【課題】大きな搬送対象物や高価な搬送対象物の搬送に適した産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下動させる上下駆動機構と、上下駆動機構を制御する制御部８０とを備えている。上下駆動機構は、上下駆動機構を停止させるための２個のブレーキ機構２４を備え、制御部８０は、２個のブレーキ機構２４を制御するブレーキ制御部８４を備えている。ブレーキ制御部８４は、２個のブレーキ機構２４を段階的に作動させる。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットのアームにセンサを設けた基板搬送システムであって、基板の載置位置を検出し、信号線や電力導入用配線の摩耗による断線の問題のないの実用的なシステムを提供する。
【解決手段】搬送チャンバー内の搬送ロボットが、アームの先端で基板を保持しながら搬送する際、アームに設けられたセンサ７１が、基板が正しい位置で保持されているか監視し、搬送チャンバー外に設けられた信号処理部７３が、センサ７１からの信号を処理して基板が正しい位置であるかどうか判断する。センサ７１からの信号を信号処理部７３に送る送信系は、内部の真空と外側の大気とを隔絶するようにして搬送チャンバーに備えられた透光板１０２を通して光通信する光通信ユニット７６を経由して、送信する。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なる搬送対象物の位置決めをし、複数の搬送対象物を搬送可能な搬送システムを提供する。
【解決手段】水平な搬送軌道上で搬送対象物を搬送する搬送手段と、当接位置と待機位置との間で移動可能に設けられた当接部材と、搬送対象物のサイズに応じて、当接部材を当接位置に移動させる位置決め部Ｐａ１〜Ｐａ４、Ｐｂ１〜Ｐｂ４を選択する選択手段と、当接部材を当接位置に移動させる移動手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】ＬＬ／ＵＬチャンバー１およびプロセスチャンバー２の第１〜第３ガイドプレート５，６，７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。第１ガイドプレート５および第２ガイドプレート６は、上下２段に、かつ、昇降機構４５により基板載置面５ａ，６ａの高さが変化するように構成されている。第２ガイドプレート６における第３ガイドプレート７を臨む端部には、基板４を第３ガイドプレート７の基板載置面７ａから第２ガイドプレート６の基板載置面６ａへ誘導する誘導部６ｂが設けられている。同様に、第３ガイドプレート７における第１ガイドプレート５を臨む端部には、基板４を第１ガイドプレート５の基板載置面５ａから第３ガイドプレート７の基板載置面７ａへ誘導する誘導部７ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化に伴う基板処理装置の占有面積の増大を抑制することを課題とする。
【解決手段】基板処理装置を、基板保持具、内部に第一の方向に向いた第一のガイドレールを有するロードロックチャンバー並びに第二のガイドレールを有するベース部材及び前記ベース部材が移動可能に取り付けられている、前記ベースを貫く前記第一の方向とは異なる第二の方向に延在するガイドロッドを有する中間チャンバーを有し、前記ロードロックチャンバーの前記第一のガイドレールと前記ベース部材の前記第二のガイドレールが同一直線状になった状で前記基板保持具が前記第一の方向に第一方向移動手段で移動し、前記基板保持具が前記ベース部材に載置された状態で、第二方向移動手段で前記ベース部材が前記第二の方向に移動するという構成とする。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

基板を支持させる回動支持台の構造を簡単にした基板の移送装置に関する。
該装置は、上部の第１位置に供給された基板を、下部の第２位置の高さに移送させ、第２位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、第１上部回動支持台及び第２上部回動支持台と、第１下部回動支持台及び第２下部回動支持台とが上下に離隔された状態で回動される構造を有する。
かような移送装置は、第１リフト及び第２リフトが、それぞれ第１位置と第２位置との間を交互に昇降しつつ、複数の基板を移送させるので、第１回動支持台及び第２回動支持台での基板待機時間を短縮させることによって、移送時間及び工程時間を短縮させることができる。
また、第１回転軸ないし第４回転軸及び第１ベルト部材ないし第４ベルト部材によって、第１上部支持台及び第２上部支持台と、第１下部支持台及び第２下部支持台とが回動することによって、回動構造を簡単にする。
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【課題】基板ハンドラー、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の実施例は、基板を処理するための、基板を調整するための調整デバイスを備えた基板ハンドラーに関している。一実施例では、基板ハンドラーは、基板を支持表面に対して実質的に平行の方向に変位させるようになされた変位デバイスを備えている。変位デバイスは、調整プロセスの間、ある調整位置から１つ又は複数の他の調整位置へ基板を変位させるようになされている。本発明の他の実施例によれば、基板ハンドラーは、基板ハンドラーの支持表面の上方にエア・ベッドを提供するためのフロート・デバイスを備えており、基板ハンドラーは、基板を調整している間、基板をエア・ベッド上で支持するようになされている。 （もっと読む）

