【課題】枚葉状の可撓性基板を、処理中に抜け落ちることなく湾曲、撓み又はしわ等の発生を防止し、容易に固定出来る可撓性基板保持具及びこの可撓性基板保持具を使用した有機ＥＬパネルの製造方法の提供。
【解決手段】矩形状の可撓性基板を平面状態に保持する可撓性基板保持具であって、前記可撓性基板は前記可撓性基板保持具への取り付け孔を有し、前記可撓性基板保持具は、矩形枠状の枠体と、前記枠体に取り付け部材を介し片持ち状態で一体に形成された梁構造の梁部とを有し、前記枠体の前記取り付け部材と対向する辺の２隅に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第１係止ピンと、前記梁部の両端に前記取り付け孔にそれぞれ挿通される第２係止ピンとを有することを特徴とする可撓性基板保持具。 （もっと読む）

【課題】塗布現像処理システムにおいてウェハの処理効率を向上する。
【解決手段】塗布現像処理システムの搬入出ブロックに、カセット待機ブロック６が接続される。カセット待機ブロック６には、カセット搬入出部１１０と、カセット待機部１１１と、カセット受け渡し部１１２と、ウェハ処理部１１３が設けられる。また、カセット待機ブロック６には、カセット搬入出部１１０、カセット待機部１１１及びカセット受け渡し部１１２間でカセットＣを搬送するカセット搬送装置１２０と、カセット待機部１１１のカセットＣとウェハ処理部１１３との間でウェハＷを搬送するウェハ搬送装置１２１が設けられる。各カセット待機部１１１には、カセットＣのドアオープナー１１５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】プローブカードを用いてウエハ上のＩＣチップの電気的特性を調べるプローブ装置において、ウェハの搬送効率を高めて高スループット化された装置の提供。
【解決手段】複数のウェハＷが収納されたキャリアＣ１、Ｃ２を載置する第１と第２のロードポート１１、１２と、下面にプローブが形成されたプローブカードを備えた複数のプローブ装置本体と、鉛直軸回りに回転自在及び昇降自在に構成され、前記第１と第２のロードポート１１、１２と前記プローブ装置本体との間において前記ウェハＷの受け渡しを行うためのウェハ搬送機構３と、をプローブ装置に設置して、このウェハ搬送機構３に互いに独立して進退自在な少なくとも３枚以上の基板保持部材を設ける。そしてウェハ搬送機構３によりキャリアＣ１、Ｃ２から少なくとも２枚のウェハＷを受け取り、これら少なくとも２枚のウェハＷを複数のプローブ装置本体内に順次搬入する。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで低振動・低騒音であり、特に半導体ウエハやＬＣＤ（液品表示）ガラス基盤などを処理するのに適する搬送装置を得る。
【解決手段】 アーム６１Ａ、６１Ｂを取着し同軸状に配置した出力軸２１Ａ、２１Ｂに連結された外接軸２０Ａ、２０Ｂと、外接軸の外周に接触配置された複数の中間軸３０Ａ、３０Ｂと、中間軸の外周に内接する内接円筒４０Ａ、４０Ｂとからなり、中間軸を回転自在に支持するキャリア１０を固定し、各組の中間軸３０Ａ、３０Ｂに前段減速機５０Ａ、５０Ｂを介して駆動モータ７０Ａ、７０Ｂを接続した。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

本発明は、積み込みの難しいシリコンベースのウエハ（２）のような二次元的な部品を非接触で保持するベルヌーイ・グリッパ（１）からなるグリッパであって、制御可能なロボットアーム（３）に接続されたクランプ・リング（４）と、ラッパ状部品（５）によってクランプ・リング（４）に接続され且つラッパ状部品（５）とバッフル・プレート（６）を通る流系（８）とつながるグリップ・フェイス（７）を有し、ベルヌーイ・グリッパ（１）に対して過剰圧力がかかると、グリップされるウエハ（２）を吸着させるために、バッフル・プレート（６）のグリップ・フェイス（７）に負圧が生じるバッフル・プレート（６）と、グリップ・フェイス（７）で一体化され且つグリップ・フェイス（７）に吸着されたウエハ（２）を滑らないようにする支持リング（１０）のゴム引きされた支持面（９）と、グリップ・フェイス（７）に吸着されたウエハ（２）を検知するセンサ（１１）とを備えるグリッパにに関するものである。グリッパのグリップ・フェイスにグリップされるウエハの極めて衝撃かからないアタッチメントを可能にするために、本発明は、グリッパ（１）に周方向に合わされたダンピング・デバイス（１２）を更に備え、ダンピング・デバイス（１２）の輪郭が、グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、周方向にグリッパ（１）の輪郭を越えて突出し、ダンピング・デバイス（１２）が、グリップ・フェイス（７）に向かってウエハを近付ける吸引の間、ウエハ（２）が支持リング（１０）のゴム引きされた支持面（９）に対して衝撃のかからない方法で支持されるように、グリップされるウエハ（２）のためにダンピング抵抗を形成する。 （もっと読む）

