【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】リードタイムを短縮しスループットを高める。
【解決手段】半導体製造装置１において、一対のウエハローディングポート１３、１３を上下に二段設置し、両ウエハローディングポート１３、１３にはポッド１０のキャップ１０ａを開閉するポッドオープナ２０をそれぞれ設ける。一方のウエハローディングポート１３におけるポッド１０に対するウエハ９の移載動作中に、他方のウエハローディングポート１３におけるポッド１０のキャップ１０ａをウエハ出し入れ口から退避位置へ移動させる。 （もっと読む）

【課題】基板を平坦化しつつ支持する。
【解決手段】表面電位測定装置１の基板支持装置２では、第１流体噴出部２１の円環状の第１多孔質部材２１１から、基板９の上面９１上の対象領域９１１の周囲に向けて第１流体が噴出され、基板９を挟んで第１流体噴出部２１と対向する第２流体噴出部２２の円環状の第２多孔質部材２２１から基板９の下面９２に向けて第２流体が噴出される。これにより、第１流体噴出部２１と第２流体噴出部２２との間において基板９を平坦化しつつ基板９を支持することができる。また、基板９と第１流体噴出部２１の第１多孔質部材２１１との間の距離を、簡素な構造で一定に維持することができる。その結果、表面電位測定装置１において、平坦化された対象領域９１１上に所望の間隔をあけてプローブ３１を位置させることができ、基板９上の対象領域９１１に対する表面電位の測定を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】セッターを用いることなく、平板状部材を変形させたり疵付けたりすることなく炉内を搬送し、熱効率良く熱処理することができる平板状部材の熱処理炉を提供する。
【解決手段】炉室２の床面を構成するチャンバー３の上面を炉幅方向に僅かに傾斜させるとともに、炉室２の床面に浮上用気体の噴出機能を持たせて平板状部材Ｐを浮上保持させる。平板状部材Ｐは自重により下側に位置決めされるので、下側となる炉室内に平板状部材Ｐの側縁と接触して前進力を与える搬送機構を設ける。水平面に対する床面の傾斜角度は、１〜１０°とすることが好ましい。また搬送機構は、炉長方向に一定間隔で配置された多数のキャリアローラ６とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡易、低コストの構成で浮上搬送式の基板処理を行うようにした基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬送方向（Ｘ方向）からみてステージ８０の左右両サイドにそれぞれ複数個のローラまたはサイドローラ１１０が搬送方向に一定ピッチで一列に配置されている。ステージ８０上で基板Ｇは、真下（ステージ上面）の噴出口１００から受ける気体の圧力で空中に浮きながらその左右両側端部がステージ両サイドのサイドローラ１１０の上に乗る。サイドローラ１１０の回転運動により、ステージ８０上で浮上する基板Ｇはサイドローラ１１０の上を転々と伝わりながら搬送方向（Ｘ方向）に平流しで移動する。 （もっと読む）

【課題】アームの動作速度と動作精度を高めることができるアーム駆動装置を提供する。
【解決手段】関節部により連結された複数のアームを伸縮動作させることができるアーム駆動装置１において、基台９上の第１関節部２に回転可能に連結された第１アーム５と、第１アーム５の先端側に位置する第２関節部３に回転可能に連結された第２アーム６と、第２アーム６の先端側に位置する第３関節部４に連結された第３アーム１０と、第１アーム５の第１関節部２側に設けられた第１タイミングプーリ１１と、第１アーム５の第２関節部３側に設けられた第２タイミングプーリ１２と、第１タイミングプーリ１１と第２タイミングプーリ１２との間に掛け渡され、第１アーム５が回転したときの第２アーム６の回転量を規制する第１タイミングベルト１５と、第１関節部２及び第２関節部３の一方又は両方に、第１アーム５及び第２アーム６それぞれに回転力を伝達する合計２以上の駆動源７，２５とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】基板上の処理液の温度をより適正に保ちながら処理を進めることができ、しかも、装置構成を簡単、かつ安価とする。
【解決手段】エッチング装置１０は基板Ｓを水平姿勢で搬送しながらその上面にエッチング液を供給するものである。このエッチング装置１０は、基板Ｓのうちその幅方向両端部分であって、かつ所定のパターン形成領域よりも外側の領域をローラ２６により支持した状態で基板Ｓを搬送するローラコンベア１６と、前記ローラ２６による基板Ｓの支持位置よりも幅方向内側の位置でエッチング液と同温度の流体（エッチング液）を噴出することによりその流体圧により基板Ｓをその下側から支持する流体圧支持装置１７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス時の作業性が良く、処理ユニットの配置の自由度が高い基板処理装置を提供する。
【解決手段】 ユニット配置部１０は、最下部に、ケミカルキャビネット１１を備え、この上側であって装置の４隅には、液処理ユニットとして、基板にレジスト被膜を形成する塗布処理ユニットＳＣ1、ＳＣ2と、露光後の基板に現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ1、ＳＤ2とが配置されている。さらに、これらの液処理ユニットの上側には、基板に熱処理を行う多段熱処理ユニット２０が装置の前部及び後部に配置されている。なお、装置の前側であって塗布処理ユニットＳＣ1、ＳＣ2の間には、基板処理ユニットとして、基板に純水等の洗浄液を供給して基板を洗浄する洗浄処理ユニットＳＳが配置されている。 （もっと読む）