【課題】平流しの搬送ライン上で被処理基板に供給した第１の処理液を分別回収して第２の処理液に置き換える動作を効率よくスムースに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】水平な搬送路を有する第１の搬送区間Ｍ１と、上り傾斜の搬送路を水平な搬送路から形成可能な第２の搬送区間Ｍ２と、第２の搬送区間Ｍ２が上り傾斜の状態で、第２の搬送区間Ｍ２に続く下り傾斜の搬送路を形成する第３の搬送区間Ｍ３とを含む平流しの搬送ライン２と、搬送体６を駆動する搬送駆動部と、第１の搬送区間Ｍ１内で基板Ｇ上に第１の処理液Ｄを供給する第１の処理液供給部９と、第３の搬送区間Ｍ３内で基板Ｇ上に第２の処理液Ｗを供給する第２の処理液供給部１３と、第２の搬送区間Ｍ２に被処理基板Ｇが載置された状態で、該第２の搬送区間Ｍ２に敷設された搬送体６を上昇移動させ、第１の搬送区間Ｍ１に続く上り傾斜の搬送路を形成する昇降手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁極の固定に起因する雰囲気汚染を回避しながらも、ロボットに必要な剛性を確保でき且つ信頼性の高い，大気外の雰囲気中で用いられるダイレクトドライブモータ及びスカラーロボットを提供する。
【解決手段】直列的に連結された３段のブラシレスモータＢＭ１において、ステータ２９と、大気軸受装置３３と、大気側回転子３０と、角度検出器３５，３６と、モータ回転子２１と、真空軸受装置１９のうち少なくとも２つを、モータ軸線方向において互いに少なくとも一部が重合する位置に配置しているので、コンパクトな構成ながら、高い剛性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷を、ビークル等の搬送手段により搬送する搬送システムにおいて、簡単な構成により効率良く荷を搬送する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、第１経路（１）と、第１経路に沿って一の荷（３）を搬送すると共に該搬送される一の荷を移載可能な第１移載手段（５）を有する搬送車（２）と、少なくとも一箇所において、第１経路の側方における第１経路よりも下方を通る第２経路と、第２経路上で一の荷と同一又は異なる他の荷を搬送する搬送手段（３０）と、一箇所における第２経路よりも下方に配置されたポートと、少なくとも一箇所において、搬送される他の荷を横移載方式でポートとの間で移載可能な第２移載手段（４０）とを備える。第１移載手段は、一の荷を縦移載又は横移載方式でポートとの間で移載可能である。 （もっと読む）

直接ロードシステムが、容器を垂直の向きでコンベヤの近くの下方位置とロードポートドアに近接した上方位置との間で動かすロードポートを有する。ロードポートは、支持体を垂直の形態で動かす単一のアームを有し、単一のアームを動かすことにより支持体をコンベヤのビーム相互間の格納場所でコンベヤまで下降させることかできるようになっている。コンベヤは、ビームに設けられていて、単一アームを通過させることができる単一のスロットを有する。単一アームは、格納場所から上昇してコンベヤから離れ、ロードポートドアに至る。単一アーム及びコンベヤスロットとのインターフェイスは、他のツール、例えばストッカ又は容器（例えばウェーハ等）を製造設備の種々の場所／ツールまで搬送するために用いられるコンベヤに直接アクセスすることを必要とするツールによって利用できる。
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【課題】処理装置の構成の自由度を向上することができる搬送機構を提供する。
【解決手段】複数の処理室１２，１４に接続された処理物Ｗの搬送室１３と、搬送室の内部に配置され、処理物を複数の処理室に搬送する搬送手段５１と、搬送手段を処理室に対して出し入れする移動機構６５，７５と、を備えた搬送装置において、搬送手段と移動機構とを相互に接続および分断する断接部を備え、断接部が接続された状態で、移動機構が搬送手段を処理室に対して出し入れし、断接部が分断された状態で、搬送手段が処理物を複数の処理室に搬送するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】チャンバーを開放することなくチャンバー内の基板の有無を検出することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１は、チャンバー６内に収容した半導体ウェハーＷにフラッシュランプＦＬからフラッシュ光を照射して加熱処理を行う。チャンバー６には半導体ウェハーＷを支持するための支持ピン７０が立設されている。支持ピン７０は石英にて形成され、その基端部はチャンバー６の外部に突出しており、光ケーブル１６を介して投光部１１および受光部１２と接続されている。フラッシュランプＦＬからフラッシュ光を照射した後、投光部１１から支持ピン７０に光を入射し、支持ピン７０の先端から基端へと導かれる反射光を受光部１２によって受光する。受光した反射光のレベルを判定することによってチャンバー６内の半導体ウェハーＷの有無を検出して割れの発生を検知する。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

