【課題】超音波モータを設置したテーブルからの真空雰囲気中での熱の移動量を増加させ、送り装置の小型化を図る手段を提供する。
【解決手段】基台２に真空雰囲気中で移動可能に支持されたテーブル８に設けられた超音波モータ１２を備えた送り装置１において、テーブル８の移動方向に沿って形成された複数の放熱板２２を有する放熱体２１をテーブル８に設置すると共に、放熱板２２の間にそれぞれ配置された複数の受熱板２６を有する受熱体２５を基台２に設置する。 （もっと読む）

【課題】軸受け部と駆動軸との間に発生する摩擦による摩耗が、スライダに及ぼす影響を低減させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】振れ補正ユニット１００は、ベース板に設置され、駆動軸ＡＫ３を有するヨー方向アクチュエータ２３と、駆動軸ＡＫ３と摩擦結合される軸受け部６３を有する移動部６１と、移動部６１とは別体として構成され、前記第１の移動体には固定されないが、前記第１の移動体と連動した移動が可能な第１スライダ４０と、ベース板と保持部材とによって第１スライダ４０を所定平面内で移動可能に支持する支持手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＨＤＤの磁気記録ヘッドの駆動などのために用いられる超音波モータにおいて、応答性を向上する。
【解決手段】面内振動を行う振動体２をロータ３に内包することで、前記振動体２の振動が摩擦接触するロータ３に伝達されて該ロータ３が回転する超音波モータ１において、前記ロータ３を、剛性を有し、有底円筒状に形成される上下一対の第１および第２の部材３１，３２の組合わせで構成し、巻ばね４によって発生した弾発力でそれらの底板３１ａ，３２ａ間に前記振動体２を挟圧保持させるとともに、前記底板３１ａ，３２ａに、すり鉢状のテーパ面３１ｃ，３２ｃを形成する。したがって、ロータ３の軸受けを不要にして応答性を向上することができるとともに、振動体（ステータ）２とロータ３との間の摩擦力をより安定させ、駆動性能を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 電気機械変換素子の伸縮をより大きくすることができると共に、電気機械変換素子の支持安定性をより向上させることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置１では、圧電素子４がホルダ３によって弾性的に支持されている。そのため、例えば、圧電素子４と駆動軸６とが当接するように圧電素子４の他端及び駆動軸６の一端がホルダ３によって付勢されるような場合に比べ、圧電素子４の伸縮をより大きくすることができる。しかも、ネジ２５によって圧電素子４が基準線ＦＬの延在方向における一方の側に付勢されている。そのため、例えばネジ２５が設けられずに圧電素子４の他端に錘部材が取り付けられるような場合に比べ、ホルダ３による圧電素子４の支持安定性をより向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】振動子が被駆動体を安定して微小駆動させることができる超音波モータを提供すること。
【解決手段】圧電素子を有する超音波振動子2と、前記超音波振動子2との間の摩擦力により駆動される被駆動部材4と、前記超音波振動子2における定在波の節近傍に固着され且つ突出部3aを備える保持部材3と、前記保持部材3を押圧する押圧部材9と、前記保持部材3と対向する面である保持部材対向面7bを備える筐体7と、前記押圧部材9又は前記筐体7に設けられ、前記保持部材3における前記突出部3aを押圧して前記保持部材3を前記保持部材対向面7bに圧接させる当接部材13と、を具備し、前記保持部材3は、前記突出部3aに当接する前記当接部材13と、前記筐体7における前記保持部材対向面7bとで挟持されて、前記駆動方向における位置が規制される超音波モータ。 （もっと読む）

【課題】 所定の基準線に対する駆動軸の倒れを防止することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置１では、ホルダ３が有する軸受溝１１ａ，１２ａに設けられた規制部材２０によって、基準線ＦＬに対する駆動軸６の傾きが規制される。より詳細には、各軸受溝１１ａ，１２ａの２つの内面、及びその内面に駆動軸６を押圧する押圧部２２によって、駆動軸６が３箇所で支持されることで、駆動軸６が位置決めされる。従って、基準線ＦＬに対して駆動軸６が倒れた状態で圧電素子４がホルダ３によって支持されるのを確実に防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】振動子を押圧する為の押圧部材を容易に組み付けることができる超音波モータを提供することができる。
【解決手段】圧電積層体2aに縦振動と屈曲振動とを同時に発生させることで楕円振動を発生させ、該楕円振動により駆動力を得て被駆動部材5を駆動する超音波モータ1において、圧電積層体2aを有する超音波振動子2と、前記超音波振動子2における定在波の節近傍に固着され、前記超音波振動子2を押圧する押圧部材3と、前記超音波振動子2との間の摩擦力により駆動される被駆動部材5と、前記押圧部材3が固定される筐体8と、を具備し、前記押圧部材3は穴部3d,3eを有し、且つ前記筐体8は前記押圧部材の有する前記穴部3d,3eと係合する案内ピン8c,8dを有し、前記押圧部材3は、押圧方向に撓んだ状態で前記筐体8に固定される。 （もっと読む）

