半導体集積回路のテスト回路及び方法
【課題】ウェハ上の単一チップに形成された貫通ビアの不良の可否をテストすることができ、またパッケージングされた半導体集積回路に形成された貫通ビアの不良の可否をテストすることができる半導体集積回路のテスト回路及び方法を提供する。
【解決手段】半導体集積回路のテスト回路1は貫通ビア100、電圧駆動部200及び判定部300を含む。前記貫通ビア100は入力電圧V1を受信する。前記電圧駆動部200は前記貫通ビア100と連結されて前記入力電圧V1を受信し、テスト制御信号EN_P,EN_Nに応答して前記入力電圧V1のレベルを変化させてテスト電圧VTを生成する。前記判定部300は前記入力電圧V1及び前記テスト電圧VTを比較して結果信号を出力する。
【解決手段】半導体集積回路のテスト回路1は貫通ビア100、電圧駆動部200及び判定部300を含む。前記貫通ビア100は入力電圧V1を受信する。前記電圧駆動部200は前記貫通ビア100と連結されて前記入力電圧V1を受信し、テスト制御信号EN_P,EN_Nに応答して前記入力電圧V1のレベルを変化させてテスト電圧VTを生成する。前記判定部300は前記入力電圧V1及び前記テスト電圧VTを比較して結果信号を出力する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体集積回路に関し、より詳しくは、半導体集積回路のテスト回路及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路の集積度を高めるために、単一パッケージの内に複数個のチップを積層して、これをパッケージングして集積度を高める方式である3D(3−Dimensional)半導体集積回路が開発された。3D半導体集積回路は、2つまたはその以上のチップを垂直に積層することによって同一の空間で最大の集積度を行うことができる。
【0003】
3D半導体集積回路を具現するために多様な方式が存在する。その中の一つは、同じ構造を有するチップを複数個積層して、積層されたチップを金属線のようなワイヤーで連結することによって単一の半導体集積回路として動作させることである。
【0004】
最近では、積層された複数個のチップをビア(via)で貫通させて、あらゆるチップを電気的に連結する貫通ビア(through via)方式が使われている。貫通ビアを用いた半導体集積回路は、それぞれのチップを垂直に貫通して連結するので、ワイヤーを用いてそれぞれのチップを連結する半導体集積回路よりも、パッケージの面積をより效率的に減少させることができる。
【0005】
貫通ビアは、パッケージング工程で形成されて積層されるあらゆるチップを並列で連結することが一般的であるが、特に、積層されるチップを直列に連結するために、単一チップの製造工程であらかじめ形成されることができる。例えば、図1に図示されるように、単一チップの製造工程で貫通ビアがあらかじめ生成される場合、第1チップの貫通ビア(TSV)と第1チップの内部回路とを連結させ、第2チップの貫通ビア(TSV)と第2チップの内部回路とを連結させる。この後、パッケージング工程で前記第1及び第2チップを積層しながら、前記第1チップの貫通ビアをバンプを通して前記第2チップの内部回路と連結することによって、第1チップの内部回路、第1チップの貫通ビア、第2チップの内部回路及び第2チップの貫通ビアの順序で直列の連結を形成することができる。
【0006】
貫通ビアが、正確に形成されているのかの可否を判断するために、電流漏洩(Leakage)テストを主に使えるが、このテストは、複数個のチップが積層されてパッケージングされた後に遂行されるのが一般的である。しかし、先に説明した直列または並列に連結するための貫通ビアの場合、単一チップの製造工程から形成されることができるので、ウェハ状態で、貫通ビアが正常的に形成されているのかに対するテストが要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】米国特許第7863106号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は、上記のような問題点を解決するために、ウェハ上の単一チップに形成された貫通ビアの不良の可否をテストすることができ、また、パッケージングされた半導体集積回路に形成された貫通ビアの不良の可否をテストすることができる半導体集積回路のテスト回路及び方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一態様による半導体集積回路のテスト回路は、入力電圧を受信する貫通ビアと、該貫通ビアに連結されて前記入力電圧を受信し、テスト制御信号に応答して前記入力電圧のレベルを変化させてテスト電圧を生成する電圧駆動部と、前記入力電圧及び前記テスト電圧を比較して結果信号を出力する判定部と、を備える。
【0010】
本発明の他の態様による半導体集積回路は、入力電圧を受信する第1チップの貫通ビアと、該第1チップの貫通ビアに連結され、前記入力電圧のレベルを変化させて第1チップのテスト電圧を生成する第1チップの電圧駆動部と、前記入力電圧及び前記第1チップのテスト電圧を比較して第1チップの結果信号を生成する第1チップの判定部を備えた第1チップと、前記第1チップの貫通ビアに電気的に連結されて前記入力電圧を受信する第2チップの貫通ビアと、該第2チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧を受信し、前記入力電圧のレベルを変化させて第2チップのテスト電圧を生成する第2チップの電圧駆動部と、前記入力電圧及び前記第2チップのテスト電圧を比較して第2チップの結果信号を生成する第2チップの判定部を備えた第2チップと、を備える。
【0011】
また、本発明の他の態様による半導体集積回路のテスト方法は、入力電圧を印可して貫通ビアに電荷を充電する段階と、前記貫通ビアへ充電された電荷を第1時間充電または放電して第1テスト電圧を生成する段階と、前記入力電圧及び前記第1テスト電圧のレベルを比較して第1結果信号を生成する段階と、前記第1テスト電圧で充電された前記貫通ビアを第2時間充電または放電して第2テスト電圧を生成する段階と、前記入力電圧及び前記第2テスト電圧のレベルを比較して第2結果信号を生成する段階を含む。
【発明の効果】
【0012】
本発明によると、ウェハ上の単一チップに形成されたTSVのテストを遂行してパッケージングの以前に不良チップを選別することができるので、製造費用を減少させて、製造収率を向上させることができる。
また、本発明によって不良のTSVに対する正確なテストを遂行することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】半導体集積回路を構成する複数個のチップが積層される過程を概略的に示す図である。
【図2】本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路の構成を概略的に示す図である。
【図3】図2のテスト回路の実施形態の構成を概略的に示す図である。
【図4A】正常な貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図4B】物理的または電気的にオープンにされた貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図4C】ビア及び伝導物質が正常より多く形成されたラージ貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図4D】半導体集積回路を構成する異なる回路と微細なマイクロブリッジが形成されて電流漏洩を発生させるマイクロブリッジ貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図5】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された正常な貫通のビアのテスト結果の一例を示すタイミング図である。
【図6】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された不良貫通ビアのテスト結果の例示を示すタイミング図である。
【図7】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された不良貫通ビアのテスト結果の例示を示すタイミング図である。
【図8】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された不良貫通ビアのテスト結果の例示を示すタイミング図である。
【図9】本発明の実施形態によるテスト回路を含む複数個のチップが積層された半導体集積回路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
