【課題】正孔の移動を十分に抑制することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】この半導体装置（ｎｐｎ型のバイポーラトランジスタ１００）は、ｎ型コレクタ層２と、ｐ^＋拡散層４、ＳｉＧｅ層５およびｐ型シリコン膜６からなるベース層と、ｎ型エミッタ層８と、ｎ型コレクタ層２とｎ型エミッタ層８との間に形成され、電子または正孔のいずれか一方に対する電位障壁としての効果を有する電荷移動防止膜７とを備える。 （もっと読む）

【課題】パッド部や下層配線等のクラック、半導体素子の破壊を防止できる構造の半導体装置を提供する。
【解決手段】電極層５８を第３絶縁膜６０にて覆うようにすることで、第３絶縁膜６０にて電極層５８が固定されるようにする。これにより、ボンディング時の衝撃により電極層５８が変形してしまうことを従来以上に抑制することが可能となる。特に、電極層５８をヤング率が１×１０⁴ｋｇ／ｍｍ²以上の材料とし、かつ、電極層５８の膜厚を０．３μｍ以上、好ましくは１μｍ以上とすると良い。また、パッド部６２をヤング率が８．０×１０³ｋｇ／ｍｍ²以上の材料とし、かつ、パッド部６２の膜厚を０．５μｍ以上、好ましくは１μｍ以上とすると良い。 （もっと読む）

【課題】多重型トランジスタ半導体構造を提供すること。
【解決手段】半導体構造が２つの異なった部分を用いて形成される。第１の部分は第１のトランジスタを形成し、第２の部分は第２のトランジスタを形成する。第１のトランジスタの複数の部分が第２のトランジスタの複数の部分をも構成する。すなわち、第１のトランジスタ及び第２のトランジスタの両方が、同一の構造における複数の部分により構成される。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの増大や半導体装置性能を損なうことのなく、静電気放電耐量の高い静電気放電保護半導体装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 半導体基板に形成した半導体装置上に導電体を配設し、前記導電体を電源ラインもしくはグランドラインに接続し、前記半導体装置が構成されている集積回路上に配設されている導電体と、半導体装置配線は別配線である多層配線により構成することで、前記半導体装置における前記導電体の占有面積を増大させることが可能となり、気中放電モデルにおける静電気放電耐量を向上させることができる。さらに、集積回路に占める導電体面積比を４０％以上とすることで面積効率の良い静電気放電保護半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】ＢｉＣＭＯＳなどの半導体装置に搭載される用途の異なる各素子の性能を両立させることができる高性能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｐ型Ｓｉ基板１上の高速用ＨＢＴの形成領域Ａに高濃度のリンイオンを注入した後、Ｓｉ基板１上にシリコン酸化膜３を形成する。その後Ｎ型Ｓｉ層をエピタキシャル成長させると、高速用ＨＢＴの形成領域Ａではまずシリコン酸化膜３の蒸発が起こり除去されてからＮ型Ｓｉ層が成長する。このためラテラルＰＮＰ、ＰＮ接合型バラクタ、高耐圧用ＨＢＴトランジスタ等の素子よりも薄いＮ型Ｓｉ層が得られるため用途の異なる各素子の性能を両立させることができる。 （もっと読む）

【課題】金属膜を必要以上に薄く形成しなくても、ＬＯＣＯＳエッジ付近での金属膜とベース絶縁膜との過度な合金化を防止できるようにした半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供する。
【解決手段】エミッタ領域の基板１上からＬＯＣＯＳ層１５Ｂ上にかけてシリコンゲルマニウム層５１を連続して形成する。次に、エミッタ５９領域のシリコンゲルマニウム層５１上にエミッタ５９を形成する。そして、エミッタ５９が形成された基板１上にシリコン酸化膜を形成し、次に当該シリコン酸化膜をエッチバックすることによって、エミッタ５９の側面にサイドウォール６１Ａを形成する。その後、基板１上にＴｉを形成し熱処理を施して、チタンシリサイド膜６７を形成する。サイドウォール６１Ａを形成する工程では、ＬＯＣＯＳエッジ９０上にサイドウォール６１Ｂを付随的に形成する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に形成されたウェル抵抗からなる抵抗素子の抵抗値と温度依存特性を調整できるようにする。
【解決手段】ウェル抵抗領域４内の２箇所にコンタクト領域６が互いに離間して形成されている。コンタクト領域６上には、シリサイド層８を介してコンタクト１０が形成されている。ウェル抵抗領域４内のコンタクト領域６の間に、この抵抗素子の抵抗値及び温度依存特性調整用のＰ⁺拡散領域１４が形成されている。 （もっと読む）

