【課題】 ヒータユニット組立の際にＰＴＣヒータの破損が極めて少なく、量産性に優れ、且つ、導通不良の発生を減少させることができるＰＴＣヒータを提供する。
【解決手段】 ヒータユニット（１）は、一対の電極兼放熱板（１１，１５）と、一対の電極兼放熱板の間に挟持され、一対の電極兼放熱板の内側表面と接触する略円板状のＰＴＣヒータ（２１，２２，２３，２４）と、略円板状のＰＴＣヒータの周縁側面部を包囲するように形成されたゴムパッキング体（３０）と、一対の電極兼放熱板の少なくとも周縁部の間隙に充填されるゴム弾性体（４０）と、を有し、ゴム弾性体によりユニット全体が一体化として構成されており、一対の電極兼放熱板は、第１の導電性金属板（１１）と、第２の導電性金属板（１５）とから構成され、ゴムパッキング体は、その外周端の厚さ方向の上下に突起リングを備えた断面Ｔ字形状またはＹ字形状をなしているように構成される。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】機械的強度が高く、かつ、通電発熱性を有し、抵抗発熱体として好適に使用可能であること。
【解決手段】多孔質焼結体１は、アルミニウム粉２と、黒鉛粉３と、陶磁器用の粘土粉４と、木粉５と、これら原料が比重の違いによって移動が生じない量の水及び／またはバインダ６とを混合してなる焼結原料混合物７を圧力を加えて成形し、１０００℃〜１２００℃の範囲内で焼結して５％〜５０％の範囲内の空隙を有する成型体としてなる通電によって成型体が発熱するものである。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス性に優れた調理釜用ヒータモジュールを提供する。
【解決手段】調理釜６０の裏面に接する凹曲面形状をした伝熱板２０と、伝熱板２０の裏面に装着されたヒータ３０と、前記伝熱板２０の裏面に装着され、前記伝熱板２０と共にヒータを収容する収容体を構成する裏面カバー４０と、を備える。この構成では、伝熱板２０と裏面カバー４０がヒータ３０を収容する収容体を構成する。そのため、食材や調理材料がヒータ等に付着等することがない。そのため、ヒータ３０が汚れ難くメンテナンス性がよい。 （もっと読む）

【課題】製造時の変形を防止することができる加熱具の製造方法、及び加熱具を提供する。
【解決手段】本発明の加熱具３の製造方法は、金属板３１の一方の面に、線状に延び幅方向に連通する第１及び第２の凹部３１１、３１２を形成する第１の工程と、金属板３１の第１の凹部３１１に、線状に形成された金属製の発熱体３３を配置する第２の工程と、第２の凹部３１２の少なくとも一部にろう材３２を充填し、ろう材３２を発熱体３３と第２の凹部３１２に接触させる第３の工程と、ろう材３２にレーザを照射して、ろう材３２を溶解させる第４の工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ヒータプレート材料として強度が高い材料を複合化することにより、使用温度範囲でのヒータ強度を向上するとともに、ヒータ温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータプレート１と、ヒータプレート１を支持するシャフト部２を有するシャフト付きヒータユニット１００であって、ヒータプレート１は、シャフト部２と接合される平板状のベース部３と、ヒータプレート１の使用温度域における強度がベース部３を構成する材料より高い材料から選択された固相状態の材料粉末を、該材料粉末の融点より低い温度に加熱した圧縮ガスとともにベース部３上に吹き付けることにより積層されたプレート部４と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】調理プレートの熱伝導性を向上するとともに、軽量化することができる調理プレートを提供。
【解決手段】被調理物を調理するための調理プレート４０と、前記調理プレート４０を加熱する加熱手段３０と、温度調節器３１を有する加熱調理器であって、前記調理プレート４０は、アルミニウムまたはアルミニウム合金製であり、前記調理プレートの加熱領域Ｓには、前記アルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率の大きい部材を設け、前記熱伝導率の大きい部材は、複数の中抜きを有する構成。 （もっと読む）