図2は本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1の構成を概略的に示す図である。図2において、半導体集積回路のテスト回路1は、貫通ビア100、電圧駆動部200及び判定部300を備えている。貫通ビア100は、一つのチップを貫通して形成され、異なるチップと前記チップとを電気的に連結させる。貫通ビア100は、絶縁物質で囲まれたビア(silicon via)に伝導物質が埋められているので、貫通ビア100が他のチップと電気的に連結されていない場合、貫通ビア100はあたかもキャパシタのように動作する。貫通ビア100は、半導体集積回路のテストのために入力電圧(VI)を受信する。
【0015】
電圧駆動部200は、貫通ビア100から伝送された入力電圧VIを受信して、入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成する。電圧駆動部200は、テスト制御信号EN_P、EN_Nに応答して入力電圧VIのレベルを変化させる。テスト動作の効率性及び正確性を向上させるために、テスト制御信号は、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2(図5参照)を含む。第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、テスト動作を知らせるテストモード信号TMから生成することができる。または、フューズ信号や半導体集積回路のモードレジスターセットで使われる信号から生成することができる。第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、互い異なるタイミングでアクティブとされるのが望ましい。また、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、互い異なるパルス幅を有するのが望ましい。上記のように、互いに異なるタイミングで生成され、互い異なるパルス幅を有する前記第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2により多様な方式のテストが遂行できる。
【0016】
図2において、電圧駆動部200は、プルアップドライバー210及びプルダウンドライバー220のうち1つまたはそれ以上を備えることができる。プルアップドライバー210は、テスト制御信号EN_P1、EN_P2に応答して貫通ビア100から伝送された入力電圧VIを入力電圧より高い電圧レベルで駆動し、プルダウンドライバー220は、テスト制御信号EN_N1、EN_N2に応答して、前記入力電圧VIを入力電圧より低いレベルの電圧で駆動する。入力電圧VIが高電圧、すなわち、論理ハイレベルの場合、電圧駆動部200は、プルダウンドライバー220を通して入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成し、入力電圧VIが低電圧、すなわち、論理ローレベルの場合、プルアップドライバー210を通して入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成する。図2において、プルアップドライバー210は、入力電圧VIを外部電圧VDDレベルで駆動して、プルダウンドライバー220は、入力電圧VIを接地電圧VSSレベルで駆動することを例示する。
【0017】
判定部300は、入力電圧VI及びテスト電圧VTを受信する。判定部300は、入力電圧VI及びテスト電圧VTを比較して、結果信号OUTを出力する。例えば、判定部300は、入力電圧VI及びテスト電圧VTの論理レベルが同じである場合、結果信号OUTをディスエーブルにさせ、入力電圧VI及びテスト電圧VTの論理レベルが異なる場合、結果信号OUTをイネーブルにさせることができる。前述の構成のように、本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1は、貫通ビア100を望みのレベルの入力電圧VIで充電して、貫通ビア100から伝送される前記入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成して、入力電圧VI及びテスト電圧VTのレベルを比較することによって、貫通ビア100の正常有無を判別することができる。
【0018】
図2において、テスト回路1は、テストモード信号TMに応答して、入力電圧VIを貫通ビア100へ伝送するバッファー部400をさらに備えている。バッファー部400は、テストモード信号TMがアクティブの区間の間、入力電圧VIを提供する。したがって、バッファー部400は、テストモード信号TMに応答して、貫通ビア100を入力電圧VIレベルで充電する。
【0019】
図2において、テスト回路1は、出力部500をさらに備えてもよい。出力部500は、テストモード信号TMに応答して、入力電圧VI及び結果信号OUTのうち1つを出力する。出力部500は、テスト回路1を通して、半導体集積回路がテスト動作の中である時は結果信号OUTを出力する。テスト動作が終了になれば、出力部500は、入力電圧VIを出力して入力電圧VIが半導体集積回路に含まれる多様な内部回路で使われることができるようにする。または、出力部500は、テスト動作が終了になれば、結果信号OUTのレベルを一定のレベルで固定するように構成することができる。
【0020】
図3は、図2のテスト回路1の実施形態の構成を概略的に示す図である。バッファー部400は、テストモード信号TMに応答して、入力電圧VIを第1ノードND1へ印可して貫通ビア100を充電する。
【0021】
図3において、電圧駆動部200のプルアップドライバー210は、第1PMOSトランジスターP1で例示し、プルダウンドライバー220は、第1NMOSトランジスターN1で例示する。第1PMOSトランジスターP1は、ゲート端にテスト制御信号EN_Pを受信し、ソース端に外部電圧VDDを受信し、ドレーン端が第1ノードND1と連結される。第1NMOSトランジスターN1は、ゲート端にテスト制御信号EN_Nを受信し、ソース端が接地電圧VSSと連結され、ドレーン端が前記第1ノードND1と連結される。したがって、前記第1PMOSトランジスターP1は、入力電圧VIがローレベルの電圧である時、テスト制御信号EN_Pに応答して第1ノードND1の入力電圧VIレベルを外部電圧VDDレベルで駆動してテスト電圧VTを生成する。反対に、第1NMOSトランジスターN1は、入力電圧VIがハイレベルである時、テスト制御信号EN_Nに応答して第1ノードND1の入力電圧VIのレベルを接地電圧VSSレベルで駆動してテスト電圧VTを生成する。
【0022】
一方、図3に図示されたように、プルアップドライバー210及びプルダウンドライバー220は、各々抵抗素子RU、RDをさらに備えてもよい。抵抗素子RU、RDは、プルアップドライバー210の駆動力及びプルダウンドライバー220の駆動力を調節するために備えられている。また、前記第1PMOSトランジスター及び第1NMOSトランジスターP1、N1のサイズ調節を通しても、プルアップドライバー及びプルダウンドライバー210、220の駆動力の調節は可能である。
【0023】
また、図3において、テスト回路1は、テスト電圧VT及び入力電圧VIを受信して差動増幅する差動増幅器(不図示)をさらに備えてもよい。差動増幅器は、テスト電圧VTと入力電圧VIとを比較してテスト電圧VTをハイレベルまたはローレベルに増幅するので、判定部300の論理演算を易しくする。したがって、差動増幅器を使用する場合、さらに正確なテスト結果を生成することができる。また、差動増幅器は、判定部300の代わりに使うこともできる。
【0024】
図3において、判定部300は、エックスオアゲート(XOR)を含むことと例示する。エックスオアゲート(XOR)は、第1ノードND1からテスト電圧VT及び入力電圧VIを受信する。したがって、エックスオアゲート(XOR)は、テスト電圧VTと入力電圧VIとの論理レベルが同じである場合、結果信号OUTをディスエーブルにさせ、テスト電圧VTと入力電圧VIとの論理レベルが同一でない場合には結果信号OUTをイネーブルにさせることができる。
【0025】
図4Aないし図4Dは、正常な貫通ビア及び多様な種類の不良貫通ビアと連結したテスト回路を示す図である。図4Aないし図4Dでは、正常に形成された貫通ビア(図4A)、物理的または電気的にオープンにされた貫通ビア(Open TSV)(図4B)、ビア及び伝導物質が正常より多く形成されたラージ貫通ビア(Large TSV)(図4C)及び半導体集積回路を構成する異なる回路と微細なマイクロブリッジが形成されて電流漏洩を発生させるマイクロブリッジ貫通ビア(Micro Bridge TSV)(図4D)が図示されている。本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1は、多様な種類の貫通ビアの不良をすべて検出することができるように構成されている。
【0026】
図5ないし図8は本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1の動作を示すタイミング図である。図5ないし図8を参照して本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1の動作を説明すると、次の通りである。
【0027】