本発明は、基板（１００）上にアクティブ層（１０１）を形成する段階および少なくとも基板（１００）が出現するまで、トレンチ（１０２）をアクティブ層（１０１）内に形成することでコンポーネントを個別化する段階を含む、電子コンポーネント（１１１）のマトリクスを製造する方法に関する。この方法は、アクティブ層（１０１）上に機能材料の層（１０２）を蒸着する段階と、前記トレンチ（１０２）を充填し、電子コンポーネント（１１１）の上側面に薄膜（１１５）を形成するように、材料の層（１０３）上に感光性樹脂（１０４）を蒸着する段階と、トレンチの樹脂の部分の露光を少なくしつつ樹脂（１０４）を放射線に少なくとも部分的に曝露する段階と、適切に露光された部分を除去するように樹脂（１０４）を現像する段階と、現像段階の後、外面に現われる機能材料の層（１０３）の部分を除去する段階と、樹脂の残り部分を除去する段階とを含む。
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【課題】半導体基板にスルーホールを形成する工程や、半導体基板を裏面から研磨する工程は、非常に長い時間を要し生産性を低下させる要因となる。また、半導体基板を積層する構造であるため、積層して形成された半導体集積回路は厚くなり機械的な柔軟性に劣っている。
【解決手段】複数の基板上に剥離層を形成し、剥離層上に半導体素子、および貫通配線のための開口部を形成する。そして、半導体素子を有する層を基板から剥離し、重ね合わせて積層し、開口部に導電性を有する層を形成して貫通配線を形成することによって半導体集積回路を作製する。 （もっと読む）

【課題】ＢｉＣＭＯＳなどの半導体装置に搭載される用途の異なる各素子の性能を両立させることができる高性能な半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Ｐ型Ｓｉ基板１上の高速用ＨＢＴ形成領域に高濃度のリンイオンを注入し、カーボンを注入した後、Ｓｉ基板１上に低濃度のＮ型Ｓｉ層３を形成する。Ｎ型Ｓｉ層３は約１０００〜１２００℃でエピタキシャル成長させるため、埋め込み型不純物層２中の不純物がＮ型Ｓｉ層３側にせり上がってくるが、埋め込み型不純物層２下部にカーボンが導入されている高速用ＨＢＴ形成領域は埋め込み不純物層２からの不純物拡散が促進され、リンのせり上がり量を大きくできる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、縦型ＰＮＰトランジスタと縦型ＮＰＮトランジスタとを備えた半導体装置の製造方法に関し、縦型ＮＰＮトランジスタの特性の劣化を抑制することを課題とする。
【解決手段】第１のＮ型埋め込み拡散層２１と、Ｐ型拡散層２３，２５と、第１のＮ型エピタキシャル成長層２２とを有する縦型ＰＮＰトランジスタ１５と、第２のＮ型埋め込み拡散層４０と、第２のＮ型エピタキシャル成長層４１とを有する縦型ＮＰＮトランジスタ１６とを備えた半導体装置１０の製造方法であって、第１及び第２のＮ型埋め込み拡散層２１，４０を形成後に、第１及び第２のＮ型エピタキシャル成長層２２，４１を形成し、第１及び第２のＮ型エピタキシャル成長層２２，４１を形成後にＰ型拡散層２３，２５を形成した。 （もっと読む）

【課題】この発明はSOI構造の基板上に形成される横型バイポーラトランジスタに関し、MOSプロセスの流用により形成することができ、かつ、十分な増幅率を確保することを目的とする。
【解決手段】SOI構造の基板上にP+ベース引き出し拡散層１４を形成する。P+ベース引き出し拡散層１４の両側に分離絶縁膜１７Ｂ，１７Ｃを介してN+エミッタ拡散層１５Ａ，１５Ｂを形成する。それらを囲むように、ベース拡散層として機能するP型SOI層を形成し、その上に導電層２２を形成する。更にそれらを囲むように、N+コレクタ拡散層１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＩＧＢＴとダイオードが同じ半導体基板に形成されてなる小型の半導体装置であって、ダイオードのリカバリー特性の劣化を抑制できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１におけるＩＧＢＴの形成領域とダイオードの形成領域以外の領域（周辺部）において、主面側の表層部に、Ｐ導電型の第５半導体領域６が形成され、第１半導体領域２、第３半導体領域４および第５半導体領域６が、電気的に共通接続され、第５半導体領域６に対向して、裏面側の表層部に、Ｐ導電型の第６半導体領域７ａが形成され、第２半導体領域３、第４半導体領域５および第６半導体領域７ａが、電気的に共通接続されてなる半導体装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、パワー用半導体素子のドレイン領域でのシート抵抗値を低減させることが難しいという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の単結晶シリコン基板３上にＮ型のエピタキシャル層４が形成されている。基板３の裏面４７からはドレイン領域として用いられるＮ型の埋込拡散層１８が露出している。そして、基板３の裏面４７側には、Ｎ型の埋込拡散層１８とコンタクトする金属層４８が形成されている。この構造により、金属層４８がドレイン領域として用いられ、ドレイン領域でのシート抵抗値を大幅に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の半導体装置では、パワー用半導体素子のドレイン領域でのシート抵抗値を低減させることが難しいという問題があった。
【解決手段】本発明の半導体装置では、Ｐ型の単結晶シリコン基板３上に、２層のＮ型のエピタキシャル層４、５が形成されている。基板３の裏面４９からはドレイン領域として用いられるＮ型の埋込拡散層２０が露出している。そして、基板３の裏面４９側には、Ｎ型の埋込拡散層２０とコンタクトする金属層５０が形成されている。この構造により、金属層５０がドレイン領域として用いられ、ドレイン領域でのシート抵抗値を大幅に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体チップに複数の半導体素子が形成されている半導体装置において、従来の半導体装置と比較して、半導体チップの面積を縮小できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体チップの表面に平行な面方向において、パワー素子領域ａよりも領域が狭い制御回路素子領域ｂがパワー素子領域ａと完全に重複するように、半導体チップの内部に、絶縁分離されたパワー素子領域ａを有する第１のＳＯＩ層４と、絶縁分離された制御回路素子領域ｂを有する第２のＳＯＩ層７とを、半導体チップの表面に垂直な方向に並んで配置させる。 （もっと読む）

