【課題】広いダイナミックレンジと負数の表示が可能であり、微小粒子から発生する光の強度を適切に反映したスペクトルチャートを得るための技術の提供。
【解決手段】測定対象物からの光を検出波長域が異なる複数の受光素子により検出して取得された前記光の強度値を含む測定データから、線形関数と対数関数とを関数要素として含み、前記強度値を変数とする解析関数を用いて、解析データを生成する処理部を有するスペクトル解析装置を提供する。このスペクトル解析装置は、前記解析データを、一の軸を前記検出波長域に対応する値とし、他の一の軸を前記解析関数の出力値とするスペクトルチャートによって表示することで、負値を含む広いダイナミックレンジを表示し、分散を抑制して測定対象物の光学特性を適切に表現するスペクトルを表示する。 （もっと読む）

【課題】
複合混合物に含まれる検体を迅速かつ正確に特定し、そして定量化する装置及び方法が開示される。
【解決手段】
本装置は、データ収集／分析装置に接続される超高感度キャビティ増幅分光計を備える。本方法では、種々の検体の吸収率断面積を含むデータベースを使用して、サンプルの組成を数値的に特定する。 （もっと読む）

【課題】低濃度から高濃度までの広い範囲でガス濃度を精度良く測定できるガス濃度測定装置。
【解決手段】半導体レーザ1aを有する光源1と、低周波信号を発生する低周波信号発生器11bと、高周波変調信号を発生する高周波信号発生器11cと、低周波発生器からの低周波信号に高周波変調信号を重畳させて光源の駆動電流を発生する光源駆動電流発生器11aと、ガスを封入し且つ半導体レーザからのレーザ光を入射するガスセル5と、ガスセルからのレーザ光を受光する受光素子8とを有するガス濃度測定装置において、半導体レーザを駆動する時に受光素子からの信号に基づき低周波信号に高周波変調信号を重畳させるか否かを判断する判断回路12dと、高周波信号発生器に接続され、判断回路の出力結果に応じてオン／オフするスイッチSW1とを有する。 （もっと読む）

【課題】電解液中にフッ素化合物を含む非水電解液二次電池の赤外分光測定にも好適に使用し得る赤外分光分析装置、分析方法、および分析用プリズムを提供する。
【解決手段】赤外分光分析装置１は、プリズム基材（ゲルマニウム結晶等）１２と該基材の底面１２ａに設けられた金属酸化物膜（アルミナ膜等）１４とを備える全反射用プリズム１０と、金属酸化物膜１４の表面上に配置される作用極３２と、対極３６と、参照極３８とを備える。また、プリズム基材１２と金属酸化物膜１４との界面（プリズム基材１２の底面）１２ａに赤外線を入射し、該赤外線が界面１２ａで反射した反射光を採光する光学系を備える。さらに、上記反射光のスペクトルを得るための赤外分光器を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い精度でＳｉＨ_４ガスなどのガスの濃度を測定することができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、レーザ光照射窓を備える成膜容器と、薄膜の原料である原料ガスを成膜容器に供給する原料ガス供給部と、原料ガスに希ガスを添加する希ガス添加部と、成膜容器の内部にプラズマを発生させるプラズマ発生部と、レーザ光照射窓から成膜容器の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、レーザ光照射部から照射されたレーザ光による、成膜容器の内部の空間の応答を検出する検出部と、検出部が検出した結果に基づいて、原料ガス供給部が供給する原料ガスの流量を制御する制御部と、を備えることを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】ガスの流れの影響を抑制し、測定対象の物理量を高い精度で検出することができるレーザ計測装置を提供することにある。
【解決手段】計測セルと、測定対象のガスに固有な吸収波長を含む波長域のレーザ光を変調周波数で波長を変調しつつ出力する発光部と、発光部から射出されたレーザ光を計測セルに案内する光学系と、入射部から入射され、計測セルを通過し、出射部から出射されたレーザ光を受光し、受光した光量を受光信号として出力する受光部と、受光部から出力される受光信号を処理し、指定周波数の出力を示すスペクトル信号を出力する信号処理部と、スペクトル信号に基づいて、計測セルを流れる測定対象のガスの物理量を算出する物理量算出部と、各部の動作を制御する制御部と、を有し、変調周波数が８０ｋＨｚ以上の周波数であることで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】検査液中の分散剤および蛍光磁粉の濃度を簡単な方法で同時に測定でき、かつそれら濃度を瞬時かつ高精度に測定可能とした、測定精度および作業性を向上させた湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液の成分濃度の測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体の磁化した金属の表面に、少なくとも蛍光磁粉を混合してなる検査液を接触させ、表面の傷部に蛍光磁粉を集合および付着させることによって、傷部を探傷する湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液の成分濃度の測定方法および測定装置では、検査液を透明な測定具３に導入し、光源４の光を、測定具３の一側方から検査液に照射して得られた透過光および励起して発光した可視光を用い、透過光を検出する紫外線検出器５の検出値および励起して発光した可視光を検出する蛍光輝度検出器６の検出値に基づいて、分散剤の濃度を測定する。 （もっと読む）