【課題】小型であり且つ単純な構成を有しながらロータをステータに加圧することができる振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】ステータ２の表面に突出形成された２対の挟持部６によりロータ７の両端部がそれぞれ挟持され、支持ボルト８及びナット９の締結により、ロータ７のそれぞれの端部７ａと挟持部６とが互いに加圧されると共にロータ７が支持ボルト８の回りに回転自在に支持される。振動手段３によりステータ２の挟持部６にＸＺ面内の楕円振動を発生させることにより、ロータ７の端部７ａと挟持部６との摩擦力を介してロータ７がＹ軸回りに回転される。支持ボルト８をナット９に締結するだけでロータ７の端部７ａとステータ２の挟持部６とを互いに加圧することができるため、小型で単純な構成を有しながらロータ７をステータ２に加圧することができる。 （もっと読む）

【課題】軸方向の振動を阻害せずに振動軸の軸回転を防止できる軸受け部を備え、小型で高い位置精度を有する駆動装置及び駆動装置ユニットを提供する。
【解決手段】振動軸と軸受け部は、互いに当接して該振動軸の軸回転を規制するための規制面をそれぞれ有し、振動軸の規制面を、軸受け部の規制面に当接して押圧する。このときの押圧力を、振動軸が振動中に軸受け部からうける最大抵抗力が、移動部材と振動軸との間の最大摩擦力の２．５倍以下となるようにする。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材と超音波振動子との接触圧力を均等にバランスさせて、正逆方向の駆動特性を均一にするとともに、被駆動部材を高い駆動効率で駆動する。
【解決手段】超音波振動子２の振動の定在波の腹Ｂ_１，Ｂ_２となる２以上の位置に設けられた摺動部材２ｂを被駆動部材４に押し付ける押圧機構５であって、超音波振動子２の振動の定在波の節Ａ_１，Ａ_３となる２以上の位置において、超音波振動子２に接触する押圧部材６と、該押圧部材６に対し、２以上の定在波の節Ａ_１，Ａ_３の間隔方向に離れた２カ所以上の位置において、摺動部材２ｂを被駆動部材４に押し付ける押圧力Ｆａ，Ｆｂを調節可能に付与する押圧力調節部７とを備える超音波振動子２の押圧機構５を提供する。 （もっと読む）

【課題】 超音波モータのステータとロータの圧接面での癒着を解消し、モータ始動時の立ち上がり特性を改善する。
【解決手段】 互いに圧接面で圧接するステータとロータとを備える超音波モータであって、ステータに設けられて円周方向に沿って分極した圧電体１３に駆動用の高周波電圧を印加する駆動回路４の構成として、超音波モータの始動時に少なくとも周波数をランダムに変化させた高周波電圧を所定時間だけ生成する手段を備える。始動時にタイマー４３３によりセレクタ４３１でランダム発振器４２２の出力を選択し、出力器４３４からランダム高周波電圧ＲＡＭＡ，ＲＡＭＢを圧電体１３に印加する。圧電体１３に不規則な振動が生起され、ステータとロータの圧接面間に当該不規則な振動が作用することになり、両圧接面の癒着を効果的に解消し、モータの回転立ち上がり特性が改善される。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度の向上を図り、機構が簡単かつ小型であるとともに、磁化を避ける環境下でも使用できるようにする。
【解決手段】 一の方向に移動自在な第１の移動体と、前記第１の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第２の移動体と、を備えたステージにおいて、
前記第１の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第１の超音波モータと、前記第２の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第２の超音波モータと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置決めの高精度化と高分解能化が可能な回転、直動の二方向併進駆動アクチュエータおよび位置決め装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータは、磁性体よりなるロータ１の外周に中心軸方向に接触し、遠心方向の運動を規制する磁石２１を有する第１駆動ユニット２と、ロータ１の回転方向に磁石２１と離間して配置され、ロータ１の外周に中心軸方向に接触し、遠心方向の運動を規制する磁石３１を有する第２駆動ユニット３で構成されている。第１駆動ユニット２は磁石２１を駆動してロータ１を回転方向および中心軸方向に変位させる。第２駆動ユニット３は磁石３１を駆動してロータ１を回転方向および中心軸方向に変位させる。 （もっと読む）

【課題】球体であるロータを複数のステータで保持する球面超音波モータにおいて、複数の自由度を確保しながら小型化、軽量化を実現した球面超音波モータを提供することである。
【解決手段】球状回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記球状回転子の周りに第１のリング状振動子、第２のリング状振動子と、第３のリング状振動子および第４のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる球面超音波モータにおいて、一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に前記第２のリング状振動子を設けた第１の枠部材と、一端に前記第３のリング状振動子を設け且つ他端に前記第４のリング状振動子を設けた第２の枠部材とを備え、前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けた。 （もっと読む）