【課題】断熱対象物の遮熱性能を向上するとともに、断熱対象物の均熱を図る。
【解決手段】対向する第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂの間の内部空間１５にこれら金属板１１Ａ，１１Ｂより熱伝導率が小さいスペーサ（コア材１８Ａ〜１８Ｃまたは球状部材２３）を配設するとともに、内部空間１５を真空排気してなる真空断熱構造体において、第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂのうち第１の金属板１１Ａとスペーサ（１８Ａ〜１８Ｃ，２３）との間だけに、第１の金属板１１Ａと接触し、この第１の金属板１１Ａより熱伝導率が高い熱伝導部材２０を配設する。 （もっと読む）

【課題】ウェハの直径が大きくなる傾向にある近年、重ねあわされる互いのウェハ全面において均一に加熱することが困難になってきている。
【解決手段】ウェハを加熱する加熱モジュールは、被加熱体を載置する載置面を有するステージ部と、ステージ部の載置面とは反対の被加熱面に配置される複数のヒータプレートとを備え、複数のヒータプレートは、少なくとも載置面に対応する領域を覆い、隣接する辺が互いに平行を保って離間して配置される。 （もっと読む）

【課題】熱板のカバー（蓋体）の断熱性を確保しつつ、低温領域での熱板の設定温度の変更にも高速で追従することができる加熱処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを載置し加熱する熱板５０と、熱板５０上に載置された基板Ｗを覆い処理室４１を形成する蓋体６０と、蓋体６０の温度を計測する温度センサ１００とを有する。蓋体６０は、上面と下面との間に形成された空間層７４、７５を有し、蓋体６０を冷却するときに、空間層７４、７５に冷却用気体を通流させて、温度センサ１００の出力信号に基づいて、冷却用気体の流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】熱作用を伴う機能部材を集積した熱型素子において、急激な温度変化に伴って生じる熱膨張による伸縮で発熱部や感熱部等の機能部材が破壊される課題を解決し、機能部材の迅速な熱応答性を確保しつつ変形を防止する熱型素子及び熱型素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板２０に設けた空洞３０上に薄層を架橋する構造の熱型素子は、温度によって寸法が変化する機能部材と、機能部材の寸法の変化を吸収するように、温度によって寸法が変化する寸法増減部材６０と、を備えている。この機能部材と寸法増減部材６０とは、基板２０に設けられた空洞３０上に連結架橋されている。 （もっと読む）

【課題】加熱効率に優れるとともに、製造コストが比較的低く、さらに大型に作製しても不都合がない加熱装置。
【解決手段】加熱装置Ｄ１は、上下一対の基板半体からなるアルミニウム合金製基板１を備えてなる。すなわち、基板１は、一対の基板半体の一方としての上部基板２と、基板半体の他方としての下部基板３とからなる。加熱装置Ｄ１はさらに、基板１を加熱することで、上部基板２に載置された被処理物を加熱するための加熱管（ヒーター）５０と、基板１を冷却することで、上記被処理物を冷却するための冷却管（冷却用ガス流通管）６０とを備えている。ヒーター５０を嵌め込むための溝２ａ，３ａとヒーター５０との間隙およびガス流通管６０を嵌め込むための溝２ｂ，３ｂとガス流通管６０との間隙は、熱伝導性部材としてのシリコーンゴム製シート５をこれらの間隙に配設することで塞がれている。 （もっと読む）

【課題】シリンダライナやオイルパンを加熱することによってエンジンのスタートを容易にできるエンジンなどの加熱方法を提供する。
【解決手段】金属製物品の表面にプラズマ溶射によって、電気絶縁性セラミックス層からなる第一セラミックス層と、この第一セラミックス層Ｃ1 の上面に導電性セラミックス層からなる第二セラミックス層Ｃ2 を形成し、更に前記第二セラミックス層Ｃ2 の両端に給電４を配置し、この両給電線４の間に通電して前記第二セラミックス層Ｃ2 を発熱体とし、前記第一セラミックス層Ｃ1 を、熱誘導層として前記シリンダライナ２やオイルパン３など）を加熱するセラミックス層を発熱体とする加熱方法。 （もっと読む）