【課題】構成の複雑化を招くのを防止しながら、棚前後方向での設置スペースをより小さくすることができる物品収納設備の提供。
【解決手段】上下方向及び左右方向に収納部１を複数備えた物品収納棚２と、その物品収納棚２における各収納部１に物品３を搬送自在な物品搬送装置４とが設けられ、物品搬送装置４は、物品収納棚２の棚横幅方向に移動自在な移動体１２と、その移動体１２に対して物品収納棚２の棚前後方向に移動自在な昇降案内マスト１３と、棚前後方向での昇降案内マスト１３の移動により収納部１に対する物品移載用の突出位置と収納部１から引退する引退位置とに移動自在で且つ昇降案内マスト１３にて昇降自在に案内支持された物品支持体１４とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】収容されている複数の基板の姿勢を、所望の状態となるよう一度に修正することが可能な基板収容装置を提供する。
【解決手段】基板収容装置１は、基板支持カセット１２と、回動軸３０Ａ，３０Ｂと、歯車３２Ａ，３２Ｂと、チェーン３４と、連結具３８Ａ，３８Ｂと、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂと、駆動機構と、ストッパ部材とを有する。基板支持カセット１２は、複数の棚２０を有し、各棚２０にガラス基板１８がそれぞれ支持される。Ｌ字アングル４０Ａは連結具３８Ａによって回動軸３０Ａに取り付けられており、Ｌ字アングル４０Ｂは連結具３８Ｂによって回動軸３０Ａに取り付けられている。回動軸３０Ａ，３０Ｂは、歯車３２Ａ，３２Ｂ及びチェーン３４によって同期して回動する。駆動機構は、Ｌ字アングル４０Ａを回動軸３０Ａ周りに駆動させる。ストッパ部材は、Ｌ字アングル４０Ａ，４０Ｂの回転を規制する。 （もっと読む）

【解決手段】ウエハ洗浄チャンバは、両端部の間の同軸取り付けされた中点をそれぞれ有する複数のキャリアアームを備えており、キャリアアームの両端部の各々には、ウエハキャリアが取り付けられている。ハブは、複数の同軸取り付けされた駆動部を備えており、複数の駆動部の各々は、複数のキャリアアームの内の対応するキャリアアームの中点の近傍に結合されている。複数の駆動部の各々は、複数の同軸取り付けされた駆動部の内の残りの駆動部から独立して制御されるよう構成されている。同軸取り付けされた駆動部の各々に、それぞれのモータが結合されており、速度プロフィールを含むプログラムの制御下で、結合されたキャリアアームを回転させるよう構成されている。ウエハキャリアの経路の近傍に、少なくとも１つの洗浄剤供給ヘッドが配置されている。 （もっと読む）

【課題】設置や処理順の変更に多大な手間や時間を必要としない基板処理装置、および有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ装置などを製造するための基板処理装置において、固定チャンバ１５ｂ、１５ｄを接続する基板搬送室３２の内部には、一対のローラ５４ａ、５４ｂの間にベルト５３が張架され、かかるベルト５３には基板搭載部５１が一体に構成されている。ローラ５４ａ、５４ｂを回転させると、ベルト５３と一体に基板搭載部５１も移動する。このため、ベルト５３を急加速あるいは急減速した場合でも、基板搭載部５１の位置がずれないので、被処理基板１を高速搬送することができる。また、基板搬送室３２の内部から外部に引き出す回転軸５４ｃ、５４ｄの本数が少ない。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の搬送空間における温度、湿度、圧力、気流などに影響を与えない小型のポッド開閉装置を提供すること。
【解決手段】ポッド開閉装置において、ポッド容器が搭載されるポートベース２と、ポッドプレートが搭載されるポートドア１と、ポートドア１を昇降させる昇降機構２６と、を備え、昇降機構２６が、ポートドア１及び基板が昇降される基板開放空間２７から隔離された遮蔽空間２４内に収容され、遮蔽空間２４に、遮蔽空間２４内の気体を遮蔽空間２４外へ排出する第１の整流ファン１５を備えた。 （もっと読む）