まず、図5は正常な貫通ビアのテスト結果を示すタイミング図である。テストモード信号TMに応答して半導体集積回路のテスト動作が行われる。テストモード信号TMがイネーブルにされるとバッファー部400はアクティブになって入力電圧VIを貫通ビア100へ伝送する。入力電圧VIがハイレベルの電圧である場合(a)をまず説明する。
【0028】
テストモード信号TMに応答して、入力電圧VIが貫通ビア100へ伝送されると、貫通ビア100は、入力電圧VIで充電される。この後、第1テスト制御信号EN_N1がイネーブルにされると、プルダウンドライバー220の第1NMOSトランジスターN1がターンオンされ、第1ノードND1の電圧レベル、すなわち、入力電圧VIのレベルを接地電圧VSSのレベルに下降させる。この時、第1テスト制御信号EN_N1がイネーブルにされる区間は、正常な貫通ビア100が入力電圧VIで充電され、第1テスト制御信号EN_N1により放電されても、第1テスト電圧(VT1、第1テスト制御信号EN_N1により下降になって生成されたテスト電圧TVを指し示す。)が基準電圧(Vth、通常、外部電圧VDDと接地電圧VSSとの1/2レベル)以上のレベルを維持して論理ハイで判別することができるように設定されている。すなわち、第1テスト制御信号EN_P1による放電がおきても、第1テスト電圧VT1はハイレベルになるように設定する。この時、第1テスト電圧VT1は、入力電圧VIと同じ論理値を有するので判定部300はディスエーブルされた結果信号OUTを出力する。
【0029】
この後、第2テスト制御信号EN_N2がイネーブルにされると、第1NMOSトランジスターN1が再びターンオンし、第1ノードND1の電圧レベルを再び接地電圧VSSのレベルに下降させる。第2テスト制御信号EN_N2がイネーブルにされる区間は第1テスト制御信号EN_N1によって下降された第1テスト電圧TV1のレベルが基準電圧Vth以下のレベルで下降されて論理ローで判別されることができるように設定される。したがって、第1ノードND1の第2テスト電圧(VT2、第1テスト電圧VT1が第2テスト制御信号EN_N2により下降されて生成されたテスト電圧VTを指し示す。)はローレベルであるので、判定部300は、イネーブルにされた結果信号OUTを出力する。
【0030】
反対に、入力電圧VIがローレベルの電圧で印可される場合(b)、貫通ビア100は、ローレベルの電圧で充電される。第1テスト制御信号EN_P1がイネーブルにされると、プルアップドライバー210の第1PMOSトランジスターP1がターンオンし、第1ノードND1へ外部電圧VDDが印可される。第1テスト制御信号EN_P1のイネーブル区間は、正常な貫通ビア100がローレベルの電圧で充電され、外部電圧VDDが印可されても第1テスト電圧VT1が論理ローレベルを維持するように設定される。この時、第1テスト電圧VT1は、入力電圧VIと同じ論理レベルを有するので、判定部300は、ディスエーブルにされた結果信号OUTを出力する。
【0031】
この後、第2テスト制御信号EN_P2がイネーブルにされると、第1PMOSトランジスターP1が再びターンオンし、第1ノードND1へ外部電圧VDDを印可して第2テスト電圧VT2のレベルは論理ハイレベルの電圧になる。第2テスト制御信号EN_P2のイネーブル区間は上昇になった第1テスト電圧VT1のレベルが基準電圧Vthの以上のレベルになって論理ハイで判別されることができるように設定される。第2テスト電圧VT2は、入力電圧VIと異なる論理レベルを有するので、判定部300は、イネーブルにされた結果信号OUTを出力する。
【0032】
先に説明した通り、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、互い異なる時点にアクティブにされ、互い異なるパルス幅を有するので、テストの種類及び設計者の意図によって多様に変化させることができる。正常な貫通ビアに対して、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1のイネーブル区間の間放電または充電してもテスト電圧VTが入力電圧VIと同じ論理レベルを維持して、第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2のイネーブル区間の間放電または充電されるとテスト電圧VTが入力電圧VIと異なる論理レベルになる方式で前記テスト制御信号EN_P、EN_Nが設定された場合を例示した。この場合、図4Bないし図4Dに図示された不良貫通ビアのテスト結果は、図5と異なる波形を表すはずである。
【0033】
図6ないし図8は、貫通ビアが不良である場合、本発明の実施形態によるテスト回路によってテストされた結果を示すタイミング図である。図6で、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1がイネーブルにされた区間の間、すでに第1テスト電圧VT1が入力電圧VIと異なるレベルを有する。したがって、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1のイネーブル区間の以後に、判定部300は、ハイレベルの結果信号OUTを出力するようになる。したがって、貫通ビア100が不良であると判別することができる。図6では、貫通ビア100が、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1によって正常な場合より速く接地電圧に放電されたり、外部電圧に充電されることを図示する。したがって、貫通ビア100は、正常な貫通ビアでなく、図4Bと同じようにオープンになった貫通ビア(Open TSV)と判別することができる。
【0034】
また、図7に図示されたように、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2のイネーブル区間がすべて過ぎた後でもテスト電圧VTのレベルが入力電圧VIのレベルと変わらない場合、貫通ビア100が非常に大きい容量を有することと判断されることができるので、貫通ビア100は、図4Cのラージ貫通ビア(Large TSV)であることを分かる。
【0035】
また、図8で図示されたように、入力電圧VIが高電圧であるか低電圧であるかの可否に関係がなくテスト電圧VTのレベルが引続きハイレベルを維持する場合、貫通ビア100は、例えば、外部電圧とマイクロブリッジが形成されたことと判断されることができる。したがって、図8Dと同じ波形を表す貫通ビア100は、図4Dのマイクロブリッジ貫通ビア(Micro Bridge TSV)であることを分かる。
【0036】
前述したように、本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1は、単一チップに形成された貫通ビアの不良の可否及び不良の種類を簡単で正確に確認することができる。
【0037】
図9は、本発明の実施形態による半導体集積回路を図示する。図9において、半導体集積回路2は、本発明の実施形態によるテスト回路1を備えた2つのチップ(第1チップ、第2チップ)を備えている。第1及び第2チップは、垂直に積層されて単一の半導体集積回路でパッケージングすることができる。第1及び第2チップは、各々本発明の実施形態であるテスト回路を備え、第1チップのテスト回路、第1チップの貫通ビア100a、第2チップのテスト回路及び第2チップの貫通ビア100bは、バンプ(BUMP)を通して互い電気的に連結してもよい。第1チップは、第1チップの電圧駆動部200a及び第1チップの判定部300aを備え、第2チップは、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bを備えている。第1及び第2チップが積層されて電気的に連結された時、第1チップの電圧駆動部200aは、非活性化される。すなわち、第1チップのテスト制御信号EN_Pa、EN_Naを活性化しない。第2チップの電圧駆動部200bは、第2チップのテスト制御信号EN_Pb、EN_Nbに応答してアクティブになってテストを遂行することができる。したがって、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bの不良の可否は、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bによって一度に判断することができる。
【0038】
入力電圧VIは、第1チップの貫通ビア100a及びバンプ(BUMP)を通して第2貫通ビア100bに受信される。この時、第1チップの電圧駆動部200aは、非活性化されている。第2チップの電圧駆動部200bは、第2チップのテスト制御信号EN_Pb、EN_Nbに応答して、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bから入力電圧VIを受信して、入力電圧VIを上昇または下降(充電または放電)させて、第2チップのテスト電圧VTbを生成する。また、第2チップの判定部300bは、第2チップのテスト電圧VTbと入力電圧VIとを比較して、第2チップの結果信号OUT2を生成する。したがって、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bのうち1つ以上に不良が存在する場合、テスト結果は正常な結果と異なるように現わすことができる。一方、第1チップの貫通ビア100aがオープン貫通ビア(Open TSV)である場合、第2チップに入力電圧VIが正常に伝達されることができないことがありうるが、このような場合にも本発明の実施形態は、貫通ビアが不良である情報を有する結果信号を生成することができる。