【課題】互いに交差する２つの直線状ラインに沿ってユニットを配列した構成の基板処理装置において、構成を簡素化し、コストを低減する。搬送ロボット間での基板の受け渡しをなくすことによって、基板の汚染を減少する。
【解決手段】第１搬送路１０に沿ってカセット載置部１１，１２が設けられている。第１搬送路１０に直交する第２搬送路２０に沿って、めっき処理ユニット２１〜２４、裏面洗浄ユニット２５，２６および周縁洗浄ユニット２７，２８が設けられている。搬送ロボットＴＲは、ロボット本体３０と、このロボット本体３０を第２搬送路２０にほぼ沿うレール５８上で走行させるボールねじ機構５０と、レール５８の第１搬送路１０側の端部をこの第１搬送路１０に沿って移動させることにより、レール５８を揺動させるボールねじ機構４０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小形化するとともに、容器支持部の下方空間を有効利用できる基板容器オープナを提供する。
【解決手段】前後方向Ｘに移動可能な可動体９５と、オープナ側ドア６５に固定される接続体９３とを、平行リンク機構を構成するリンク部材９２によって互いに相対角変位可能に連結し、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体９５に対する各リンク部材９２の角変位を規制する。可動体駆動手段によって、可動体９５を前後方向Ｘに往復移動することによって、オープナ側ドア６５を前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに移動させて、オープナ側開口部６８を開閉することができる。可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、可動体９５を上下方向Ｚに駆動および案内する構成を不必要とすることができ、小形化するとともに、ＦＯＵＰ支持部３１の下方空間を有効利用できる。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】装置のイニシャルコスト、ランニングコストを低くでき、広い設置スペースを必要とせず、短い処理時間で銅又は銅合金による回路配線を形成でき、且つクロスコンタミネーションの原因となるエッジ・ベベル部に銅膜が残ることのない半導体基板処理装置を提供する。
【解決手段】回転軸線を中心に回転する回転部材と、回転部材の前記回転軸線を中心とした同一円周方向に沿って配置され該回転部材の回転に伴って公転する保持部材とを有し、保持部材は、該保持部材の軸心を中心に回動するように構成された回転保持装置で保持した半導体基板を洗浄する洗浄ユニットを有する。 （もっと読む）

【課題】基板処理量を最大化しながら設置面積を最小化することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置150は、それぞれ異なる高さで基板を支持する第１ブレード152及び第２ブレード154、第１及び第２ブレードと連結されて第１及び第２ブレードを移動させるアーム部160、及び、第１及び第２ブレードとアーム部を駆動する駆動部を含み、第１及び第２ブレードは、アーム部に同一（単一）軸線を中心にした旋回動作で旋回しながら開かれるか、または折りたたまれる。上述した構成を有する基板搬送装置は、設備の面積対比処理量を増加させることができ、基板の搬送及び処理時間を削減することができるという利点を有する。 （もっと読む）