【課題】トリミングパターンのヒューズ部の溶断に大電流を用いた場合においても、ヒューズ部の溶断後の切断幅を安定させて切断不良を低減すると共に半導体装置の主回路への熱影響を防止する手段を提供する。
【解決手段】第１の端子と、第２の端子と、第１および第２の端子の間に配置されたヒューズ部とを有するトリミングパターンにおいて、第１の端子とヒューズ部との間にエミッタ電極とベース電極とコレクタ電極とを有するバイポーラトランジスタを設け、第１の端子をエミッタ電極に接続すると共に、ヒューズ部の一端をコレクタ電極に接続し、他端を第２の端子に接続する。 （もっと読む）

【課題】 ＨＢＴセル内での発熱均一性を保ち、かつ、高周波帯域の利得特性を向上させたバイポーラトランジスタを提供する。
【解決手段】 ベースメサフィンガー（エミッタレッジ層１５、ベース層１６及びコレクタ層１７）を２本のコレクタフィンガー（コレクタ電極１３）で挟み、ベースメサフィンガー上に１本のベースフィンガー（ベース電極１２）及びその両側の２本のエミッタフィンガー（エミッタ層１４及びエミッタ電極１１）を形成した構造である。２本のエミッタフィンガーは、ベースフィンガーを基準に対称の位置に形成される。 （もっと読む）

【課題】 互いに並列に接続されたベースバラスト抵抗及び容量を付加したＨＢＴ等のヘテロ接合型半導体素子を有する半導体装置において、その素子面積を縮小し、かつ作製工程の簡略化も可能にすること。
【解決手段】
少なくともコレクタ層３とベース層５と第１のエミッタ層７Ａとからなる積層体によって構成されたＨＢＴ１５ａ及び１５ｂを有し、これらのＨＢＴと同一構成材料からなる積層体１６において、各ＨＢＴのベースに接続されたベース構成材料層５と、ベース信号入力端子電極に相当するエミッタ構成材料層上のエミッタ電極９との間に、ベース構成材料によるベースバラスト抵抗１３と、エミッタ及びベース構成材料からなる逆方向ダイオードによる容量１４とが並列に接続されることによって、並列の複数のＨＢＴの熱暴走を防止する構造を素子面積の縮小の下で容易に作製することができる。 （もっと読む）

【課題】 ヘテロ接合半導体素子と別の半導体素子とが同一基板上に集積され、かつ、この別の半導体素子の電極取り出し構造が改良された半導体装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 前記別の半導体素子の一例である抵抗素子２０を構成する抵抗層１１を、イオン注入法または不純物拡散法によって半絶縁性基板１内に形成する。次に、サブコレクタ層２、コレクタ層３、ベース層４、エミッタ層５、そしてエミッタキャップ層６の構成材料層を、基板１の全面にエピタキシャル成長法によって形成する。次に、これらの一部をメサ構造に加工して、ＨＢＴ１０を形成する。一方、抵抗素子２０の素子電極１４、１５を高い位置で取り出すための導電層１２、１３を、サブコレクタ層２の構成材料層４２のパターニングによって形成し、素子電極１４、１５をこの上に形成する。次に、ＢＣＢなどの平坦化膜３０を形成し、これを介して配線３１、３２を形成する。 （もっと読む）