【0039】
第1チップ及び第2チップが積層される以前では、第1チップの貫通ビア100aのテストは第1チップの電圧駆動部200a及び第1チップの判定部300aによって遂行される。したがって、第1チップの電圧駆動部200aは、第1貫通ビア100aから入力電圧VIを受信して第1チップテスト電圧VTaを生成し、第1チップのテスト電圧VTa及び入力電圧VIを比較して第1チップの結果信号OUT1を生成する。同じように、第2チップの貫通ビア100bのテストは、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bによって遂行される。第2チップの電圧駆動部200bは、第2貫通ビア100bから入力電圧VIを受信して第2チップのテスト電圧VTbを生成し、第2チップのテスト電圧VTb及び入力電圧VIを比較して第2チップの結果信号OUT2を生成する。したがって、第1チップ及び第2チップが分離された単一のチップで存在する場合は、それぞれのチップの貫通ビアのテストが個別的に遂行されることができる。
【0040】
第1チップ及び第2チップが積層されて単一の半導体集積回路を構成する場合、先に説明した通り第1チップの電圧駆動部200aを非活性化させることによって、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bのテストは、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bによって遂行することができる。
【0041】
このように、本発明の属する技術分野の当業者は、本発明がその技術的思想や必須的特徴を変更せずに、他の具体的な形態で実施され得るということが理解できるであろう。したがって、以上で記述した実施形態は、あらゆる面で例示的なものであり、限定的なものではないものと理解しなければならない。本発明の範囲は、上記の詳細な説明よりは、後述する特許請求の範囲によって表われ、特許請求の範囲の意味および範囲、そして、その等価概念から導き出されるあらゆる変更または変形された形態が本発明の範囲に含まれるものと解析されるべきである。
【符号の説明】
【0042】
100 貫通ビア
200、200a、200b 電圧駆動部
210 プルアップ部
220 プルダウン部
300 判定部
400 バッファー部
500 出力部
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体集積回路に関し、より詳しくは、半導体集積回路のテスト回路及び方法に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路の集積度を高めるために、単一パッケージの内に複数個のチップを積層して、これをパッケージングして集積度を高める方式である3D(3−Dimensional)半導体集積回路が開発された。3D半導体集積回路は、2つまたはその以上のチップを垂直に積層することによって同一の空間で最大の集積度を行うことができる。
【0003】
3D半導体集積回路を具現するために多様な方式が存在する。その中の一つは、同じ構造を有するチップを複数個積層して、積層されたチップを金属線のようなワイヤーで連結することによって単一の半導体集積回路として動作させることである。
【0004】
最近では、積層された複数個のチップをビア(via)で貫通させて、あらゆるチップを電気的に連結する貫通ビア(through via)方式が使われている。貫通ビアを用いた半導体集積回路は、それぞれのチップを垂直に貫通して連結するので、ワイヤーを用いてそれぞれのチップを連結する半導体集積回路よりも、パッケージの面積をより效率的に減少させることができる。
【0005】
貫通ビアは、パッケージング工程で形成されて積層されるあらゆるチップを並列で連結することが一般的であるが、特に、積層されるチップを直列に連結するために、単一チップの製造工程であらかじめ形成されることができる。例えば、図1に図示されるように、単一チップの製造工程で貫通ビアがあらかじめ生成される場合、第1チップの貫通ビア(TSV)と第1チップの内部回路とを連結させ、第2チップの貫通ビア(TSV)と第2チップの内部回路とを連結させる。この後、パッケージング工程で前記第1及び第2チップを積層しながら、前記第1チップの貫通ビアをバンプを通して前記第2チップの内部回路と連結することによって、第1チップの内部回路、第1チップの貫通ビア、第2チップの内部回路及び第2チップの貫通ビアの順序で直列の連結を形成することができる。
【0006】
貫通ビアが、正確に形成されているのかの可否を判断するために、電流漏洩(Leakage)テストを主に使えるが、このテストは、複数個のチップが積層されてパッケージングされた後に遂行されるのが一般的である。しかし、先に説明した直列または並列に連結するための貫通ビアの場合、単一チップの製造工程から形成されることができるので、ウェハ状態で、貫通ビアが正常的に形成されているのかに対するテストが要求される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】米国特許第7863106号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は、上記のような問題点を解決するために、ウェハ上の単一チップに形成された貫通ビアの不良の可否をテストすることができ、また、パッケージングされた半導体集積回路に形成された貫通ビアの不良の可否をテストすることができる半導体集積回路のテスト回路及び方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一態様による半導体集積回路のテスト回路は、入力電圧を受信する貫通ビアと、該貫通ビアに連結されて前記入力電圧を受信し、テスト制御信号に応答して前記入力電圧のレベルを変化させてテスト電圧を生成する電圧駆動部と、前記入力電圧及び前記テスト電圧を比較して結果信号を出力する判定部と、を備える。
【0010】
本発明の他の態様による半導体集積回路は、入力電圧を受信する第1チップの貫通ビアと、該第1チップの貫通ビアに連結され、前記入力電圧のレベルを変化させて第1チップのテスト電圧を生成する第1チップの電圧駆動部と、前記入力電圧及び前記第1チップのテスト電圧を比較して第1チップの結果信号を生成する第1チップの判定部を備えた第1チップと、前記第1チップの貫通ビアに電気的に連結されて前記入力電圧を受信する第2チップの貫通ビアと、該第2チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧を受信し、前記入力電圧のレベルを変化させて第2チップのテスト電圧を生成する第2チップの電圧駆動部と、前記入力電圧及び前記第2チップのテスト電圧を比較して第2チップの結果信号を生成する第2チップの判定部を備えた第2チップと、を備える。
【0011】
また、本発明の他の態様による半導体集積回路のテスト方法は、入力電圧を印可して貫通ビアに電荷を充電する段階と、前記貫通ビアへ充電された電荷を第1時間充電または放電して第1テスト電圧を生成する段階と、前記入力電圧及び前記第1テスト電圧のレベルを比較して第1結果信号を生成する段階と、前記第1テスト電圧で充電された前記貫通ビアを第2時間充電または放電して第2テスト電圧を生成する段階と、前記入力電圧及び前記第2テスト電圧のレベルを比較して第2結果信号を生成する段階を含む。
【発明の効果】
【0012】
本発明によると、ウェハ上の単一チップに形成されたTSVのテストを遂行してパッケージングの以前に不良チップを選別することができるので、製造費用を減少させて、製造収率を向上させることができる。
また、本発明によって不良のTSVに対する正確なテストを遂行することができる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】半導体集積回路を構成する複数個のチップが積層される過程を概略的に示す図である。
【図2】本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路の構成を概略的に示す図である。
【図3】図2のテスト回路の実施形態の構成を概略的に示す図である。
【図4A】正常な貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図4B】物理的または電気的にオープンにされた貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図4C】ビア及び伝導物質が正常より多く形成されたラージ貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図4D】半導体集積回路を構成する異なる回路と微細なマイクロブリッジが形成されて電流漏洩を発生させるマイクロブリッジ貫通ビアに連結したテスト回路を示す図である。