【課題】消費電力を格段に低減できる圧電アクチュエータの駆動制御方法、圧電アクチュエータの駆動制御装置、および電子機器を提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータの駆動制御装置は、被駆動体であるロータがその回転に必要な最小トルクで駆動される場合の最小回転数を設定回転数として記憶し（Ｓ１０）、この設定回転数を実現するように、駆動信号のパルス幅を基準信号が発せられた際の基準パルス幅に対して制限して駆動制御を行う（Ｓ２０）。このように、ロータを駆動可能な程度にパルス幅が制限される結果、矩形波駆動において駆動信号のパルスデューティを小さくすることが可能であって、パルス幅の制限を行わないでパルスデューティ１００％としたときと比べて格段に低消費電力化できる。これにより、電池寿命を長期化できる。 （もっと読む）

【課題】 携帯電話など携行できる情報端末のオンラインユース化に伴い、機器の軽、薄、短、小、高機能、省電力化が進むに連れて、これらの機器のアクチュエータでは、さらにこの傾向が加速され、電磁機器で対応できる性能限界に達し、代替技術が求められている。
【解決手段】 本発明者が開発してきた円筒型３Ｄ電歪公転子はほぼ完全にこの技術目標を満たすが、発生するのは公転トルクであり、リニアトルクに変換しなければならない。スクリュウねじを施した移動子を用いて、リニアトルクに変換した。軸長が直径より短い円筒型公転子の両端面に、回転子のトルク伝達円環を圧接し、回転子を浮揚力で支えると、与圧力の作用支点が回転子と共に回り、摩擦損失を避けることができた。これはトルクを発生するアクティブ軸受とでも表現したい機構で、無偏芯回転となり、超精密、低損失アクチュエータの手段を提供でき、これを用いて自動伸縮するアクティブ鏡筒を実現した。 （もっと読む）

【課題】球面超音波モータの複数のステータのそれぞれをロータに対して適切な強さで押し付け、安定したトルクを得ることができるようにすることである。
【解決手段】複数のステータの少なくとも１つに前記ロータに押し付けるねじれ剛性を有する弾性部材を設け、また、ロータを支持する反力支持部材を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、圧電式の駆動装置のための圧電式のアクチュエータユニット（３）であって、第１のキャップ（１２）に対して緊締された圧電式のアクチュエータ（１０）が設けられていて、前記第１のキャップ（１２）が、この第１のキャップ（１２）を介して圧電式の駆動装置の駆動体（１）に固定するように構成されており、ケーブル（５）及び／又はコンタクトピン（１６）が設けられていて、該ケーブル（５）及び／又はコンタクトピン（１６）が前記アクチュエータ（１０）に結合された、このアクチュエータ（１０）を電気的に制御するためのコンタクトエレメントとして構成されている形式のものにおいて、第１のキャップ（１２）が、コンタクトエレメント（５，１６）を引き込みガイドするための少なくとも１つの開口（１５）を有していることを特徴としている。特に有利には、このような圧電式のアクチュエータは圧電式の駆動装置に組み込まれており、この圧電式の駆動装置は、円筒形の駆動面（２）を備えた駆動体（１）と、該駆動体（１）を駆動面（ｘ，ｙ）で振動させる圧電式のアクチュエータ（１０）を備えた少なくとも２つの駆動ユニット（３）と、駆動面（２）に当接し、振動によって回転運動せしめられる駆動軸（４）と、アクチュエータ（１０）を駆動するために、前記アクチュエータ（１０）に回路を接続するためのコンタクトエレメントとを有している。
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【課題】 縦振動モードおよび屈曲振動モードの双方の振動モードをそれぞれ独立した形で、あるいは縦振動モードのみを特別な装置を用いることなく、容易に検出すること。
【解決手段】 駆動用の電気機械変換素子１２（Ａ＋），１２（Ａ−），１２（Ｂ＋），１２（Ｂ−）および振動検出用の電気機械変換素子１２（Ｃ＋），１２（Ｃ−），１２（Ｄ＋），１２（Ｄ−）を備え、前記駆動用の電気機械変換素子１２（Ａ＋），１２（Ａ−），１２（Ｂ＋），１２（Ｂ−）に所定の位相差および所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、異なる２つの振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子を備える超音波モータであって、前記振動検出用の電気機械変換素子１２（Ｃ＋），１２（Ｃ−），１２（Ｄ＋），１２（Ｄ−）により縦振動モードおよび屈曲振動モードの双方の振動モードをそれぞれ独立した形で検出可能とされている。 （もっと読む）

【課題】モータの形状を大きくすることなく、棒状超音波モータの構造に直接、位置検出器（エンコーダ）および、スケールを組み込む。
【解決手段】棒状振動子を固定する支持部材に、移動体（ロータ）の移動量を検出するための移動量検出手段を備え、また回転出力部材にスケールを一体的に備えさせる。 （もっと読む）