直線的に配置された第一固定子と、第一アームに結合している第一回転子と、を有する第一シャフトレス回転モータと、直線的に配置された第二固定子および第二アームに結合している第二回転子を有し、第二アームが第一アームに連結している第二シャフトレス回転モータと、第一および第二アームのうちの少なくとも１つに結合している第一基板支持体と、を備える基板搬送装置であって、第一および第二固定子は、第一および第二アームならびに第一基板支持体が両固定子の内側にあるように、また、第一および第二シャフトレス回転モータと第一および第二アームのそれぞれの１つとの連結におけるモータ出力が、第一および第二アームの周辺に形成される合力であるように、構成されている
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【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】筐体内外に収納容器の搬入搬出を行うロードポートにおいて、収納容器の蓋体を装着したり外したりするのを可能とし、構造をシンプルにする。
【解決手段】基板処理装置は、複数の基板を収納し基板出し入れ口を蓋体によって塞がれた収納容器２と、収納容器を載置するロードポートと、該ロードポートで基板出し入れ口に対する蓋体の着脱を行う着脱装置と、ロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して対向方向に遠近動作を行う第一載置ユニット１８Ａと、第一載置ユニットとは別体として設けられロードポートで収納容器を載置し着脱装置に対して昇降を行う第二載置ユニット１８Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板を効率良く搬送することが可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】複数の基板２を連続的に搬送するコンベア６と、基板２の搬送方向に直交する方向にコンベア６を跨いでコンベア６に対し昇降可能に設けられた昇降支持体１６と、コンベア６により搬送される基板２が昇降支持体１６の上方を通過可能となる位置まで昇降支持体１６を下降可能であると共に、複数の基板２のうちの第１の基板２を昇降支持体１６により下方から支持してコンベア６から上昇させ、コンベア６によって搬送される複数の基板２のうちの第２の基板２が通過可能な間隙が昇降支持体１６の下方に形成される位置まで昇降支持体１６を上昇可能な昇降駆動ユニット２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】より少ないスペースで基板の適切な移載を可能とする基板搬送装置を提供する。
【解決手段】第１支持体１４ｄがコンベア４との間で基板２の受け渡しを行うための第１位置にあるときに、昇降ユニット１０が移載ユニット１４を下降させ、コンベア４により搬送される基板２の下面より低い所定の下降位置まで第１支持体１４ｄを下降させた後、移載ユニット１４を上昇させることによりコンベア４により搬送された基板２をコンベア４から持ち上げる。第１支持体１４ｄがコンベア４により搬送される基板２の上面より高い位置まで上昇した後、移載ユニット１４が第１支持体１４ｄを処理装置６との間で基板２の受け渡しを行うための第２位置までコンベア４を横断する方向に移動させ、第１支持体１４ｄに載置された基板２を処理装置６に受け渡す。 （もっと読む）

【課題】昇降動作のストローク量を大きく確保するとともに装置全体の高さを低く抑えることができる、低床型の搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、旋回ベース２と、この旋回ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、旋回ベース２を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構と、旋回ベース２に支持された直線移動機構５と、直線移動機構５に支持され、直線移動機構５の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド６Ａ，６Ｂとを備えた搬送装置Ａであって、昇降機構３は、固定ベース１に対してテレスコピック状に伸縮するように組み合わされた２段の昇降部材３１，３２と、各段の昇降部材をその下位段の部材に対して昇降させる第１および第２の昇降駆動機構３３，３４と、を備えて構成されており、かつ、旋回ベース２は、最上位段の昇降部材３２に支持されている。 （もっと読む）

【課題】ウエハステージ等を駆動する際に生じる駆動反力を低減し、投影光学系等へ伝達する振動の影響を小さくして、高精度な露光を行う。
【解決手段】レチクル１のパターンを投影光学系２を介してウエハ３上に投影する露光装置において、ウエハステージ５が載置されるウエハベース７とは分離されるとともに、レチクルステージ４及びレチクルベース９を支持する構造体６から延びる３本の柔構造のロッド１９Ａ〜１９Ｃにより投影光学系２を支持する。また、ウエハベース７が載置される床面上に防振パッド４９を介して構造体６を支持する。 （もっと読む）