【図5】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された正常な貫通のビアのテスト結果の一例を示すタイミング図である。
【図6】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された不良貫通ビアのテスト結果の例示を示すタイミング図である。
【図7】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された不良貫通ビアのテスト結果の例示を示すタイミング図である。
【図8】本発明の実施形態によるテスト回路によって遂行された不良貫通ビアのテスト結果の例示を示すタイミング図である。
【図9】本発明の実施形態によるテスト回路を含む複数個のチップが積層された半導体集積回路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
図2は本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1の構成を概略的に示す図である。図2において、半導体集積回路のテスト回路1は、貫通ビア100、電圧駆動部200及び判定部300を備えている。貫通ビア100は、一つのチップを貫通して形成され、異なるチップと前記チップとを電気的に連結させる。貫通ビア100は、絶縁物質で囲まれたビア(silicon via)に伝導物質が埋められているので、貫通ビア100が他のチップと電気的に連結されていない場合、貫通ビア100はあたかもキャパシタのように動作する。貫通ビア100は、半導体集積回路のテストのために入力電圧(VI)を受信する。
【0015】
電圧駆動部200は、貫通ビア100から伝送された入力電圧VIを受信して、入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成する。電圧駆動部200は、テスト制御信号EN_P、EN_Nに応答して入力電圧VIのレベルを変化させる。テスト動作の効率性及び正確性を向上させるために、テスト制御信号は、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2(図5参照)を含む。第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、テスト動作を知らせるテストモード信号TMから生成することができる。または、フューズ信号や半導体集積回路のモードレジスターセットで使われる信号から生成することができる。第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、互い異なるタイミングでアクティブとされるのが望ましい。また、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、互い異なるパルス幅を有するのが望ましい。上記のように、互いに異なるタイミングで生成され、互い異なるパルス幅を有する前記第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2により多様な方式のテストが遂行できる。
【0016】
図2において、電圧駆動部200は、プルアップドライバー210及びプルダウンドライバー220のうち1つまたはそれ以上を備えることができる。プルアップドライバー210は、テスト制御信号EN_P1、EN_P2に応答して貫通ビア100から伝送された入力電圧VIを入力電圧より高い電圧レベルで駆動し、プルダウンドライバー220は、テスト制御信号EN_N1、EN_N2に応答して、前記入力電圧VIを入力電圧より低いレベルの電圧で駆動する。入力電圧VIが高電圧、すなわち、論理ハイレベルの場合、電圧駆動部200は、プルダウンドライバー220を通して入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成し、入力電圧VIが低電圧、すなわち、論理ローレベルの場合、プルアップドライバー210を通して入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成する。図2において、プルアップドライバー210は、入力電圧VIを外部電圧VDDレベルで駆動して、プルダウンドライバー220は、入力電圧VIを接地電圧VSSレベルで駆動することを例示する。
【0017】
判定部300は、入力電圧VI及びテスト電圧VTを受信する。判定部300は、入力電圧VI及びテスト電圧VTを比較して、結果信号OUTを出力する。例えば、判定部300は、入力電圧VI及びテスト電圧VTの論理レベルが同じである場合、結果信号OUTをディスエーブルにさせ、入力電圧VI及びテスト電圧VTの論理レベルが異なる場合、結果信号OUTをイネーブルにさせることができる。前述の構成のように、本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1は、貫通ビア100を望みのレベルの入力電圧VIで充電して、貫通ビア100から伝送される前記入力電圧VIのレベルを変化させてテスト電圧VTを生成して、入力電圧VI及びテスト電圧VTのレベルを比較することによって、貫通ビア100の正常有無を判別することができる。
【0018】
図2において、テスト回路1は、テストモード信号TMに応答して、入力電圧VIを貫通ビア100へ伝送するバッファー部400をさらに備えている。バッファー部400は、テストモード信号TMがアクティブの区間の間、入力電圧VIを提供する。したがって、バッファー部400は、テストモード信号TMに応答して、貫通ビア100を入力電圧VIレベルで充電する。
【0019】
図2において、テスト回路1は、出力部500をさらに備えてもよい。出力部500は、テストモード信号TMに応答して、入力電圧VI及び結果信号OUTのうち1つを出力する。出力部500は、テスト回路1を通して、半導体集積回路がテスト動作の中である時は結果信号OUTを出力する。テスト動作が終了になれば、出力部500は、入力電圧VIを出力して入力電圧VIが半導体集積回路に含まれる多様な内部回路で使われることができるようにする。または、出力部500は、テスト動作が終了になれば、結果信号OUTのレベルを一定のレベルで固定するように構成することができる。
【0020】
図3は、図2のテスト回路1の実施形態の構成を概略的に示す図である。バッファー部400は、テストモード信号TMに応答して、入力電圧VIを第1ノードND1へ印可して貫通ビア100を充電する。
【0021】
図3において、電圧駆動部200のプルアップドライバー210は、第1PMOSトランジスターP1で例示し、プルダウンドライバー220は、第1NMOSトランジスターN1で例示する。第1PMOSトランジスターP1は、ゲート端にテスト制御信号EN_Pを受信し、ソース端に外部電圧VDDを受信し、ドレーン端が第1ノードND1と連結される。第1NMOSトランジスターN1は、ゲート端にテスト制御信号EN_Nを受信し、ソース端が接地電圧VSSと連結され、ドレーン端が前記第1ノードND1と連結される。したがって、前記第1PMOSトランジスターP1は、入力電圧VIがローレベルの電圧である時、テスト制御信号EN_Pに応答して第1ノードND1の入力電圧VIレベルを外部電圧VDDレベルで駆動してテスト電圧VTを生成する。反対に、第1NMOSトランジスターN1は、入力電圧VIがハイレベルである時、テスト制御信号EN_Nに応答して第1ノードND1の入力電圧VIのレベルを接地電圧VSSレベルで駆動してテスト電圧VTを生成する。
【0022】
一方、図3に図示されたように、プルアップドライバー210及びプルダウンドライバー220は、各々抵抗素子RU、RDをさらに備えてもよい。抵抗素子RU、RDは、プルアップドライバー210の駆動力及びプルダウンドライバー220の駆動力を調節するために備えられている。また、前記第1PMOSトランジスター及び第1NMOSトランジスターP1、N1のサイズ調節を通しても、プルアップドライバー及びプルダウンドライバー210、220の駆動力の調節は可能である。
【0023】
また、図3において、テスト回路1は、テスト電圧VT及び入力電圧VIを受信して差動増幅する差動増幅器(不図示)をさらに備えてもよい。差動増幅器は、テスト電圧VTと入力電圧VIとを比較してテスト電圧VTをハイレベルまたはローレベルに増幅するので、判定部300の論理演算を易しくする。したがって、差動増幅器を使用する場合、さらに正確なテスト結果を生成することができる。また、差動増幅器は、判定部300の代わりに使うこともできる。
【0024】
図3において、判定部300は、エックスオアゲート(XOR)を含むことと例示する。エックスオアゲート(XOR)は、第1ノードND1からテスト電圧VT及び入力電圧VIを受信する。したがって、エックスオアゲート(XOR)は、テスト電圧VTと入力電圧VIとの論理レベルが同じである場合、結果信号OUTをディスエーブルにさせ、テスト電圧VTと入力電圧VIとの論理レベルが同一でない場合には結果信号OUTをイネーブルにさせることができる。
