【課題】基板昇降移送装置７の平面スペースを十分に削減して、工場のスペースの有効利用を図ること。
【解決手段】第１基板処理装置３の一側に第１姿勢切替用保持具３７を備えた第１姿勢切替部材２９が水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、第２基板処理装置５の一側に第２姿勢切替用保持具４９を備えた第２姿勢切替部材４１が水平な軸心周りに揺動可能に設けられ、第１姿勢切替部材２９の一側に立設した支持フレーム５３に上下方向へ延びた無端状部材６３が循環走行可能に設けられ、無端状部材６３に複数の昇降用保持具６９が周方向に間隔を置いて設けられたこと。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰの蓋部を開けることなくＦＯＵＰ内のウェーハに対する検出処理を適切に行うことができるとともに、ウェーハの損傷を防止しつつ構造の簡素化を図ることが可能なウェーハ検出機構を提供する。
【解決手段】開閉可能な蓋部１２を有するＦＯＵＰ１の内部に高さ方向へ複数段に亘って収容したウェーハＷに対して検出を行うウェーハ検出機構Ｘを、蓋部１２に設けた各ウェーハＷのエッジを保持し得るリテーナ１２Ｂと、リテーナ１２Ｂの弾性変形又は移動を検出することでウェーハＷの少なくとも有無を検出する検出部Ｓとによって構成した。 （もっと読む）

【課題】基板処理を効率的に行い、スループットを向上する。
【解決手段】一対の回転軸２，３と、前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材４と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材５と、基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられ、前記被処理基板の左右両縁部がそれぞれ載置される一対の第一無端駆動部材６，７と、前記一対の第一無端駆動部材間に並列して架設され、前記被処理基板の中央部を支持する複数の線状部材８と、前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部１４と、基板搬送路に設けられ、複数の基板支持部材２６により前記被処理基板を所定位置に支持する基板受け渡し機構２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハンド本体に対して移動可能な可動部としての可動フレーム、第２取付アーム、及び複数の第２クランパに作用する慣性力を相殺して、基板の実際のテンションの増大及び変動を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体９の他端側に一対のカウンタウェイト３３Ａ，３３Ｂがハンド長さ方向Ｌへ移動可能に設けられ、各第１滑車３５Ａ（３５Ｂ）にカウンタウェイト３３Ａ（３３Ｂ）と可動フレーム１９を連結する第１連結ワイヤ３９Ａ（３９Ｂ）が支持され、各第２滑車４１Ａ（４１Ｂ）にカウンタウェイト３３Ａ（３３Ｂ）と可動フレーム１９を連結する第２連結ワイヤ４５Ａ（４５Ｂ）が支持されていること。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物を高い位置精度で搬送することが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０００は、ベース部４と、第１アームレバー５と、第２アームレバー６と、保持部７とを有する。第２アームレバー６と保持部７との間の関節部６７には、第２アームレバー６に対して保持部７を３自由度で動かすことが可能なアクチュエータ１００が設けられている。例えば、搬送装置１０００は、アクチュエータ１００を駆動させることにより、基板Ｗを、水平を維持したまま搬送することが可能である。このため、基板Ｗの位置精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】構造を簡易にでき、占有面積を小さくできる枚葉式の基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】枚葉式の基板搬送装置５は、第１枚葉ハンド４５、第２枚葉ハンド４６、第１進退機構、第２進退機構、一体移動機構、相対移動機構、および枚葉ハンド移動機構を備えている。第１進退機構は、第１水平方向Ｄ１に向かって第１枚葉ハンド４５を進退させることができ、第２進退機構は、第１水平方向Ｄ１と正反対の第２水平方向Ｄ２に向かって第２枚葉ハンド４６を進退させることができる。一体移動機構は、第１および第２枚葉ハンド４５，４６を鉛直方向に一体移動させることができ、相対移動機構は、第１および第２枚葉ハンド４５，４６を鉛直方向に相対移動させることができる。枚葉ハンド移動機構は、第１および第２枚葉ハンド４５，４６をＸ方向に一体移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置において、安定した平流し搬送を行うことができ、且つ、基板処理を効率的に行う。
