【課題】小型な構成で、高速に大きな変位量で駆動できる超音波モータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】超音波振動子１０１を備え、超音波振動子１０１に２相の交番電圧信号を供給することにより、縦振動モードおよび屈曲振動モードを同時に励起させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波モータ駆動装置であって、
超音波振動子１０１に交番電圧信号を印加する制御部１０６と、
積層された超音波振動子１０１の対向に配置されている端面に少なくとも１個以上配置された駆動子１２０ａ等と、
駆動子１２０ａ等に対向し押圧接触するよう配置された複数の摺動部材１１０ａ、１１０ｂと、を具備し、
駆動子１２０ａ等に発生する楕円振動の時間的な軌跡の回転する向きが同方向となる。 （もっと読む）

【解決手段】圧電モータは、対向した前面部と後面部及び対向した第１の端面部と第２の端面部を持つ圧電共振子本体を含む。前面部（１７）及び前記後面部（１８）は、圧電共振子本体の第１の縦軸（１５）及び第２の縦軸（１６）と実質的に平行である。また端面部（２）は、前記第１の縦軸と実質的に垂直であり、前記第２の縦軸と実質的に平行である。そして、端面部は圧電共振子本体の長さ（Ｌ）により区分けられる。前記モータはまた、前記後面部上に配置された共通の電極（６）を少なくても１個含み、さらに長さＬに沿って延びている２つの対称的な列で、長さＬに沿って前記前面部にわたって配置された励起電極（７−１２）を少なくても６ｎ（ｎは整数で１以上）個含む。前記モータで、前記圧電共振子はＬに沿ったｎ次の縦振動周波数（ν１）とＬに沿った３ｎ次の曲げ振動周波数（ν２）を有し、ここで縦振動周波数ν１と曲げ振動周波数ν２は実質的に等しい。 （もっと読む）

【課題】 ロータに設けられる回転部材に機構的な特徴を加えてロータ及びステータに同じ接触状態が続くことを回避することで偏磨耗を抑制し、振動波モータの長寿命化を実現する。
【解決手段】 振動波モータＭで回転するシャフト４０５に設けられ、シャフト４０５に掛かる負荷トルクの大きさをシャフト４０５の回転位相で変動させる偏心カム１３０２、アーム１３０３、付勢バネ１４０２と、シャフト４０５に掛かる負荷トルクの周期をシャフト４０５の回転周期に対して変動させるワンウェイクラッチ１３０１と、を備える振動波モータ用の負荷トルク変動装置５００を構成した。 （もっと読む）

【課題】駆動位相差を変化させることによる速度制御を行う場合であっても、精度の良好な周波数追尾を行うことが可能な超音波モータを提供すること。
【解決手段】第１の駆動信号及び第２の駆動信号を超音波振動子4に印加して当該超音波振動子4に楕円振動を発生させ、該楕円振動から駆動力を得て被駆動体5を摩擦駆動する超音波モータに、次のような制御を行う制御ＣＰＵ22を具備させる。前記制御ＣＰＵ22は、前記第１の駆動信号及び前記第２の駆動信号を生成し、前記振動子の振動状態を検出して振動検出信号を生成し、前記第１の駆動信号と前記第２の駆動信号との合成波と、前記振動検出信号と、の位相差が所定の範囲内になるように前記駆動信号生成部を制御する。 （もっと読む）