【0025】
図4Aないし図4Dは、正常な貫通ビア及び多様な種類の不良貫通ビアと連結したテスト回路を示す図である。図4Aないし図4Dでは、正常に形成された貫通ビア(図4A)、物理的または電気的にオープンにされた貫通ビア(Open TSV)(図4B)、ビア及び伝導物質が正常より多く形成されたラージ貫通ビア(Large TSV)(図4C)及び半導体集積回路を構成する異なる回路と微細なマイクロブリッジが形成されて電流漏洩を発生させるマイクロブリッジ貫通ビア(Micro Bridge TSV)(図4D)が図示されている。本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1は、多様な種類の貫通ビアの不良をすべて検出することができるように構成されている。
【0026】
図5ないし図8は本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1の動作を示すタイミング図である。図5ないし図8を参照して本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1の動作を説明すると、次の通りである。
【0027】
まず、図5は正常な貫通ビアのテスト結果を示すタイミング図である。テストモード信号TMに応答して半導体集積回路のテスト動作が行われる。テストモード信号TMがイネーブルにされるとバッファー部400はアクティブになって入力電圧VIを貫通ビア100へ伝送する。入力電圧VIがハイレベルの電圧である場合(a)をまず説明する。
【0028】
テストモード信号TMに応答して、入力電圧VIが貫通ビア100へ伝送されると、貫通ビア100は、入力電圧VIで充電される。この後、第1テスト制御信号EN_N1がイネーブルにされると、プルダウンドライバー220の第1NMOSトランジスターN1がターンオンされ、第1ノードND1の電圧レベル、すなわち、入力電圧VIのレベルを接地電圧VSSのレベルに下降させる。この時、第1テスト制御信号EN_N1がイネーブルにされる区間は、正常な貫通ビア100が入力電圧VIで充電され、第1テスト制御信号EN_N1により放電されても、第1テスト電圧(VT1、第1テスト制御信号EN_N1により下降になって生成されたテスト電圧TVを指し示す。)が基準電圧(Vth、通常、外部電圧VDDと接地電圧VSSとの1/2レベル)以上のレベルを維持して論理ハイで判別することができるように設定されている。すなわち、第1テスト制御信号EN_P1による放電がおきても、第1テスト電圧VT1はハイレベルになるように設定する。この時、第1テスト電圧VT1は、入力電圧VIと同じ論理値を有するので判定部300はディスエーブルされた結果信号OUTを出力する。
【0029】
この後、第2テスト制御信号EN_N2がイネーブルにされると、第1NMOSトランジスターN1が再びターンオンし、第1ノードND1の電圧レベルを再び接地電圧VSSのレベルに下降させる。第2テスト制御信号EN_N2がイネーブルにされる区間は第1テスト制御信号EN_N1によって下降された第1テスト電圧TV1のレベルが基準電圧Vth以下のレベルで下降されて論理ローで判別されることができるように設定される。したがって、第1ノードND1の第2テスト電圧(VT2、第1テスト電圧VT1が第2テスト制御信号EN_N2により下降されて生成されたテスト電圧VTを指し示す。)はローレベルであるので、判定部300は、イネーブルにされた結果信号OUTを出力する。
【0030】
反対に、入力電圧VIがローレベルの電圧で印可される場合(b)、貫通ビア100は、ローレベルの電圧で充電される。第1テスト制御信号EN_P1がイネーブルにされると、プルアップドライバー210の第1PMOSトランジスターP1がターンオンし、第1ノードND1へ外部電圧VDDが印可される。第1テスト制御信号EN_P1のイネーブル区間は、正常な貫通ビア100がローレベルの電圧で充電され、外部電圧VDDが印可されても第1テスト電圧VT1が論理ローレベルを維持するように設定される。この時、第1テスト電圧VT1は、入力電圧VIと同じ論理レベルを有するので、判定部300は、ディスエーブルにされた結果信号OUTを出力する。
【0031】
この後、第2テスト制御信号EN_P2がイネーブルにされると、第1PMOSトランジスターP1が再びターンオンし、第1ノードND1へ外部電圧VDDを印可して第2テスト電圧VT2のレベルは論理ハイレベルの電圧になる。第2テスト制御信号EN_P2のイネーブル区間は上昇になった第1テスト電圧VT1のレベルが基準電圧Vthの以上のレベルになって論理ハイで判別されることができるように設定される。第2テスト電圧VT2は、入力電圧VIと異なる論理レベルを有するので、判定部300は、イネーブルにされた結果信号OUTを出力する。
【0032】
先に説明した通り、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2は、互い異なる時点にアクティブにされ、互い異なるパルス幅を有するので、テストの種類及び設計者の意図によって多様に変化させることができる。正常な貫通ビアに対して、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1のイネーブル区間の間放電または充電してもテスト電圧VTが入力電圧VIと同じ論理レベルを維持して、第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2のイネーブル区間の間放電または充電されるとテスト電圧VTが入力電圧VIと異なる論理レベルになる方式で前記テスト制御信号EN_P、EN_Nが設定された場合を例示した。この場合、図4Bないし図4Dに図示された不良貫通ビアのテスト結果は、図5と異なる波形を表すはずである。
【0033】
図6ないし図8は、貫通ビアが不良である場合、本発明の実施形態によるテスト回路によってテストされた結果を示すタイミング図である。図6で、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1がイネーブルにされた区間の間、すでに第1テスト電圧VT1が入力電圧VIと異なるレベルを有する。したがって、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1のイネーブル区間の以後に、判定部300は、ハイレベルの結果信号OUTを出力するようになる。したがって、貫通ビア100が不良であると判別することができる。図6では、貫通ビア100が、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1によって正常な場合より速く接地電圧に放電されたり、外部電圧に充電されることを図示する。したがって、貫通ビア100は、正常な貫通ビアでなく、図4Bと同じようにオープンになった貫通ビア(Open TSV)と判別することができる。
【0034】
また、図7に図示されたように、第1テスト制御信号EN_P1、EN_N1及び第2テスト制御信号EN_P2、EN_N2のイネーブル区間がすべて過ぎた後でもテスト電圧VTのレベルが入力電圧VIのレベルと変わらない場合、貫通ビア100が非常に大きい容量を有することと判断されることができるので、貫通ビア100は、図4Cのラージ貫通ビア(Large TSV)であることを分かる。
【0035】
また、図8で図示されたように、入力電圧VIが高電圧であるか低電圧であるかの可否に関係がなくテスト電圧VTのレベルが引続きハイレベルを維持する場合、貫通ビア100は、例えば、外部電圧とマイクロブリッジが形成されたことと判断されることができる。したがって、図8Dと同じ波形を表す貫通ビア100は、図4Dのマイクロブリッジ貫通ビア(Micro Bridge TSV)であることを分かる。
【0036】
前述したように、本発明の実施形態による半導体集積回路のテスト回路1は、単一チップに形成された貫通ビアの不良の可否及び不良の種類を簡単で正確に確認することができる。
【0037】
図9は、本発明の実施形態による半導体集積回路を図示する。図9において、半導体集積回路2は、本発明の実施形態によるテスト回路1を備えた2つのチップ(第1チップ、第2チップ)を備えている。第1及び第2チップは、垂直に積層されて単一の半導体集積回路でパッケージングすることができる。第1及び第2チップは、各々本発明の実施形態であるテスト回路を備え、第1チップのテスト回路、第1チップの貫通ビア100a、第2チップのテスト回路及び第2チップの貫通ビア100bは、バンプ(BUMP)を通して互い電気的に連結してもよい。第1チップは、第1チップの電圧駆動部200a及び第1チップの判定部300aを備え、第2チップは、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bを備えている。第1及び第2チップが積層されて電気的に連結された時、第1チップの電圧駆動部200aは、非活性化される。すなわち、第1チップのテスト制御信号EN_Pa、EN_Naを活性化しない。第2チップの電圧駆動部200bは、第2チップのテスト制御信号EN_Pb、EN_Nbに応答してアクティブになってテストを遂行することができる。したがって、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bの不良の可否は、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bによって一度に判断することができる。
