【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】２つのハンドを備えた搬送装置において、ハンドの動作にともなう振動の発生やアームのダレなどの不都合を低減する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に対し、旋回軸Ｏｓを挟んで旋回軸Ｏｓから等距離にある回動軸Ｏ１，Ｏ２周りに回動可能に支持されたアーム４Ａ，４Ｂと、アーム４Ａ，４Ｂのそれぞれに固定状に支持され、ワークＷを保持しうるハンド６Ａ，６Ｂと、旋回ベース２を回動させる旋回駆動手段と、アーム４Ａ，４Ｂを回動させるアーム駆動手段と、を備え、各ハンド６Ａ，６Ｂは、これに保持させるワークＷの中心が位置するべき基準点Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ有し、上記旋回駆動手段と上記アーム駆動手段が連動して、ハンド６Ａ，６Ｂのいずれか一方を、基準点Ｓ１または基準点Ｓ２が旋回軸Ｏｓを通る水平直線上の移動行程ＧＬを移動するように所定位置間を移動させる。 （もっと読む）

動作ユニット（１１）に対して電子回路板（１２ａ）を位置決めする位置決め装置（１０）が提供される。この装置（１０）は、第１の動作位置と第２の動作位置との間で選択的に回転する回転部材（１６）と、上記回転部材（１６）に取り付けられる位置決め部材（１７）とを備える。上記位置決め部材（１７）は、上記回転部材（１６）に取り外し可能に取り付けられるフレーム（２４）と、各電子回路板（１２ａ）が載せられるトランスピラン材料で形成されたストリップ（３２）とを備え、上記ストリップ（３２）は、上記フレーム（２４）に枢着された１対の巻取り／巻戻しローラ（３０、３１）の間に巻き取られる。 （もっと読む）

【課題】常に一方の面を支持して搬送しながらも、その一方の面（被支持面）の検査作業を能率的に行える板状体検査設備を提供する。
【解決手段】搬送装置10による板状体Ｇａの搬送経路１中で、目視検査部Ｂに対向する部分に、昇降動手段41と反転動手段51を設けた。昇降動手段は、搬送面１Ａの下方に位置する昇降体42と、昇降装置46と、搬送面に対して出退動自在として昇降体に設けた板状体持ち上げ体47とにより構成した。反転動手段は、幅方向１Ｗに移動自在な移動体52と、移動体の下部に連動した横移動装置55と、移動体の上部に、横軸心63Ａの周りに回動自在に設けた回動体61と、回動体の回動装置65と、回動体が水平状姿勢のときに下面61Ａ側に位置する板状体保持装置71とにより構成した。回動装置は、板状体保持装置が搬送経路の搬送面に対向して位置する水平状姿勢と、板状体保持装置が搬送面に対して起立状に位置する傾斜状姿勢との間で回動体を回動すべく構成した。 （もっと読む）

【課題】停電等の不慮の電力トラブルが生じた場合でも、ハンド位置を検出することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ベルト駆動で伸縮する多関節アームを備えた基板搬送装置であって、ハンド６２の位置を検出する検出手段（ハンド位置検出装置）１２０を備え、当該検出手段は、基台６３に対して相対移動可能なロッド部材１２１と、ベルト部材の移動をロッド部材のその軸方向への移動に変換する変換機構１２２と、ロッド部材に装着された磁性ブロック１２３と、磁性ブロックの位置を検出する検出ユニット１２４を有する。本発明によれば、検出ユニットを用いた磁性ブロックの位置検出によってハンドの位置を検出することが可能となる。また、真空中におけるハンドの原点位置への復帰作業も容易となり、装置稼働時間の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】ハンドの原点位置において多関節アームの姿勢を安定に保持する。
【解決手段】一端が基台６３の支持軸９１に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８とを備え、多関節アーム６１の第１アーム７１Ａ，７１Ｂと第２アーム７２Ａ，７２Ｂがほぼ平行となるハンドの原点位置で、支持軸９１の周りへの多関節アームの回動を規制するロック機構１００を備える。ロック機構１００は、ロックバー１０１と保持アーム１０２の接触によってアームの回動規制を行う。ロックバー１０１は、ハンドがその原点位置から所定距離移動するまでの間にわたり、ベルト７６と同期して移動するとともに、保持アーム１０２との接触状態を維持する。 （もっと読む）