【解決手段】被処理基板Ｇを平流し搬送する基板搬送装置１であって、水平方向に軸架され、且つ平行に配置された一対の回転軸２，３と、前記一の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第一滑車部材４と、前記他の回転軸において所定間隔を空けて軸周りに回動自在に設けられた一対の第二滑車部材５と、基板搬送方向に相対向する前記第一滑車部材と第二滑車部材との間に掛け回され、前記第一滑車部材及び第二滑車部材の回転により基板搬送路の左右両側において周回軌道に沿って移動自在に設けられた一対の第一無端駆動部材６，７と、前記一対の第一無端駆動部材間に、上方に弓形に曲がった状態で並列して架設され、弾性を有する複数の線状部材８と、前記回転軸を軸周りに回転させる駆動部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切り換えに要する時間を短縮することができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、バッチハンド２４によりフープ保持部に保持されたフープに対して複数枚の基板Ｗを一括して搬入および搬出するバッチ式の第１搬出入機構４と、第１および第２枚葉ハンド４５，４６によりそれぞれバッチハンド２４およびフープに対して１枚の基板Ｗを搬入および搬出する枚葉式の第２搬出入機構５とを含む。 （もっと読む）

【課題】平流しの搬送ライン上で被処理基板に供給した第１の処理液を分別回収して第２の処理液に置き換える動作を効率よくスムースに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】被処理基板Ｇを平流し搬送する基板搬送路２と、前記基板搬送路を搬送される被処理基板に第１の処理液を供給する第１の処理液供給手段９と、前記基板搬送路を搬送され、前記第１の処理液が供給された前記被処理基板に対し、所定のガス流を鉛直方向乃至搬送方向下流側のいずれかに向けて吹き付ける気体供給手段２１と、前記気体供給手段によりガス流が吹き付けられ、前記基板搬送路を搬送される前記被処理基板に対し、所定の流速で第２の処理液を供給する第１のリンス手段２２と、前記第２の処理液が供給され、前記基板搬送路を搬送される前記被処理基板に対し、前記第１のリンス液供給手段よりも高流速で前記第２の処理液を供給する第２のリンス手段２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板を収容した搬送容器が載置されるロードポートと、搬送容器を保管する容器保管部と、を備えた基板処理装置において、ロードポートにおける搬送容器の受け渡し回数の増大を図ることができ、これにより基板を高いスループットで処理することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】横方向の位置が互いに異なる第１の搬送路１０２Ａ及び第２の搬送路１０２Ｂの各々に沿って、複数枚の基板を収容した搬送容器１０を搬送する第１の搬送装置１０４Ａ及び第２の搬送装置１０４Ｂを利用し、第１の搬送装置１０４Ａにより搬送容器１０の受け渡しが行われる第１のロードポート２１と、この第１のロードポート２１に対して階段状に設けられ、前記第２の搬送装置１０４Ｂにより搬送容器１０の受け渡しが行われる第２のロードポート２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】設置場所の省スペースを図るとともに、設備コストを低減し、好ましくは安全性を高めることができるようにした搬送物品の一時保管装置を提供する。
【解決手段】物品Ａの搬送手段２７が設けられた複数の棚２０を上下に有する保管部１０と、この保管部１０を昇降可能とし、かつ前記保管部１０のうちの選択された所定の棚２０を搬送経路１と同じ高さに位置させる昇降手段１５とを備えるとともに、前記搬送経路１の搬送手段５，６，７と前記所定の棚２０の搬送手段２７とを同期させることにより、前記搬送経路１から搬送される物品Ａを、前記所定の棚２０上に向けて搬入するか、または前記所定の棚２０上の物品を、前記搬送経路１上に向けて搬出しうるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構を備えている場合であっても、小型化することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットを構成する基板搭載機構３は、上下方向に重なるように配置され基板が搭載される搭載部１３〜１７間のピッチを変えるピッチ変更機構２６と、上下方向に移動可能な複数の可動ハンド１８〜２１とを備えている。ピッチ変更機構２６は、Ｙ方向を軸方向として配置される支点軸に回動可能に支持され可動ハンド１８〜２１が連結されるレバー部材５２、５３と、レバー部材５２、５３を回動させる駆動機構５８とを備え、可動ハンド１８〜２１とレバー部材５２、５３との連結部となるハンド連結部は、レバー部材５２、５３に取り付けられＹ方向に突出する突出部材と、可動ハンド１８〜２１に取り付けられ突出部材が係合する係合溝が形成されるガイド部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】顧客トレイからテストトレイに半導体素子をローディングする時、段階的に行われる半導体素子の前後及び左右ピッチの調整を分業化することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明のテストハンドラーは、半導体素子をマトリックス状に第１方向ピッチと第２方向ピッチを有するように積載可能な顧客トレイと、前記顧客トレイに積載されている半導体素子をテストトレイにローディングするローディング装置と、前記ローディング装置によりローディングが終了されたテストトレイ上の半導体素子をテストするために設けられるテストチャンバーと、前記テストチャンバーを経由してテストが終了されたテストトレイ上の半導体素子を顧客トレイにアンローディングするアンローディング装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークが保持されるステージが上下方向、水平方向さらに回転方向へ駆動する機能を有し、高さ方向と長さ方向において寸法が小さく、コンパクトなステージ装置を提供する。