【0038】
入力電圧VIは、第1チップの貫通ビア100a及びバンプ(BUMP)を通して第2貫通ビア100bに受信される。この時、第1チップの電圧駆動部200aは、非活性化されている。第2チップの電圧駆動部200bは、第2チップのテスト制御信号EN_Pb、EN_Nbに応答して、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bから入力電圧VIを受信して、入力電圧VIを上昇または下降(充電または放電)させて、第2チップのテスト電圧VTbを生成する。また、第2チップの判定部300bは、第2チップのテスト電圧VTbと入力電圧VIとを比較して、第2チップの結果信号OUT2を生成する。したがって、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bのうち1つ以上に不良が存在する場合、テスト結果は正常な結果と異なるように現わすことができる。一方、第1チップの貫通ビア100aがオープン貫通ビア(Open TSV)である場合、第2チップに入力電圧VIが正常に伝達されることができないことがありうるが、このような場合にも本発明の実施形態は、貫通ビアが不良である情報を有する結果信号を生成することができる。
【0039】
第1チップ及び第2チップが積層される以前では、第1チップの貫通ビア100aのテストは第1チップの電圧駆動部200a及び第1チップの判定部300aによって遂行される。したがって、第1チップの電圧駆動部200aは、第1貫通ビア100aから入力電圧VIを受信して第1チップテスト電圧VTaを生成し、第1チップのテスト電圧VTa及び入力電圧VIを比較して第1チップの結果信号OUT1を生成する。同じように、第2チップの貫通ビア100bのテストは、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bによって遂行される。第2チップの電圧駆動部200bは、第2貫通ビア100bから入力電圧VIを受信して第2チップのテスト電圧VTbを生成し、第2チップのテスト電圧VTb及び入力電圧VIを比較して第2チップの結果信号OUT2を生成する。したがって、第1チップ及び第2チップが分離された単一のチップで存在する場合は、それぞれのチップの貫通ビアのテストが個別的に遂行されることができる。
【0040】
第1チップ及び第2チップが積層されて単一の半導体集積回路を構成する場合、先に説明した通り第1チップの電圧駆動部200aを非活性化させることによって、第1チップの貫通ビア100a及び第2チップの貫通ビア100bのテストは、第2チップの電圧駆動部200b及び第2チップの判定部300bによって遂行することができる。
【0041】
このように、本発明の属する技術分野の当業者は、本発明がその技術的思想や必須的特徴を変更せずに、他の具体的な形態で実施され得るということが理解できるであろう。したがって、以上で記述した実施形態は、あらゆる面で例示的なものであり、限定的なものではないものと理解しなければならない。本発明の範囲は、上記の詳細な説明よりは、後述する特許請求の範囲によって表われ、特許請求の範囲の意味および範囲、そして、その等価概念から導き出されるあらゆる変更または変形された形態が本発明の範囲に含まれるものと解析されるべきである。
【符号の説明】
【0042】
100 貫通ビア
200、200a、200b 電圧駆動部
210 プルアップ部
220 プルダウン部
300 判定部
400 バッファー部
500 出力部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
入力電圧で充電または放電になる貫通ビアと、
テスト制御信号に応答して前記貫通ビアから伝送された前記入力電圧のレベルを変化させてテスト電圧を生成する電圧駆動部と、
前記入力電圧及び前記テスト電圧を比較して結果信号を出力する判定部と、
を備えた半導体集積回路のテスト回路。
【請求項2】
前記貫通ビアを充電または放電させるために、所定時間の間、前記入力電圧を提供するバッファー部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項3】
前記テスト制御信号は、
第1パルス幅を持つ第1テスト制御信号と、
第2パルス幅を持つ第2テスト制御信号と、を含み、
前記第1テスト制御信号及び前記第2テスト制御信号は、互い異なる時点にアクティブとされ、前記第1パルス幅及び前記第2パルス幅は調節可能であることを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項4】
前記電圧駆動部は、前記第1テスト制御信号及び前記第2テスト制御信号に応答して、前記貫通ビアから伝送された前記入力電圧を前記入力電圧より高いレベルの電圧で駆動するプルアップドライバーを備えたことを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項5】
前記電圧駆動部は、前記テスト制御信号に応答して、前記入力電圧を前記入力電圧より低いレベルの電圧で駆動するプルダウンドライバーを備えたことを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項6】
前記判定部は、前記入力電圧及び前記テスト電圧の論理レベルが同じである場合、前記結果信号を非活性化させ、前記入力電圧及び前記テスト電圧の論理レベルが異なる場合、前記結果信号をアクティブにすることを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項7】
前記テスト制御信号に応答して、前記入力電圧及び前記結果信号のうち1つを出力する出力部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項8】
入力電圧を受信する第1チップの貫通ビアと、
該第1チップの貫通ビアに連結され、前記第1チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧のレベルを変化させて第1チップのテスト電圧を生成する第1チップの電圧駆動部と、
前記入力電圧及び前記第1チップのテスト電圧を比較して第1チップの結果信号を生成する第1チップの判定部を備えた第1チップと、
前記第1チップの貫通ビアに電気的に連結されて前記第1チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧を受信する第2チップの貫通ビアと、
該第2チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧を受信し、前記入力電圧のレベルを変化させて第2チップのテスト電圧を生成する第2チップの電圧駆動部と、
前記入力電圧及び前記第2チップのテスト電圧を比較して第2チップの結果信号を生成する第2チップの判定部を備えた第2チップと、
を備えた半導体集積回路。
【請求項9】
前記第1チップの貫通ビア及び第2チップの貫通ビアが電気的に連結された時、前記第1チップの電圧駆動部は非活性化されることを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項10】
前記第1チップの電圧駆動部は、前記入力電圧を前記入力電圧より高いレベルの電圧で駆動するプルアップドライバー及び前記入力電圧を前記入力電圧より低いレベルの電圧で駆動するプルダウンドライバーのうち1つまたはその以上を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項11】
前記第2チップの電圧駆動部は、前記入力電圧を前記入力電圧より高いレベルの電圧で駆動するプルアップドライバー及び前記入力電圧を前記入力電圧より低いレベルの電圧で駆動するプルダウンドライバーのうち1つまたはその以上を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項12】
前記第1チップは、テストモード信号に応答して前記入力電圧及び前記第1チップ結果信号のうち1つを出力する第1チップの出力部を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項13】
前記第2チップは、テストモード信号に応答して前記入力電圧及び前記第2チップの結果信号のうち1つを出力する第2チップの出力部を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項14】
入力電圧を印可して貫通ビアに電荷を充電する段階と、