【課題】試料の光吸収係数を高感度で測定する装置を実現する。
【解決手段】リングダウン分光装置は、波長可変フェムト秒ソリトンパルス光源１を用いる。パルス光は、第１光伝送路４、光切換スイッチ５を介して、ループ状の光ファイバー６に入力する。リングダウンパルス光は、光切換スイッチ５を介して、ホモダイン検波器４０に入力する。一方、第１光伝送路４を伝搬するパルス光は、光方向性結合器８、第１光スイッチ素子１２を介して、第２光伝送路２０を構成する各光伝送路に分岐入力される。この第２光伝送路２０を伝搬するパルス光が参照光として、ホモダイン検波器４０に入力して、同期検波される。第２光伝送路２０を構成する複数の光伝送路の光路長は、光ファイバー６の長さだけ、順次、異なると共に、それぞれの光伝送路は、光路長を微小変動させることができる。 （もっと読む）

【課題】近赤外光及び赤外光のスペクトルについての知識が十分でなくとも、サンプルの特性を容易且つ短時間で分析することができる分光分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】分光分析装置１は、近赤外光スペクトル測定部４０で測定された近赤外光のスペクトルと赤外光スペクトル測定部３０で測定された赤外光のスペクトルとを合成して合成スペクトルを得た後に、予め測定された基準スペクトルと合成スペクトルとの差スペクトルを求め、この差スペクトルを用いて二次元相関演算を行って近赤外光のスペクトルと赤外光のスペクトルとの相関を求めるＰＣ７０を備える。 （もっと読む）

【課題】液体中の亜硝酸濃度を迅速、且つ、正確に測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】亜硝酸濃度の測定装置は、３３６ｎｍ、３４７ｎｍ、３５９ｎｍ、３７２ｎｍ、３８６ｎｍの波長のうち、少なくとも一つの波長について、亜硝酸による紫外線吸光度のピーク高さ又はピーク面積と亜硝酸濃度との関係を示す検量線を記憶する記憶部と、測定対象の液体の紫外線吸光度スペクトルを測定する紫外線吸光度測定装置と、測定した紫外線吸光度スペクトルから、前記記憶部に記憶されている検量線の対象となる前記波長についてのピーク高さ又はピーク面積を算出し、算出した前記ピーク高さ又はピーク面積と前記検量線とによって、前記測定対象の液体中の亜硝酸濃度を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】アスベストを簡単且つ確実に検出する方法を提供する。
【解決手段】偏光観察において、コンペンセータを用いて、試料で生じるリタデーションに対して観察されるリタデーションを変化させること（Ｓ２）で、アスベストを検出する。 （もっと読む）

