【課題】ＢＧテープの貼付け張力によるウェーハの反りを防止して、ウェーハの吸着不良、落下等の不具合のないウェーハの搬送用パッドを提供する。
【解決手段】パッド１を加熱するためのヒータ２と、パッド１の温度制御用センサ２ａと、制御盤３とを備え、裏面研削後のウェーハ７の搬送時の真空吸着に際し、ヒータ２により円形基板１ｃが所定の温度に加熱されたことを温度制御用センサ２ａで検知確認して、パッド１をウェーハ７に当接させることによりウェーハ７のパターン面７ａに貼付けられたＢＧテープ８の貼付け張力を低減させ、ウェーハ７の反りを防止し、ウェーハ７のエッジ部とパッド１との密着状態を良好に保つ。 （もっと読む）

【課題】レバー部材に対する操作を停止させても掴んだ状態を継続し得ること、操作性を維持して気密性を高めること。
【解決手段】ハンドマニプレータに、トリガー状レバー部材３０２を引くと進出する作動棒３０３ｓと、これを進退自在に外装する、周側に貫通孔３０３ｐを開口したガイド管３０３ｇと、各貫通孔３０３ｐに挿入したクラッチボール３０３ｂと、クラッチボール３０３ｂを挿入した各貫通孔３０３ｐに対面させて配した傾斜面３０３ｔを有するクサビ面部材３０３ｗと、ガイド管３０３ｇに後退作用力を付与するバネ手段３０３ｄと、ガイド管３０３ｇを一時的に進出させる規制解除手段と、で構成する作用伝達軸３０７の後退動作規制手段３０３を付設し、支分伝達軸３０７ｄの後端と支分外装管３０８ｂの内周との間にダイヤフラム３１４を、ボール孔３０８ｂｈの外面側に弾性シート３１３ｓを配した。 （もっと読む）

【課題】ワーク置き場にワークを置く際に、ワークが受ける衝撃を小さくすることができ、かつ電気的構成が簡単なロボットハンド装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ロボットハンド装置１は、アーム部２とハンド部３とワーク置き場４とを備えており、ワークＷを所定の場所からワーク置き場４まで搬送する搬送モードと、ワークＷを解放しワーク置き場４に置く載置モードと、に切り替え可能である。ロボットハンド装置１は、アーム部２、ハンド部３、ワーク置き場４、ワークＷのうち、少なくとも一つを導通経路とする電気回路５０を備えている。載置モードにおいては、ハンド部３に把持されたワークＷがワーク置き場４に既に置かれているワークＷに接触することにより、電気回路５０が導通し、電気回路５０の導通をトリガーとして、ハンド部３がワークＷを解放する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な方法で物品に打痕などを生じさせず、均一かつ効率的な積付けを可能とする物品移載用ロボット装置を提供する。
【解決手段】物品受渡ステーション３において、物品供給手段４から受取った物品Ｗを、所定の積込み容器に積付ける物品移載用ロボット装置２であって、ロボットベース部２０と、ロボットベース部２０に回動自在に連結された多関節ロボットアーム部２１と、ロボットアーム部２１の先端に回動自在に連結されたロボットハンド部２３とを含み、ロボットハンド部２３は、バケット保持部８と、物品を収容するためのバケット部９からなり、バケット部９は、バケット保持部８に対して傾動可能に保持され、かつ角度調整駆動部１２によって傾き角度の調整が可能とされる。 （もっと読む）

【課題】把持部の交換をすることなく、複数種類の対象物を把持でき、対象物の上方に障害物が存在しても、対象物へのアクセスを容易に行えを提供する。
【解決手段】取出位置にある対象物を挟持して別の位置まで搬送する搬送ロボットのロボットハンドであって、種類が異なる第１および第２の対象物２，３をそれぞれ挟持する第１および第２の挟持部５，７を備える。第１および第２の挟持部５、７は、開閉駆動される共通のフレーム９に設けられる。第１の挟持部５は、フレーム９の閉動作により第１の対象物２を挟むように動作し、第２の挟持部７も、フレーム９の閉動作により第２の対象物３を挟むように動作する。 （もっと読む）

