【課題】レーザチャンバ内の全ガス交換の回数を抑制する。
【解決手段】このエキシマレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第１レーザガスを収容した第１容器と、第１レーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第２レーザガスを収容した第２容器と、に接続され、第１レーザガス及び第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給を行うガス供給部を含んでもよい。そして、ガス供給部による第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気のいずれかを行うガス圧制御と、ガス供給部による第１レーザガス及び第２レーザガスのレーザチャンバの内部への供給、及び、ガス排気部によるレーザチャンバの内部のガスの部分的な排気の両者を行う部分ガス交換制御と、を選択的に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】種レーザ光生成部と、光増幅部とを有するＭＯＰＡ方式レーザ光源装置を用い、発振形態をパルス発振あるいは連続発振に切り替えることを可能した前記光源装置のレーザ出力において、連続発振からパルス発振に切り替えた直後の出力レーザ光の第１ピークパワーが、適切に制御されるようにしたＭＯＰＡ方式レーザ光源装置を提供する。
【解決手段】種レーザ光を生成するための種レーザ光源と、前記種レーザ光を増幅するための光増幅器と、種レーザ光源を制御するための制御部とを有し、前記制御部により、種レーザ光源におけるパルス発振状態と連続発振状態の切り替えを制御するとともに、パルス発振状態と連続発振状態とで種レーザ光の平均パワーを異ならせるように制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】スペクトル線幅を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、出力するレーザ光のスペクトル線幅を調節可能なレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器に入射する前記レーザ光の光強度を調節可能な減衰部と、を備えてもよい。前記減衰部は、レーザ光の入射位置に依存して透過率が変化する可変アッテネータと、前記レーザ光の入射位置が変化するように前記可変アッテネータを移動させる移動機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】産業アプリケーションに適する全ファイバ型チャープパルス増幅レーザシステムを構築する。
【解決手段】モジュール式超高速パルスレーザシステムは、モジュールとして構築され、個々に予備テストされた構成要素で組み立てられる。個々のモジュールは、発振器、前置増幅器とパワー増幅器ステージ、非線形増幅器、及び伸長器と圧縮器を含む。個々のモジュールは、一般的に単純なファイバスプライスによって接続される。 （もっと読む）

【課題】光強度を向上したレーザ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】第１のレーザと、第２のレーザと、外部共振器と、制御部と、を備えたレーザ装置が提供される。前記第１のレーザは、第１のレーザ光を出射する。前記第２のレーザは、第２のレーザ光を出射する。前記外部共振器は、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光とが入射される。前記制御部は、前記外部共振器の共振波長を制御して前記第１のレーザ光に共振させ、前記第２のレーザを制御して前記第２のレーザ光を前記外部共振器に共振させる。 （もっと読む）

【課題】大きなエネルギーを持ったレーザを出力することなく且つ高精度に温度チューニングを行う。
【解決手段】温度チューニング中は、まず、第二高調波発生素子（４）の温度を最適温度近傍から外した温度にした状態で第三高調波発生素子（５）の温度をスイープして第三高調波発生素子（５）の最適温度Ｔｔｐを求める。次に、第三高調波発生素子（５）の温度を最適温度近傍から外した温度にした状態で第二高調波発生素子（４）の温度をスイープして第二高調波発生素子（４）の最適温度Ｔｓｐを求める。
【効果】温度チューニング中に大きなエネルギーのレーザがレーザ照射対象物などに不要に照射されてしまうことがなくなる。温度チューニング中の出力の変化範囲を大きくすることが出来るため、精度の高い温度チューニングを行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】 所望のパワーの光を出力することができる増幅用光ファイバ、及び、それを用いた光ファイバ増幅器及び共振器を提供する。
【解決手段】 コア５１と、コア５１を被覆するクラッド５２とを有する増幅用光ファイバ５０であって、コア５１は、所定の波長の光を少なくともＬＰ０１モード、及び、ＬＰ０２モード、及び、ＬＰ０３モードで伝播し、コア５１には、ＬＰ０１モード及びＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードをパワーで規格化する場合における、ＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードの少なくとも一方の強度がＬＰ０１モードの強度よりも強い領域のうち、前記ＬＰ０１モードの強度が前記ＬＰ０２モード及び前記ＬＰ０３モードの強度よりも強い領域よりも外周側の領域の少なくとも一部に、所定の波長の光を誘導放出する活性元素が、ＬＰ０１モードの強度がＬＰ０２モード及びＬＰ０３モードの強度よりも強い領域の少なくとも一部よりも高い濃度で添加される。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス性に優れ、耐久性及び信頼性の向上したレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のレーザ加工装置１は、所定波長の励起光を出力する複数の半導体レーザから射出される励起光を合波して増幅し、増幅されたレーザ光を出力する光学部２Ａと、複数の半導体レーザの出力を制御する制御部２Ｂと、光学部２Ａから発生する熱を冷却する冷却ファンを具備した冷却部２Ｃと、を収容した光学ユニット用筐体２と、光学部２Ａに対して電源供給する光学部用電源５Ａと、冷却部２Ｃの冷却ファンに対して電源供給する冷却部用電源５Ｃと、制御部２Ｂに対して電源供給する制御部用電源５Ｂと、を収容し、光学ユニット用筐体２に対して電気的に接続可能な電源ユニット用筐体５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】波長変換装置は、入射する第１のレーザ光を第２のレーザ光に波長変換して出力する波長変換部と、前記波長変換部を当該波長変換部の少なくとも１つの面側から冷却する冷却機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】信号光の反射戻り光に起因する共振動作を確実に低減できる広い利得帯域を持った光増幅装置を提供する。
【解決手段】光増幅装置１は、入力光ファイバ１２からの信号光を光増幅媒体に導き、該光増幅媒体で増幅した信号光を出力光ファイバ１３に出力する光学系を備え、該光学系が、光増幅媒体を介して配置された第１および第２の光アイソレータ１５，１７を含む。各光アイソレータは、信号光と同一方向に伝播する光を透過し、逆方向に伝播する光を遮断することがそれぞれ可能で、逆方向に伝播する光に対するアイソレーションの中心波長が互いに異なっている。第１および第２の光アイソレータ１５，１７を組み合わせによって、光増幅媒体の利得帯域よりも広いアイソレーション帯域が得られるため、信号光の反射戻り光が各光アイソレータによって確実に遮断される。 （もっと読む）

