上下方向の任意の位置で位置決め可能に移動する駆動装置４３と、容器６の棚の全段に相当する寸法よりも小さい範囲で上下方向に移動し、容器台４２との間に設けられた隔壁４４に形成される開口部４４ａと、開口部４４ａに対向する容器６の開口６ａとを介して基板容器６の棚に対する基板Ｗの搬出又は搬入を行う搬送アーム２０と、搬送アーム２０の上下方向の移動範囲に対して容器台４２の上下方向に位置を変更するように駆動装置４３を制御する制御装置と、容器台４２が位置を変更する際に、隔壁４４に形成される開口部４４ａが外部へ開放されることを防止する防止手段４７とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容する荷を搬送する搬送車との間で、荷の出入庫が夫々行われる複数の保管庫が組み合わされてなる保管庫セットが軌道に沿って敷設される保管庫装置において、比較的簡単な構成を採用しつつ、効率良く荷を出入庫することを可能ならしめると共に、稼働率を高く維持する。
【解決手段】保管庫装置に備えられる保管庫１０は夫々、荷３を水平一方向及び鉛直方向に往復移動可能な駆動手段１１，１３，１４と、該駆動手段により移動される荷を収容又は載置可能な棚部分を、鉛直方向に複数段に渡って段毎に水平一方向に一又は複数有する棚１５とを備える。保管庫装置は、少なくとも複数の保管庫のうち一又は複数の保管庫からなるグループ毎に出入庫を制御すると共に相互に補完制御可能に夫々構成されている複数のコントローラを備える。 （もっと読む）

【課題】リニア軸を有する装置において高さ方向や幅方向に制限がある場合であってもリニア軸のケーブル処理機構が必要なスペースを小さくでき、さらにリニア軸を２本並設する場合であっても、装置サイズを小さくすること。
【解決手段】ケーブルガイド３７、３８が、一端がベース部材３４に固定され、Ｕ字状に湾曲して、その他端がスライド部材２７ａ、２７ｂに固定され、スライド部材２７ａ、２７ｂの進退方向に沿って延在するよう配置され、スライド部材２７ａ、２７ｂの進退方向から見てベース部材３４に対して傾斜するよう配置した。 （もっと読む）