前記貫通ビアに充電された電荷を第1時間充電または放電して第1テスト電圧を生成する段階と、
前記入力電圧及び前記第1テスト電圧のレベルを比較して第1結果信号を生成する段階と、
前記第1テスト電圧で充電された前記貫通ビアを第2時間充電または放電して第2テスト電圧を生成する段階と、
前記入力電圧及び前記第2テスト電圧のレベルを比較して第2結果信号を生成する段階と、
を含む半導体集積回路のテスト方法。
【請求項15】
前記第1テスト電圧を生成した後、前記入力電圧と前記第1テスト電圧を差動増幅する段階を含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のテスト方法。
【請求項16】
前記第2テスト電圧を生成した後、前記入力電圧と前記第2テスト電圧を差動増幅する段階を含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のテスト方法。
【請求項17】
テスト動作の中に前記第1結果信号及び第2結果信号を出力し、テスト動作の中でない時には、前記第1結果信号及び第2結果信号が出力されるのを遮断することを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のテスト方法。
【請求項1】
入力電圧で充電または放電になる貫通ビアと、
テスト制御信号に応答して前記貫通ビアから伝送された前記入力電圧のレベルを変化させてテスト電圧を生成する電圧駆動部と、
前記入力電圧及び前記テスト電圧を比較して結果信号を出力する判定部と、
を備えた半導体集積回路のテスト回路。
【請求項2】
前記貫通ビアを充電または放電させるために、所定時間の間、前記入力電圧を提供するバッファー部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項3】
前記テスト制御信号は、
第1パルス幅を持つ第1テスト制御信号と、
第2パルス幅を持つ第2テスト制御信号と、を含み、
前記第1テスト制御信号及び前記第2テスト制御信号は、互い異なる時点にアクティブとされ、前記第1パルス幅及び前記第2パルス幅は調節可能であることを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項4】
前記電圧駆動部は、前記第1テスト制御信号及び前記第2テスト制御信号に応答して、前記貫通ビアから伝送された前記入力電圧を前記入力電圧より高いレベルの電圧で駆動するプルアップドライバーを備えたことを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項5】
前記電圧駆動部は、前記テスト制御信号に応答して、前記入力電圧を前記入力電圧より低いレベルの電圧で駆動するプルダウンドライバーを備えたことを特徴とする請求項4に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項6】
前記判定部は、前記入力電圧及び前記テスト電圧の論理レベルが同じである場合、前記結果信号を非活性化させ、前記入力電圧及び前記テスト電圧の論理レベルが異なる場合、前記結果信号をアクティブにすることを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項7】
前記テスト制御信号に応答して、前記入力電圧及び前記結果信号のうち1つを出力する出力部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のテスト回路。
【請求項8】
入力電圧を受信する第1チップの貫通ビアと、
該第1チップの貫通ビアに連結され、前記第1チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧のレベルを変化させて第1チップのテスト電圧を生成する第1チップの電圧駆動部と、
前記入力電圧及び前記第1チップのテスト電圧を比較して第1チップの結果信号を生成する第1チップの判定部を備えた第1チップと、
前記第1チップの貫通ビアに電気的に連結されて前記第1チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧を受信する第2チップの貫通ビアと、
該第2チップの貫通ビアから伝送された前記入力電圧を受信し、前記入力電圧のレベルを変化させて第2チップのテスト電圧を生成する第2チップの電圧駆動部と、
前記入力電圧及び前記第2チップのテスト電圧を比較して第2チップの結果信号を生成する第2チップの判定部を備えた第2チップと、
を備えた半導体集積回路。
【請求項9】
前記第1チップの貫通ビア及び第2チップの貫通ビアが電気的に連結された時、前記第1チップの電圧駆動部は非活性化されることを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項10】
前記第1チップの電圧駆動部は、前記入力電圧を前記入力電圧より高いレベルの電圧で駆動するプルアップドライバー及び前記入力電圧を前記入力電圧より低いレベルの電圧で駆動するプルダウンドライバーのうち1つまたはその以上を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項11】
前記第2チップの電圧駆動部は、前記入力電圧を前記入力電圧より高いレベルの電圧で駆動するプルアップドライバー及び前記入力電圧を前記入力電圧より低いレベルの電圧で駆動するプルダウンドライバーのうち1つまたはその以上を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項12】
前記第1チップは、テストモード信号に応答して前記入力電圧及び前記第1チップ結果信号のうち1つを出力する第1チップの出力部を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項13】
前記第2チップは、テストモード信号に応答して前記入力電圧及び前記第2チップの結果信号のうち1つを出力する第2チップの出力部を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路。
【請求項14】
入力電圧を印可して貫通ビアに電荷を充電する段階と、
前記貫通ビアに充電された電荷を第1時間充電または放電して第1テスト電圧を生成する段階と、
前記入力電圧及び前記第1テスト電圧のレベルを比較して第1結果信号を生成する段階と、
前記第1テスト電圧で充電された前記貫通ビアを第2時間充電または放電して第2テスト電圧を生成する段階と、
前記入力電圧及び前記第2テスト電圧のレベルを比較して第2結果信号を生成する段階と、
を含む半導体集積回路のテスト方法。
【請求項15】
前記第1テスト電圧を生成した後、前記入力電圧と前記第1テスト電圧を差動増幅する段階を含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のテスト方法。
【請求項16】
前記第2テスト電圧を生成した後、前記入力電圧と前記第2テスト電圧を差動増幅する段階を含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のテスト方法。
【請求項17】
テスト動作の中に前記第1結果信号及び第2結果信号を出力し、テスト動作の中でない時には、前記第1結果信号及び第2結果信号が出力されるのを遮断することを特徴とする請求項14に記載の半導体集積回路のテスト方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図2】
【図3】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【公開番号】特開2012−235114(P2012−235114A)
【公開日】平成24年11月29日(2012.11.29)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−100649(P2012−100649)
【出願日】平成24年4月26日(2012.4.26)
【出願人】(310024033)エスケーハイニックス株式会社 (122)
【氏名又は名称原語表記】SK hynix Inc.
【住所又は居所原語表記】2091, Gyeongchung−daero,Bubal−eub,Icheon−si,Gyeonggi−do,Korea
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年11月29日(2012.11.29)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年4月26日(2012.4.26)
【出願人】(310024033)エスケーハイニックス株式会社 (122)
【氏名又は名称原語表記】SK hynix Inc.
【住所又は居所原語表記】2091, Gyeongchung−daero,Bubal−eub,Icheon−si,Gyeonggi−do,Korea
【Fターム(参考)】
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