【課題】駆動性能の優れた振動波アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動波アクチュエータは、電気機械変換素子の励振により振動を発生する振動子（１３）と、前記振動子（１３）と接触し、前記振動により前記振動子（１３）に対して相対運動を行う相対運動部材（１５）と、を備えた振動波アクチュエータ（１０）であって、前記振動子（１３）は、樹脂製膜（１８）が形成された第１の面（１３ａ）を有し、前記相対運動部材（１５）は、前記第１の面（１３ａ）と対向し、陽極酸化膜（１９）が形成され、かつ、前記相対運動の方向と垂直な第１の方向における幅が前記第１の面（１３ａ）より小さい第２の面（１５ｂ）を有し、前記第２の面（１５ｂ）は、前記第１の面と接触する第１の部分と、前記第１の部分の端部から前記第２の面（１５ｂ）の端部まで延在し前記第１の面から漸次離れるように湾曲した第２の部分（１５ａ）を有する、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最近の半導体製造では、装置の更なる薄型化によるコンパクト化とともに、配線パターンの更なる細密化、立体化が進み、プレートの昇降量についても制御可能なプレートチャック装置構造の要求が高まっていた。
【解決手段】ピン昇降機は、回転軸を中心に円周方向に回転する可動体と、該可動体と接続して可動体の回転運動を径方向の直線運動に変換する変換機構と、径方向に沿って傾斜面が形成されるとともに、変換機構に連結して径方向に往復運動するスロープ部と、傾斜面上を摺動または転動する係合部材を有し、該係合部材により鉛直方向にプレートを昇降するピン部を備えた昇降部とを有する。 （もっと読む）

【課題】レンズ鏡筒の小型化が可能な導電構造を有する振動アクチュエータ、レンズ鏡筒および光学機器を提供すること。
【解決手段】リング形状の面８ｂを有する電気機械変換素子８と、前記リング形状の面８ｂに設けられ、前記リング形状に沿った形状の外周部６ａを有する振動体６と、前記電気機械変換素子８の前記振動体６が設けられる面と反対側８ａの面に沿って設けられる第１の部分１０ａと、前記振動体６の前記外周部６ａから突出した第２の部分１０ｃとを有し、前記第２の部分１０ｃに電極３２ｃが設けられた可撓性配線基板１０とを備えた振動アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性を向上させることで耐久性を高めた導電性を有する超音波モータのスライダおよび超音波モータを提供する。
【解決手段】圧電素子２により生じたステータ３の進行波により、ロータ５に連結された出力軸６を駆動する超音波モータ１において、上記ロータ５の下面に接着され、かつ上記ステータ３に圧接し、このステータ３の進行波により、上記ロータ５を回転させるスライダ４であって、上記スライダ４は非射出成形性ＵＨＭＷＰＥ樹脂１００重量部と、導電性カーボン２〜１５重量部と、ＰＴＦＥ樹脂粉末、黒鉛粉末およびシリコーン樹脂粉末から選ばれた少なくとも１つの粉末０．５〜５重量部とを配合された樹脂組成物からなるシート材である。 （もっと読む）

【課題】安価なコストで、良好な駆動性能を達成可能な振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（１０）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体（１１）と、前記振動体（１１）と加圧接触する接触面（３２ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（３２ａ）が駆動されることにより前記振動体（１１）に対して相対移動する相対移動部材（１５）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記相対移動部材（１５）は、樹脂で形成された第１の部材（３１）及び前記第１の部材（３１）より剛性の高い第２の部材（３０）を含み、前記接触面（３２ａ）と前記接触面（３２ａ）以外の少なくとも１面とを含む部分が、前記第１の部材（３１）で形成されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のアクチュエータを安定に動作させることができる駆動装置及び光学装置を提供する。
【解決手段】
圧電素子６ａ，８ａに駆動軸６ｂ，８ｂを取り付けたアクチュエータ６，８を有し、駆動信号により圧電素子を伸縮させ、圧電素子６ａ，８ａの伸縮動作に応じて駆動軸６ｂ，８ｂを往復運動させて、駆動軸６ｂ，８ｂに摩擦係合させた被駆動部材を移動させる駆動装置において、駆動信号として、同一の周波数ｆで位相が異なるパルス信号Ｓｙ，Ｓｘを用いる第１制御部３０を備えることで、各圧電素子の消費電流が最大となるタイミングをずらし、圧電素子６ａ，８ａに共通の電源回路６３が出力する瞬間最大電流の増大を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータの組立性を向上させる。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、ロータ１６０、ステータ１２０、及び電気機械変換部１３０に挿通され、ベース部１５０と螺合しており、ベース部１５０と共にステータ１２０及び電気機械変換部１３０を締付ける締付部１１６と、ステータ１２０からロータ１６０の側へ延びる外延部１１２とが設けられた軸部材１１０と、外延部１１２が挿通されると共にステータ１２０に接するように配され、外延部１１２と螺合し、ステータ１２０から振動を付与される振動体２１０とを備え、軸部材１１０とベース部１５０との螺合部と、外延部１１２と振動体２１０との螺合部とが互いに逆ネジの関係にあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】出力トルクを効率よく向上させることができる振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ１００は、軸部材１１０と、軸部材１１０の軸線Ｌ周りに回転自在な一対のロータ１６０、１６１と、一対のロータ１６０、１６１の間に、一対のロータ１６０、１６１のそれぞれに接して配された一対のステータ１２０、１２１と、一対のステータ１２０、１２１の間に配され、一対のステータ１２０、１２１のそれぞれに対して軸線Ｌの周りに遷移する振動を付与する一対の電気機械変換部１３０、１３１と、一対の電気機械変換部１３０、１３１の間に配され、ステータ１２０、１２１の両方に結合してステータ１２０、１２１のそれぞれとの間で対応する電気機械変換部１３０、１３１を保持する保持部材１７０とを備え、ステータ１２０、１２１と保持部材１７０とは、電気機械変換部１３０、１３１よりも保持部材１７０側で結合されている。 （もっと読む）