【課題】フレーム上部からの押し下げを不要にしてチャックテーブルよりも低い位置でフレームを保持することができ、切削水の流れの滞りを防止できるとともに、フレーム離脱を自動的かつ確実に行えるようにする。
【解決手段】ウエーハＷを保持したフレームＦをフレーム支持手段４１によって下部から磁力で支持することで、フレームＦを上部から把持することなく一定量の押し下げ支持を可能とし、切削加工に際して切削水がウエーハＷ上面に滞留する等の不具合を生ずることなく切削加工を行うことができ、また、切削加工後のフレーム離脱時にはフレーム押し上げ手段４２でフレームＦをフレーム支持手段４１から磁力に抗して強制的に押し上げることで、フレーム離脱を自動的かつ確実に行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下が抑制されつつ露光処理前または露光処理後の基板の汚染による処理不良が防止された、小型化が可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置５００においては、インデクサブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、洗浄／乾燥処理ブロック１２、現像処理ブロック１３およびインターフェースブロック１４が、この順で並設される。インターフェースブロック１４に隣接するように露光装置１５が配置される。露光装置１５においては、液浸法により基板Ｗの露光処理が行われる。洗浄／乾燥処理ブロック１２と現像処理ブロック１３との間に、各ブロック１３，１２間で基板Ｗの受け渡しを行うための基板載置部ＰＡＳＳ５，ＰＡＳＳ６が上下に近接して設けられる。基板載置部ＰＡＳＳ５の上側および基板載置部ＰＡＳＳ６の下側に、基板Ｗの一面と他面とを反転させる反転ユニットＲＴが積層配置される。 （もっと読む）

【課題】
基板処理装置に於いて、基板保持具が垂下された昇降軸で片持支持された場合に、振動、揺れを抑制し、基板移載時の搬送、移載精度の向上を図る。
【解決手段】
基板保持具４に保持された基板を収納し、処理する処理室６と、該処理室下方に連設される予備室９と、前記基板保持具を支持し、前記処理室を閉塞する炉口蓋１２と、該炉口蓋を支持する炉口蓋支持部２２と、該炉口蓋支持部を支持する昇降軸２１と、該昇降軸を吊下げ支持しつつ昇降させる昇降手段１４と、前記基板保持具に基板を搬入出する基板移載手段２９とを備え、前記基板保持具に基板を搬入出する際に、前記炉口蓋支持部の振動を抑制する振動抑制手段を前記予備室内に設けた。
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【課題】封止済基板１を切断して形成された個々のパッケージ（ワーク）４を効率良く搬送し得て製品（ワーク４）の生産性を効率良く向上させる。
【解決手段】３種の直径の異なる同軸駆動プーリー１１・１２・１３を回転駆動機構１４にて所要の移動角度にて回転駆動させることにより、駆動プーリー１１・１２・１３と従動プーリー１６・１７・１８とに各別に平行掛けした走行ベルト１９・２０・２１を所要の移動距離にて移動させることにより、往路走行側ベルトに固着したパッケージの移動係着部材２４ａ・２５ａ・２６ａと復路走行側ベルトに固着したパッケージの移動係着部材２４ｂ・２５ｂ・２６ｂと移動させることにより、これらの移動係着部材の間に設けたパッケージの固定係着部材２３を中心として当該移動係着部材の間隔を広げてパッケージ４を搬送する。 （もっと読む）

【課題】被移送物を衝撃や振動を起こすことなく円滑にかつ安定して定位置に迅速に移送することができ、しかも移送中の被移送物の落下や位置ずれを防止するようにしたマグネット式移送装置を提供する。
【解決手段】パイプ（１）内外にそれぞれ内部スライダー軸（２）と外部スライダー体（３）を有し、これらの内部スライダー軸（２）と外部スライダー体（３）間をマグネット（４）で連結して移送可能としたマグネット式移送装置であり、上記マグネットは、内部スライダー軸（２）の軸方向に直交する方向に配列した直状配列マグネット（５）と、内部スライダー軸（２）の軸方向に対向して斜状に交叉するようにずらした一対の斜状配列マグネット（６）を備え、内部スライダー軸（２）及び外部スライダー体（３）を衝撃なく円滑に、かつ安定して定位置に移送することができる。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び／又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の１つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
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【課題】複雑なアライメント機構を用いずに搬送位置精度を高精度に維持し、ガラス板を清浄に維持しながら、水平コロコンベアでは得られない高速搬送、及び瞬時の停止を実現するガラス板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス板９の下面側よりエアーを吹き付け、ガラス板９を浮上させる多孔質パッド１１を配置した保持部位１０と、その外側位置には搬送方向にガイド３１及びレール３２を配置した駆動部位３０と、駆動部位３０の一部表面上には駆動連結アーム２３とアーム２２及びハンド２１を一体構造とした移動部位２０とからなり、ガラス板９を保持部位１０により浮上させて保持し、搬送軸センター３近傍に整列したガラス板９ｃをハンド２１が補助的に板端面から挟み込むように把持し、ガラス板９ｃを駆動部位３０により搬送方向に高速に移動、停止する駆動機能を装備した。 （もっと読む）