【課題】めっき処理を品質良く確実に行えるばかりでなく、装置全体のコンパクト化や、装置コストの低廉化が図れるめっき処理ユニットを提供する。
【解決手段】処理槽内部に吸着ヘッド７８９で保持した基板Ｗを挿入した状態で基板Ｗの処理面にめっき液による接液処理を行うめっき処理ユニットであって、吸着ヘッド７８９は、基部７９１の下面外周に基板Ｗの裏面をリング状に真空吸着すると共に基板Ｗの裏面の真空吸着した部分の内側へのめっき液の浸入を防止してシールするリング状の基板吸着部７９５を取り付けて構成され、基部７９１には、基板吸着部７９５に吸着した基板Ｗと基部７９１の間の空間を開放する開口部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】
自重による基板の撓みがあっても基板収納カセットの基板の収納可能枚数を減少させる必要がないと共に、簡単な構造で低コストで製造できる基板搬送ロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】
基板収納カセット中に所定間隔で配置された複数枚の基板Ｓを取り出したり収納したりする基板搬送ロボット１０に使用されるハンド２０で、ハンド２０の前記カセットへの挿入方向に直交する方向に湾曲または屈曲せしめられた板状部材２１と、板状部材２１をその基端部でロボット１０のアーム１３に装着するための固定部材１４及び１５とを備える。板状部材２１の湾曲・屈曲の向きは、前記カセット中に配置された基板Ｓの撓みの向きと一致し、その湾曲・屈曲の度合いは基板Ｓの自重による撓みにほぼ等しいか、基板Ｓの自重による撓みよりも大きく且つ板状部材２１の全厚が前記カセットの基板Ｓの配置ピッチを越えないように設定される。 （もっと読む）

部品を処理するための少なくとも１つの処理装置と、一次搬送システムと、二次搬送システムと、第１の搬送システムと第２の搬送システムとの間の１つ以上の接合部分と、を有する半導体部品処理システム。該一次および二次搬送システムはそれぞれ、該等速セクションに通じる待ち行列セクション内に１つ以上の実質的に等速のセクションを有する。
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【課題】周縁部と内側部とに段差を有する極薄の半導体ウエハを安全にかつ確実に支持する。
【解決手段】周縁部１７Ａが肉厚に形成され内側部１７Ｂが肉薄に形成された半導体ウエハ１７をチャック１１上に載置して支持し、当該半導体ウエハ１７にプローブ針７を接触させて検査を行うプローバである。チャック１１は、半導体ウエハ１７の周縁部１７Ａに当接して当該周縁部１７Ａを支持する周縁支持部１２と、当該周縁支持部１２に対して段差を設けて半導体ウエハ１７の内側部１７Ｂに当接してこの内側部１７Ｂを支持する内側支持部１３と、前記周縁支持部１２と内側支持部１３とを相対的にずらして任意の高さの段差を作る移動機構１４とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液晶表示パネル製造工場や、半導体製造工場等のクリーンルームで使用される無人搬送台車において、その上部からのパーティクルの発生を防止した開閉扉を備えた無人搬送台車を提供するものである。
【解決手段】クリーンルーム内に設置され、側面にスライド式扉装置４が設けてあり被搬送物を搭載して装置間に被搬送物を搬送する無人搬送台車１０において、
前記スライド式扉装置４を、無人搬送台車１０の下部に設けた駆動部によって開閉移動させられる扉５、６、７、８と、この扉５、６、７、８の上部を案内するレール体１２と、前記扉５、６、７、８の上部とレール体１２との間に同一極性を対抗させて磁性体３１、３２、３３、３４を配置した構成を有する保持装置３５とで構成としたことを特徴とする無人搬送台車。 （もっと読む）

【課題】両面粘着シートを介して半導体ウエハなど凹凸の設けられたワークに支持用の基板を精度よく貼り合せることのできる基板貼合せ方法およびこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】バンプの設けられたウエハＷの表面に貼付けローラを押圧して転動させながらウエハＷと支持基板Ｇを、その間に介在させた両面粘着シートＳによって貼り合せた後に、さらに支持基板Ｇの周縁に沿って貼付けローラ１９を押圧して転動させながら支持基板Ｇの周縁部分を両面粘着シートＳに貼り付ける。 （もっと読む）