【課題】一端部が固定された円弧状のアクチュエータにおいて、効率的な変位量及び発生力が得られる固定構造を有するアクチュエータ、アクチュエータ装置及びこれを用いた可変レンズ装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ１は、固定端２と自由端６とを有する円弧状の圧電素子Ｐと、圧電素子Ｐの外周側自由長の中心角をθＡ、圧電素子Ｐの内周側自由長の中心角をθＢとしたとき、θＡ＜θＢとなるように圧電素子を固定する固定部材２０とを具備する。これにより、θＡ＝θＢの場合と比較して、自由端６における変位量を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ロータとステータとの固着を抑止できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、及び、光学機器を提供すること。
【解決手段】振動アクチュエータ（１０）を、円環状に形成されるステータ（１１）と、前記ステータに接触する円環状の接触面を有し、前記ステータの振動に応じて回転するロータ（１５）と、前記ステータと前記ロータとを前記接触面に交差する方向から加圧する加圧部（１９）とを備える構成とし、前記ロータを、円環状に形成された本体部（３０）と、前記接触面を有する接触部（３１）と、前記本体部から前記接触面と略平行な方向へ延在して設けられ、前記本体部と前記接触部とを接続する接続部（３２）とを有する構成とし、前記加圧部による加圧状態において、回転軸（１８）と直交する面と前記接続部が延在する方向とがなす角度（Ａ１）を、前記回転軸と直交する面と前記接触部の接触面とがなす角度（Ａ２）よりも大きくした。 （もっと読む）

【課題】回路規模が小さくても実用的に十分な精度で圧電素子に対し共振周波数での駆動を行う。
【解決手段】トランス２と、トランス２の１次側に入力される制御信号ＣＳに追従して周波数が変化する駆動信号ＤＳをトランス２の２次側で発生させ、圧電素子ＰＺに印加する駆動回路３と、コントローラ５とを有する。コントローラ５は、制御信号ＣＳの周波数を所定の周波数範囲ＦＲ内で複数回変化させて、当該周波数を変化させるごとに圧電素子ＰＺのインピーダンス変化に応じた検出電位Ｖdetを検出し、検出電位Ｖdetの推移に基づいて圧電素子ＰＺの共振周波数ｆｒを求める。 （もっと読む）