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】処理装置の搬出部から薄板を引き出す際における薄板のたわみを十分に抑えつつ、浮上搬送装置の搬送効率を高めること。
【解決手段】装置本体９の前端側及び後端側に薄板Ｗを搬送方向へ搬送する複数の搬送ローラ１１が搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、装置本体９における前後方向の中央側に薄板を浮上させるセンタ浮上ユニット３９が設けられ、装置本体９におけるセンタ浮上ユニット３９の前側及び後側にのみ薄板Ｗを浮上させるサイド浮上ユニット４３が設けられ、サイド浮上ユニット４３は、通常の浮上力を発揮する通常浮上力状態と通常の浮上力よりも低い浮上力を発揮する低浮上力状態とにセンタ浮上ユニット３９と独立して切り替え可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】薄板移送装置７の構成の簡略化及び薄板移送装置７の製造コストの低下を図ること。
【解決手段】前記第１処理ステーションと前記第２処理ステーションの間の移送ステーションに設けられた装置本体と、
前記装置本体に設けられ、薄板を浮上させる浮上ユニットと、
装置本体１７にＸ軸方向へ延びた複数の移送アーム３５がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向へ間隔を置いて設けられ、各移送アーム３５のＸ軸方向の一端側に、第１薄板処理装置３Ａ（３Ｂ，３Ｃ）から薄板Ｗを装置本体１７側に引き出すときに薄板Ｗの裏面を吸着する第１吸着パッド４７がそれぞれ設けられ、各移送アーム３５のＸ軸方向の他端側に、装置本体１７から薄板Ｗを第２薄板処理装置５Ａ（５Ｂ，５Ｃ）に送り出すときに薄板Ｗの裏面を吸着する第２吸着パッド４９がそれぞれ設けられたこと。 （もっと読む）

【課題】アームを直動式の構成とし、その回転駆動部であるモータをダイレクトドライブ方式とし、さらにそのモータの回転位置検出器を１回転以内での位置検出が可能なものを使用できるようにする。
【解決手段】多段の直動式アームを伸縮動作させる大プーリ１６について、第２アームを直線状に駆動する連結プレートが第１ベルトの直線状部分におけるストローク量を移動しても第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】真空吸着状態が切れても基板の健全性を維持し、検査時に発見した基板の裏面の汚れ等をクリーニングすることを可能にする。
【解決手段】基板Ａの少なくとも裏面の目視検査を行うための基板検査装置１であって、基板Ａの裏面を真空吸着する吸着保持部６と、該吸着保持部６により吸着された状態の基板Ａの外周縁に接触して半径方向に挟む複数の接触部１０を有する押圧保持部８とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】薄板移送装置の製造コストの低下を図りつつ、薄板移送装置のＸ軸方向の設置スペースを小さくすること。
【解決手段】装置本体に一対の移送アーム３５がＸ軸方向へ移動可能かつＹ軸方向へ間隔を置いて設けられ、各移送アーム３５は、Ｘ軸方向の一端側に第１吸着パッド３９をそれぞれ有し、Ｘ軸方向の他端側に第２吸着パッド４１をそれぞれ有し、移送アーム３５によって第１薄板処理装置３Ａ等から薄板Ｗを装置本体側に引き出した直後に、薄板Ｗを装置本体に対して位置決めする引出直後用位置決め機構５１，５５，５９，６１と、移送アーム３５によって装置本体側から薄板Ｗを第２薄板処理装置５Ａ等に送り出す直前に、薄板Ｗを装置本体１７に対して位置決めする送出直前用位置決め機構５３，５７，５９，６１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム３を備えて基板９を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット１において、リニアスライダ１８、２３を摺動可能に保持するリニアレール７、８の近傍に、リニアスライダ１８、２３と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ４４をリニアレール７、８に沿って敷設した。リニアレール６上を摺動するリニアスライダ７直近に集塵カバ１０を設置し、リニアレール６上のリニアスライダ７が摺動する際に飛散するパーティクル１３を集塵カバ１０のラビリンス形状部で収集し、アームカバ８の開口部からパーティクル１３が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク３上のウエハ１２にパーティクル１３を付着させない処置をする。 （もっと読む）