【課題】高精度な温度で効率よく加熱することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】複数のカートリッジヒーター２を内蔵した加熱ブロック１に固定部材５を用いてブロック部材３を密着させ、このブロック部材３を介して外部の被加熱物を加熱する構成の加熱装置１０において、固定部材５の大径部５ｂとブロック部材３との間に、ブロック部材３の線膨張係数α３および固定部材５の線膨張係数α５よりも大きな線膨張係数α４を持つ調整部材４を介設し、常温から所定の設定温度に加熱しても、熱膨張差によってブロック部材３と固定部材５との間に隙間ができることを、調整部材４の熱膨張によって補い、固定部材５による、加熱ブロック１に対するブロック部材３の締結力を確実に維持して、加熱ブロック１からブロック部材３への熱伝達の均一化および効率化を実現する。 （もっと読む）

【課題】一定の形状を維持し得るとともに、大きな発熱量を得ることができる発熱基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】亜鉛、錫等の不純物を添加して導電性を具備した半導体からなる発熱素子５をＳＵＳからなる金属箔Ｆに３〜７μｍ程度の厚さに塗布し、８００〜１２００℃で所定時間焼成して再結晶化させ、金属箔Ｆ上に発熱素子５の層を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ブラックシリカを含有する遠赤外線放射シートをひざ掛けに装着し、従来にない暖かさと保温性のあるひざ掛けを得ることを目的とする。
【解決手段】 繊維布帛からなるひざ掛けにおいて、少なくとも一箇所にポケットを設け、該ポケット内に金属シートとブラックシリカを含有する遠赤外線放射シートと発熱層を積層した発熱体を挿入することによって、従来にない暖かさと保温性のあるひざ掛けを得えられることを見出し本発明に到達した。 （もっと読む）

【課題】
平面上を均一な温度に保つホットプレートと、このホットプレートを使用した乾燥機及び真空乾燥機を提供する。
【解決手段】
熱伝導が比較的良い金属製のプレート１１に複数の発熱素子１３と、該発熱素子１３に近接して発熱素子１３と同数の温度センサ１４とを設け、該温度センサ１４からのプレート温度情報と設定したい温度とを比較して前記発熱素子１３の発熱量を制御する温度制御回路を各々の発熱素子１３に配置し、前記ホットプレートの表面温度を所望の温度分布に設定可能とした。発熱素子１３としては、パワートランジスタを使用し、格子状に配置する。 （もっと読む）

【課題】フラッシュ光照射時における保持プレートの変色を防止することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】ホットプレート７１の上面に石英のサセプタ７２が載置され、そのサセプタ７２の上面に半導体ウェハーＷが載置される。ホットプレート７１およびサセプタ７２の直径は半導体ウェハーＷの直径よりも大きい。半導体ウェハーＷよりも外側のサセプタ７２の周縁部には遮光リング７５が載置される。遮光リング７５は、ホットプレート７１の上面のうち半導体ウェハーＷによって覆われる領域よりも外側の円環状領域を覆う。これにより、ホットプレート７１の上面のほぼ全面が半導体ウェハーＷおよび遮光リング７５によってフラッシュランプＦＬのフラッシュ光から遮光される。その結果、フラッシュ光が照射されたときに、ホットプレート７１の酸化による変色が防止される。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの露光後ベークを行う基板処理装置に関し、レジストパターン倒れを容易且つ簡便に防止しうる基板処理装置、及びその装置を用いた基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板２０を載置し加熱処理するためのベークプレート１０を有する。ベークプレート１０は、基板２０を載置したときに基板２０の周縁部が位置する部分に、他の部分１２よりも熱伝導率の低い部材１４を有している。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体の周囲に均一に発熱させることができ、また加工性よく設置することができる熱安定性の高い面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】内側電極としての芯電極２、前記芯電極２に周設された主成分が反応性樹脂を介して架橋された導電体を含有して成る高分子抵抗体３、および前記高分子抵抗体３の表面に周設された外側電極４を有する発熱体５と、この発熱体５を保持する金属フィルム６、熱融着フィルム７からなるシート状の積層フィルムとにより構成した。したがって、長期にわたり均熱性の優れたＰＴＣ特性を有する面状発熱体を実現することができる。 （もっと読む）