【解決手段】スライダ１５は左右１つずつ設けられているだけなので、ガイドレール５の長さ寸法を短いものにすることができる。昇降用モーター２１はボールネジシャフト１７の側方に備えられ、昇降用モーター２１の駆動力がプーリー２３、タイミングベルト２５、プーリー１９を介してボールネジシャフト１７に伝達されるようになっているので、ステージ装置１の高さ方向と長さ方向において寸法が小さくすることが可能となっている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ裏面のパーティクル付着が極めて少なく、アライメント時間が短いプリアライナを提供することを目的とする。
【解決手段】ウェハを保持して旋回させる機構が、ウェハが載置されるパッド５と、前記ウェハの側面を把持可能なクランプ１４と、パッド５とクランプ１４の両方を支持して回転する旋回ベース２と、を備え、クランプ１４が、パッド５に載置されたウェハに対して、上昇位置でウェハの側面を把持し、下降位置でウェハの裏面よりも低い位置に移動するよう、旋回ベース２に対して昇降自在に支持されるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】キャリアの開放時における基板への自然酸化膜の堆積やパーティクルの付着、基板搬送室の汚染や酸素濃度の上昇等の弊害の発生を防止する。
【解決手段】ポッド１０の収納室１０ｃからウエハ９を取り出す際に、収納室１０ｃの出し入れ口１０ｂを塞ぐ蓋体１０ａを出し入れ口１０ｂから移動させ、出し入れ口１０ｂが開かれ、ポッド１０と連設されたポッドオープナ室６１を密封した状態で、ポッドオープナ室６１へ不活性ガスを流し、収納室１０ｃに不活性ガスを供給する。空のポッド１０の収納室１０ｃにウエハ９を収納する際に、空のポッド１０の収納室１０ｃにウエハ９を収納する前に、収納室１０ｃの蓋体１０ａを出し入れ口１０ｂから移動させて、出し入れ口１０ｂを開き、ポッドオープナ室６１を密封した状態で、ポッドオープナ室６１に不活性ガスを流し、収納室１０ｃに不活性ガスが供給する。 （もっと読む）

ロボット装置内で電気エンドエフェクタへの電気的接続を可能にするシステム、装置、および方法が開示される。一態様では、電気的結合は、真空チャンバ内で電気エンドエフェクタに電力を提供する。電気的結合は、係合する電気接点を含むことができる。いくつかの実施形態では、接点の少なくとも１つは、ロボットのアームの回転中に係合する接点が互いに対して回転しないように、ばねにつるすことができる。他の実施形態では、誘導結合されたコイルが含まれる。多数の他の態様が提供される。
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【課題】大型基板をより安定的に搬送する。
【解決手段】複数本の搬送ローラ３０の駆動により基板Ｗを搬送する基板搬送機構。搬送ローラ３０は、二本の単位ローラ軸３１ａ，３１ｂと、これら単位ローラ軸３１ａ，３１ｂに固定されて基板Ｗを支持するローラ本体３２と、単位ローラ軸３１ａ，３１ｂが同軸上で一体に回転するように単位ローラ軸同士を中継する中継手段３８と、を含む。中継手段３８は、単位ローラ軸３１ａ，３１ｂの端部のうち一方側の端部に設けられる第１磁石部（磁気連結板３８の磁石）と、他方側の端部に設けられる第２磁石部（磁気連結板３８の磁石）と、これら磁石部が所定隙間を隔てて互いに対向して単位ローラ軸同士を連動させるように各単位ローラ軸３１ａ，３１ｂの端部位を回転可能に支持する中央支持板４４等と、を含む。 （もっと読む）

【課題】第１の基板搬送装置や第２の基板搬送装置が基板収容機構に効率的にアクセスすることができるようになり、このため単位時間あたりの基板の処理枚数を多くすることができる基板処理システムを提供する。
【解決手段】ウエハ収容部３０において、複数のウエハＷを上下方向に互いに離間させて収容するウエハ収容機構３２が複数設けられており、各々のウエハ収容機構３２は移動自在となっている。各ウエハ収容機構３２は、第１のウエハ搬送装置５０によりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第１のウエハ受け渡し位置Ｐ、および第２のウエハ搬送装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃによりウエハＷが搬送されたり取り出されたりする第２のウエハ受け渡し位置Ｑ、Ｒ、Ｓの間で駆動部３４、３５、３６、３８により移動させられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】事前の煩雑な準備を必要とせずに、搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の搬送状態を、インラインにより検出すること。
【解決手段】浮上搬送装置１０により搬送される薄板Ｗと搬送面Ｓとの空間を、搬送方向Ｘの全体に亘って１又は複数のレーザレーダヘッド３からの走査光Ｌによって走査し、走査光Ｌの光路上に存在する物体からの走査光Ｌの反射光Ｒによって、走査光Ｌの出力元のレーザレーダヘッド３からの、その物体の方向及び距離を特定する。そして、特定した方向及び距離によって、薄板Ｗの搬送面Ｓに対する接触箇所や搬送ユニット１１の構成物の位置を特定する。そのうち、搬送中の薄板Ｗよりも手前か奥に配置されている搬送ユニット１１の構成物の位置を検出対象から除外し、残る、薄板Ｗの搬送面Ｓに対する接触箇所の位置だけを最終的に検出する。 （もっと読む）