【課題】装置に組み込まれた状態で各振動子の出力特性を揃えることができる多自由度駆動装置を提供する。
【解決手段】複数の振動子１１〜１３が、複数のパラメータα，β，γにそれぞれ設定された値に基づいて生成された駆動電圧ＶＡ，ＶＢで駆動され、移動体１０が移動される。このときの移動体１０の移動方向および移動量は、制御部５０により、位置センサ２１〜２３の出力値に基づいて検出される。そして、制御部５０は、検出された移動体１０の移動方向および移動量に基づいて、振動子１１〜１３のそれぞれの出力特性間に差異があるか否かを判別する。ここで、振動子１１〜１３のそれぞれの出力特性間に差異があると判別された場合、振動子１１〜１３のそれぞれの出力特性が揃うように、少なくとも１つの振動子に対するパラメータ例えばパラメータγに設定された値を変更する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの駆動効率を簡易な構成で向上させることにある。
【解決手段】立方体形状のステータ１１には軸方向に貫通する貫通孔１２が形成されており、貫通孔１２には直進往復動自在にシャフト１３が装着される。ステータ１１のそれぞれの外周面には振動源である圧電セラミックス１４が設けられて、圧電セラミックス１４の外面に軸方向に２つの電極１５，１６が形成されるとともに、圧電セラミックス１４の内側がステータ１１を介して接地される。それぞれの電極１５，１６に相互に位相の異なる交流電圧が印加されると、貫通孔１２の内周面に軸方向の楕円運動が形成されてシャフト１３が軸方向に摩擦駆動される。シャフト１３には中心方向に切り込まれたスリット２３が形成されており、このスリット２３がシャフト１３の外周面とステータ１１の内周面との摩擦接触圧を設定する設定部となっている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の振動によって被回転体を駆動させる際に、被回転体を低電力で駆動できる圧電駆動装置を提供すること。
【解決手段】振動子２０およびこれと接触した状態で回転するロータリング３０を有する圧電アクチュエータ４と、ロータリング３０の回転エネルギを弾性エネルギとして蓄積可能な渦巻ばね５０と、この渦巻ばね５０に蓄積された弾性エネルギで回転される第２ロータ伝え歯車６０とを備える。振動子２０が、押圧手段の押圧力に反してロータリング３０から離れた際に、渦巻ばね５０に蓄積された弾性エネルギが解放されることを規制する逆回転防止機構９０を備える。圧電アクチュエータ４の起動の際、圧電アクチュエータ４の駆動力が渦巻ばね５０の弾性エネルギとして蓄積されてから、第２ロータ伝え歯車６０が回転を開始するので、起動時の負荷が軽減され、低電力で圧電アクチュエータ４を駆動できる。 （もっと読む）

【課題】磨耗した摩擦部材だけを容易に交換することを可能とした振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】振動波モータは、弾性体１、圧電素子２、摩擦部材３を備える。弾性体１及び圧電素子２からなる振動体は、圧電素子２により振動が励起される。移動体は、弾性体１に対して接触加圧力で押圧され弾性体１に励起された振動により弾性体１に対して相対的に移動される。摩擦部材３は、弾性体１と移動体との間に設けられ弾性体１の面と移動体の面に当接する接触面を有する。摩擦部材３は、その接触面が弾性体１と移動体の何れの接触面とも固着されていないと共に、弾性体１の接触面と一体的な挙動を示す。 （もっと読む）

【課題】小型化した場合にも駆動性能の良好な振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供する。
【解決手段】第１の接合面（１３ａ）を有し、駆動信号によって励振される電気機械変換素子（１３）と、第１の接合面（１３ａ）が接合される第２の接合面（１２ｅ）及び励振によって振動波を生じる駆動面（１２ｄ）を有する弾性体（１２）と、駆動面（１２ｄ）に加圧接触される接触面（１５ａ）を有し、振動波によって駆動され、弾性体（１２）に対して相対移動する相対移動部材（１５）とを備え、第１の接合面（１３ａ）の外形は、相対移動部材（１５）の接触面（１５ａ）とは異なる形状であり、第２の接合面（１３ｅ）は、第１の接合面（１３ａ）と略一致する形状を有することを特徴とする振動アクチュエータ（１０）とした。 （もっと読む）