【課題】低コスト化及び小型化を図りながら、レーザ光の波長及び光強度を安定化できるレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源装置１は、電流が供給されることで励起光Ｌ１を出射する励起用光源１０と、励起用光源１０からの励起光Ｌ１を受けてレーザ光Ｌ２を生成する共振器２０と、レーザ光源装置１から出射されるレーザ光の光強度を可変とする光学素子８１を有する光強度変更装置８０と、当該レーザ光源装置１から出射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出装置７０と、励起用光源１０及び光学素子８１を制御する制御装置６０とを備える。制御装置６０は、光強度検出装置７０の検出結果に基づいて、励起用光源１０に供給する電流値を制御する光源制御手段と、光強度検出装置７０の検出結果に基づいて、光学素子８１を制御する素子制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】出射するレーザ光の副波長帯成分を低減することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１０は、信号用レーザ光を出射する種光源２１と信号用レーザ光を増幅する予備増幅部２２とを備えた本体ユニット１１と、本体ユニット１１に接続され、予備増幅部２２にて増幅された予備増幅光を伝送するファイバケーブル１２（伝送用ファイバ３７）と、ファイバケーブル１２に接続され、該ファイバケーブル１２にて伝送されたレーザ光Ｌを外部に出射するレーザ出射部１３ａを有するヘッドユニット１３とを備える。そして、ヘッドユニット１３には、レーザ光Ｌの光軸上のファイバケーブル１２の出射側端部とレーザ出射部１３ａとの間にバンドパスフィルタ４８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】マスタクロックジェネレータと、光発振器と、光増幅器と、前記光増幅器に光学的に接続された励起半導体レーザと、前記励起半導体レーザの駆動部と、制御部が備えられた高パワーパルス光発生装置において、出力パルス光の安定化を図る。特にＯＦＦ状態からＯＮ状態に切り替えた直後の出力パルス光のパルスパワーの変動を防ぐ。
【解決手段】前記駆動部を駆動するためのパルス状駆動電流のパルス幅を変化させて、励起半導体レーザから出力される励起用パルス光のパルス幅を変化させ、これにより前記光増幅器のパルスごとの利得を制御する。特に、出力パルス光出射直前の光増幅器の利得を、ＯＮ状態の定常時における光増幅器の最大利得に近づけるように制御する。 （もっと読む）