【課題】水素吸蔵あるいは水素化されてから迅速に水素放出あるいは脱水素化を行うことができる水素吸蔵合金及びこれを用いた水素センサを提供する。
【解決手段】Ｍｇ−Ｎｉ系合金とＺｒ−Ｔｉ系合金とを含む水素吸蔵合金を用い、基板２と、該基板２上に設けられ、前記Ｍｇ−Ｎｉ系合金と前記Ｚｒ−Ｔｉ系合金とを含む水素反応層３と、該水素反応層３上に設けられ、前記Ｍｇ−Ｎｉ系合金の水素化を促進するための第１の触媒層４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】製鉄所の敷地内あるいは製鉄所の周辺で捕集された粉塵を、少なくとも、鉄の製造に由来する粉塵と、鉄の製造に由来しない粉塵である珪砂とに精度高く判別すること。
【解決手段】粉塵が捕集された粉塵捕集板１１と、粉塵捕集板１１上の粉塵に対して照明光を照射する下部照明部１４と、下部照明部１４によって透過照明された前記粉塵の透過明暗画像Ｄ２を取得する撮像部１２と、透過明暗画像Ｄ２をもとに前記粉塵に対する前記照明光の透過度を取得し、該透過度が所定値よりも低い粉塵を鉄の製造に由来する粉塵と判別し、該透過度が所定値以上の粉塵を珪砂と判別する判別処理部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ホウ酸析出物の存在を遠方から、且つ簡便に確認できる定性分析システムを提供する。
【解決手段】 所定の構造物内に配置された検査対象となる部材の表面に赤外線を照射する赤外線源と、照射された赤外線が検査対象の部材表面で反射することにより生じる反射赤外線スペクトルを検出する赤外線検出器と、赤外線検出器が検出した反射赤外線スペクトル内のホウ酸特有の赤外吸収帯を監視する監視装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】シリコン膜中に含まれるＳｉＨの含有率およびＳｉＨ_２の含有率を精度よく求める。
【解決手段】水素含有率取得装置１では、所定のパラメータ群の値と、ＳｉＨの含有率およびＳｉＨ_２の含有率とを関連付ける参照情報が予め生成されて記憶される。ガラス基板９上のシリコン膜に対して、分光エリプソメータ３にて測定を行うことにより測定スペクトルが取得され、コンピュータ６において当該測定スペクトルから当該パラメータ群の値が求められる。そして、パラメータ群の値および参照情報に基づいて、ＳｉＨの含有率およびＳｉＨ_２の含有率の値が精度よく求められる。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の態様において、工業廃液、例えば、半導体及び液晶表示装置の製造プロセスで生成される廃液を処理するのに用いる熱反応器装置を提供する。
【解決手段】コントローラと、コントローラにより制御されるように用いられる反応チャンバ３２と、反応チャンバへの管と、反応チャンバ内の管の第１の端部に配置されたパイロット１６と、反応チャンバ外の管の第２の端部に配置され、コントローラに結合され、コントローラにパイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられるセンサと、管の開閉のために操作可能なアクチュエータとを含むシステムを有する。本発明の数多くのその他の態様が開示されている。 （もっと読む）

【課題】従来の酸化チタン粒子に比べ結晶性が高く、光触媒作用による分解力に優れる酸化チタン粒子の結晶性評価方法、及び酸化チタン粒子の表面欠陥密度測定方法の提供。
【解決手段】内径φ１５ｍｍの密閉容器に無酸素下で１０ｖｏｌ％トリエタノールアミン水溶液５ｍＬと酸化チタン粒子５０ｍｇを入れ、懸濁させた状態で波長３６５ｎｍの紫外光を照射することで測定される酸化チタン粒子表面に生成するＴｉ^３＋密度が０．７μｍｏｌ／ｍ^２以下であるか否かを評価することを特徴とする酸化チタン粒子の結晶性評価方法。 （もっと読む）

【課題】２波長同時送受信をしつつ、光源の出力波長範囲と計測に適した光吸収線の波長とが一致しないガスを計測する。
【解決手段】複数のレーザ光発生手段（１）と、光強度変調手段（２）と、光合波手段（４）と、波長変換手段（５）と、モニタ光と送信光とに分配する光分配手段（６）と、ターゲットからの散乱光を受信信号に変換する受信用光受信手段（１３）と、ガス封入セル（７）にモニタ光を通した後、モニタ信号に変換するモニタ用光受信手段（８）と、受信信号、モニタ信号の信号強度および位相を算出する周波数分別手段（９、１４）と、信号強度に基づいて出力レーザ光の波長を制御する波長制御手段（１０）と、信号強度および位相に基づいて、装置−ターゲット間におけるガス濃度を計測する信号処理手段（１５）とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、燃焼器システム（１０）及び該燃焼器システム（１０）において不純物を測定する方法を開示する。
【解決手段】本燃焼器システム（１０）は、上流の燃料噴射部位（１８）と、下流のタービン燃焼器（２０）と、複数の軸方向サブゾーン（３２、３４、３６、３８）からなるタービン燃焼器（２０）における火炎ゾーン（２２）と、複数の軸方向サブゾーン（３２、３４、３６、３８）の少なくとも１つの非軸方向直接光学ビューを取得するように構成された光ポート組立体（２４）と、光ポート組立体（２４）と光導通した不純物検出システム（２６）とを含む。 （もっと読む）

【課題】周波数が可変のテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ源を被測定物の近傍に移動させて測定することができるテラヘルツイメージング装置を提供する。
【解決手段】テラヘルツイメージング装置１００は、センサヘッド部１２０が本体部１１０から分離されて複合ケーブル１３０で接続されており、センサヘッド部１２０だけを移動させて用いることが可能となっている。本体部１１０は、２つの波長可変レーザ１１１、１１２から出射される異なる波長のレーザ光を光カプラ１１５で合成し、この合成波を光導波路１３１を経由してセンサヘッド部１２０に伝送している。センサヘッド部１２０は、伝送された合成波をテラヘルツ源１２１に入射し、合成波のビート成分に相当する周波数のテラヘルツ波を発生する。 （もっと読む）