【課題】ウエハの外周部に形成されたノッチがウエハ把持部に位置する状態でも、ノッチ部を把持部からずらすためのウエハの持ち替えとノッチの再検出動作を行うことなく、一度のウエハ把持とノッチ検出動作でノッチ合せを終了し、ノッチがウエハ把持部にある場合のノッチ合せ時間を従来に比べて大幅に短縮することが可能なエッジグリップ式ノッチ合せ装置を提供する。
【解決手段】ウエハのエッジグリップ式ノッチ合せ装置において、ウエハの外周部に形成されたノッチを検出するノッチ検出センサに光学式測長センサを使用し、このセンサがウエハの上方に位置し、ウエハが把持された状態でノッチの形成されたウエハ外周部までの距離を測定可能な位置に配置され、センサのＯＮ・ＯＦＦ信号や受光量の変化ではなく、センサからウエハまでの距離の変化を判定してノッチ位置を判断するように構成される。 （もっと読む）

【課題】低コスト且つコンパクトな駆動機構によってシート拡張を安定して確実に行うことができるシート拡張装置を提供する。
【解決手段】チップピックアップ装置に用いられウェハリング９に保持されたウェハシート１０を拡張するシート拡張装置において、ウェハリング９を保持した保持プレート７を下降させる保持プレート昇降機構を、保持プレート７を昇降させるエアシリンダ１５と、保持プレート７の下降動作における下降速度を規制する速度規制部材として機能するストッパ部材１７と、ストッパ部材１７を数値制御可能なモータによってベース部材に対して下降させてストッパ部材１７のベース部材に対する下降速度を調整する速度調整手段とで構成する。これにより、駆動力の大きいエアシリンダを用いて、シート拡張動作における保持プレート７の下降速度の精細な制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】物品保管部の清浄度を向上し得る物品保管庫を提供する。
【解決手段】車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体５９を、昇降台３６から車両走行方向外方側に離れかつ昇降台３６から車両横幅方向において物品収納棚Ｓ側に離れて位置する状態で、且つ、昇降台３６の昇降移動範囲の全範囲において昇降台３６に対応して位置する状態で設ける。 （もっと読む）

【課題】前後一対の支柱の車両走行方向及び車両横幅方向での強度が高く、重量物を物品として昇降台に支持させることができる物品搬送車を提供する。
【解決手段】 前後一対の支柱３５の夫々を、昇降台３６における車両横幅方向の中央部を案内支持する中央支柱体４１と、その中央支柱体４１に対して車両横幅方向において両横側に離れかつ車両走行方向において中央支柱体４１よりも車両外方側に位置する左右一対の補助支柱体４２とを、連結体４３にて接続して構成する。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置本体内に収納することができる処理容器の数を増やしつつ、装置が大型化することを抑制することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、ウエハ２００を処理する処理炉２０２と、ウエハ２００が収納されたポッド１１０を筺体１１１内に搬送し、筺体１１１から搬出するために用いられるロードポート１１４と、ロードポート１１４からポッド１１０を搬送するために用いられるポッド搬送機構１１８ｂと、少なくとも一部分が重力方向において処理炉２０２と重なるように上方に配置されている上部収納部２５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】搬送室の大型化を回避することができ、しかも処理チャンバの基板搬送のための開口を広くすることなく、さらに機構部に過度の負担をかけることのない基板搬送装置およびそのような基板搬送装置を搭載した基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板搬送装置は、ガラス基板を支持した状態で処理チャンバ１０内へ搬送するピック５２と、ピック５２を駆動する主駆動機構６０とを有し、ピック５２は、基部５６ｂと、基部５６ｂからフォーク状に延びる複数の第１支持部材５６ａと、第１支持部材５６ａに進出退避可能に接続された第２支持部材５７ａとを有し、これら第１支持部材５６ａと第２支持部材５７ａとで伸縮可能な支持部材を構成し、支持部材を伸ばした状態で基板が搬送される。 （もっと読む）