【課題】１パルスのレーザ光における特定時間のエネルギーを低減する。
【解決手段】任意に発生した１パルスのパルスレーザ光の強度を調整するためのレーザ用アッテネータ３であって、パルスレーザ光の光路上にクロスニコルに配置された第１及び第２の偏光ビームスプリッタ１１Ａ，１１Ｂと、第１及び第２の偏光ビームスプリッタ１１Ａ，１１Ｂの間に配置され、電圧の印加により内部を通過するレーザ光の偏光面を回転させる第１及び第２のポッケルスセル１２Ａ，１２Ｂと、第１及び第２のポッケルスセル１２Ａ，１２Ｂに対する印加電圧値及び印加タイミングを制御する制御部１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 所望のパワーの光を出力することができる増幅用光ファイバ、及び、それを用いた光ファイバ増幅器及び共振器を提供する。
【解決手段】 コア５１と、コア５１を被覆するクラッド５２とを有する増幅用光ファイバ５０であって、コア５１は、所定の波長の光を少なくともＬＰ０１モード及びＬＰ０３モードで伝播し、コア５１には、ＬＰ０１モード及びＬＰ０３モードをパワーで規格化する場合におけるＬＰ０３モードの強度が、ＬＰ０１モードの強度よりも強い領域の少なくとも一部において、所定の波長の光を誘導放出する活性元素が、ＬＰ０１モードの強度がＬＰ０３モードの強度よりも強い領域の少なくとも一部よりも高い濃度で添加される。 （もっと読む）

【課題】
電気光学素子に印加する電圧を経時的に変化させ、レーザ光のパルス幅を伸長し、出力されるパルスレーザのピークエネルギーを低下させることができるパルスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】
印加された電圧に応じて光を偏光する電気光学素子６と、前記電気光学素子６に電圧を印加するとともに電圧を制御する電圧制御装置７とを備えたパルスレーザ発振器であって、前記電圧制御装置７によって前記電気光学素子６に印加する電圧を経時的に変化させ、レーザ光のパルス幅を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】
複数の電気光学素子に印加する電圧を経時的にそれぞれ変化させ、レーザ光のパルス幅を伸長し、出力されるパルスレーザのピークエネルギーを低下させることができるパルスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】
印加された電圧に応じて光を偏光する複数の電気光学素子６ａ，６ｂと、前記複数の電気光学素子６ａ，６ｂの個々に電圧を印加するとともに電圧を制御する電圧制御装置７とを備えたパルスレーザ発振器であって、前記電圧制御装置７によって、前記複数の電気光学素子６ａ，６ｂの個々に印加する電圧を経時的にそれぞれ変化させ、レーザ光のパルス幅を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】設定が容易なレーザ発振器、レーザ発振器の出力制御方法、及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ１０において生成されるパルス状のレーザ光に、励起レーザ２１，３１において生成される励起レーザ光を結合させることによりレーザ１０において生成されるレーザ光を増幅するとともに、その増幅量が変更可能とされた増幅器４０を備えたレーザ発振器において、レーザ１０において生成されるレーザ光のパルスのデューティが変更可能とされており、設定されたデューティを基にレーザ１０へ供給する電流値を調節することにより、いずれのデューティに設定されてもレーザ１０において生成されるレーザ光の出力パワーが一定レベルとなるように補正する制御部３を備えたことを特徴とするレーザ発振器。 （もっと読む）

【課題】出力光のパワー制御を安定的に行うことができるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、波長が紫外領域のＵＶレーザ光を出力するＵＶ光出力部Ｉと、波長が可視〜赤外領域のＶＩＲレーザ光を出力するＶＩＲ光出力部II,IIIと、ＵＶ光出力部Ｉから出力されたＵＶレーザ光とＶＩＲ光出力部から出力されたＶＩＲレーザ光とから、波長変換により波長がＵＶレーザ光よりも短いＤＵＶレーザ光を発生して出力するＤＵＶ光変換部IVと、ＵＶ光出力部及びＶＩＲ光出力部の作動を制御する制御部８とを備える。制御部８は、ＤＵＶレーザ光のパワーを変化させるときに、ＵＶレーザ光のパワーを略一定とし、ＶＩＲレーザ光のパワーを変化させる制御を行うように構成される。 （もっと読む）

【課題】温度／出力補正を精度よく行って、安定したレーザ出力を得ることができるファイバレーザ発振器及びファイバレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ電源のオフ→オン時の筐体温度の変化による出力変動と、周囲温度の変化による出力変動とが、それぞれ同じ温度特性となるような位置に温度センサ２２を配置し、この配置状態下において温度センサ２２の値をモニタして温度補正テーブルを作成する。温度センサ２２の配置例としては、例えばレーザ媒質やその周辺、励起半導体レーザ１１やその周辺、ベース１９の面などがある。そして、レーザマーキング装置の動作時、この温度補正テーブルを用いて励起半導体レーザ１１を制御することにより、実レーザ出力を温度変動によらず目標レーザ出力に近づける。 （もっと読む）