【課題】１つのアクチュエータを作動させることで複数の対象物を同時に挟持できるロボットハンドを提供する。
【解決手段】第１および第２の対象物２，３をそれぞれ挟持する第１および第２の挟持部５，７を備える。第１および第２の挟持部５，７は、開閉駆動される共通のフレーム９に設けられる。第１および第２の挟持部５、７は、フレーム９の閉動作によりそれぞれ第１および第２の対象物２，３を挟むように動作する。第２の挟持部７は、第２の対象物３を弾性力で挟持する弾性力付与機構１１を有し、第１の挟持部５が第１の対象物２を挟持している状態において、第２の対象物３と第２の挟持部７との間で前記弾性力が作用するようになっている。 （もっと読む）

【課題】地中或いは地表に遺棄された対象物の中から目標の対象物のみを確実に把持でき、落下等の発生が確実に防止できる危険物把持装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｗを吸着する真空吸引機構５５のバキュームパッド５８ａ〜５８ｄに対し、第１把持爪２２及び第２把持爪４２の基端側把持爪部２３、４３をバキュームパッド５８ａ〜５８ｄから離れる上方の開放位置に揺動して目標とする対象物Ｗとの接触を確実に回避した状態で目標とする対象物Ｗのみを吸着する。また、把持位置に揺動した第１把持爪２２の基端側把持爪部２３と第２把持爪４２の基端側把持爪部４３によって対象物Ｗを把持すると共に、バキュームパッド５８ａ〜５８ｄと把持位置に揺動した第１把持爪２２及び第２把持爪４２の各先端側把持爪２９、４９によって上下方向から対象物Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、布地等が床面等に平らな状態で存在する場合において、布地等にダメージや、汚れ、折り目を残すことなく、高確率で自動的にその布地等を把持することができ、且つ、製造コストをできるだけ低く抑えることができる把持装置を提供することにある。
【解決手段】本発明に係る把持装置１，２は、ハンド部２１を第１距離離間させ、下側のフィンガ部２１ｂが布地ＣＬ等の縁部に接触する位置（第１位置）まで把持機構２Ａを移動させる。次いで、同装置は、ハンド部を第２距離まで接近させる。続いて、同装置は、把持機構を第１位置よりも上後方の位置（第２位置）に移動させ、ハンド部を第３距離まで接近させる。その後、同装置は、フィンガ部２１Ａが第１１距離離間された状態で把持機構を少なくとも第２位置よりも前方の位置に移動させる。そして、同装置は、フィンガ部を第１２距離まで接近させる。 （もっと読む）

【課題】人手で布地等の把持作業が行われる場合、その把持作業を従来よりも簡素化することができ、自動制御で布地等の把持作業が行われる場合、布地等を把持するまでの工程を比較的少なくすることができる展開装置を提供する。
【解決手段】布地の展開装置は、展開機構状態変化機構であるロボット本体と、ロボットハンド２Ａを含む。ロボットハンド２Ａは、２組のハンド機構２１と、それらを接近離反させる第１１スライド機構２２Ａ、第１２スライド機構２２Ｂを含む。ハンド機構２１は１対のフィンガ部２１Ａを有する。布地ＣＬを把持するときは、２組のハンド機構２１を接近させフィンガ部の先端が斜め上方又は真横を向く状態とした後にフィンガを閉じて布地を把持し、その後把持したまま第１１スライド機構２２Ａと第１２スライド機構２２Ｂによってハンド機構２１を離間させる。 （もっと読む）

【課題】エアーの供給経路及び電気回線の分岐をロボットハンドユニットの回転部分に於いて行うことにより、固定フランジ側の複雑化、重量化を招くことなくエアーの供給経路及び電気回線を必要数確保する。
【解決手段】固定フランジ3のエアーの移送路22を回転軸4の連通路24と接続し、この連通路24をマニホールド31を介して複数の分岐流路26に分岐し、この分岐流路26を電磁弁34を介してロボットハンド6と接続して、各ロボットハンド6にエアーを供給可能とする。固定フランジ3に給電部35を固定し、給電部35を回転軸4の受電部37と接続回線38を介して接続する。受電部37に於いて、接続回線38を複数の分岐回線58に分岐し、この分岐回線58をロボットハンド6に接続する。 （もっと読む）