【課題】基板の搬送時間を十分に短縮できる基板処理装置およびその方法ならびに基板搬送装置を提供する。
【解決手段】インデクサブロックおよび処理ブロックからなる基板処理装置において、インデクサブロックと処理ブロックとの間で、基板ＷがインデクサロボットＩＲにより搬送される。インデクサロボットＩＲは上下に並ぶように設けられた複数のハンド要素２６０を備える。ハンド要素２６０間の距離は、インデクサブロックに搬入される基板Ｗが収納されたキャリアの基板収納溝間の距離と等しい。また、インデクサブロックおよび処理ブロック間に設けられる基板載置部ＰＡＳＳ２の上下に隣接する支持板５１ａ間（および支持板５２ａ間）の距離は、ハンド要素２６０間の距離の２倍である。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成によって、受光部に対する他の投光部からの干渉を防ぐことができる投光部および受光部の複数対からなる光学的検出手段を備えたロボットハンド装置を提供する。
【解決手段】 ハンド基体１１と、ハンド基体１１に上下に等間隔で取付けられた複数のハンド１２と、各ハンド１２上のワーク６の有無を検出する光学的検出手段１８とを含む。ハンド１２にワーク６を載せて目的位置に移送するためのワークの移載装置１であって、光学的検出手段１８は、各ハンド１２に対応して対を成す投光部１９〜２３および受光部２４〜２８の複数対から成り、各投光部１９〜２３および受光部２４〜２８の対は、ハンド基体１１に、各ハンド１２の幅方向両側に対向関係で配置され、投光部１９〜２３および受光部２４〜２８は上下に交互に配置され、かつ、各投光部１９〜２３と対向関係にある受光部２４〜２８と、それに隣接する他の受光部とは、幅方向に直交する方向に互いにずれた位置関係で配置される。 （もっと読む）

【課題】物品を把持する把持装置ヘッド構造を改良する。
【解決手段】把持爪機構１は、複数の開合可能な把持爪１１１を有し、該把持爪は、駆動機構１２と接続して該駆動機構の駆動力により開合する。該把持爪機構はさらに自転機構１３に接続し、該自転機構の駆動を受けて回転する。該把持爪機構は、自転機構の駆動によって本体を回転し、把持装置したい物品に対して、自身の回転角度を微調整し、操作上好適な方向に調整して対象とする物品を把持、或いはその重量によりプレスする。 （もっと読む）

【課題】異なる部品箱に収容されている２つのワークを連続的にピッキングすることができるロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットアームに取り付けられてワークをピッキングするロボットハンド１００であって、第１および第２のピッキング手段１１０ａ，１１０ｂと駆動手段１２０とを有する。第１および第２のピッキング手段１１０ａ，１１０ｂは、互いに独立的にワークをピッキングする。駆動手段１２０は、ワークをピッキングした第１のピッキング手段が他の部材と干渉することを防止するために、第１のピッキング手段１１０ａをピッキング位置から退避位置に移動させるとともに、第２のピッキング手段１１０ｂをピッキング位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】複数の部品を同時に取り出すことが可能であり、かつ、取り出した複数の部品を指定の場所に同時にリリースすることが可能な部品取り出し用ハンドを提供する。
【解決手段】ロボットアームに取り付けられる部品取り出し用ハンド１は、一方向に延伸するフレーム１１、フレーム１１の一端部の近傍に設けられ、各々独立して部品を把持可能な複数の把持手段１２、及びフレーム１１の他端部の近傍に設けられ、フレーム１１をロボットアームに連結可能な連結手段１３を備えており、複数の把持手段１２は、フレーム１１の延伸方向に沿って各々独立してスライド運動可能である。 （もっと読む）

【課題】部品をハンドリングした状態で位置合せ可能なハンドリング装置を提供する。
【解決手段】ハンドリング装置の真空吸着部１１は部品２を真空吸着して保持する。真空吸着部１１に配設された吸着力調整部材１５は、部品２と真空吸着部１１の吸着面１２との間にクリアランスを形成し、真空吸着力を減少させた状態で部品２を保持する。 （もっと読む）

【課題】微妙かつ応答性の速い部品取り替え制御が可能であるとともに、製作が容易で、しかも、装置全体の力学的な安定性が高い電動グリッパ装置を提供する。
【解決手段】門形フレーム４の両側の垂直枠部４ａ・４ｂ間に、中空体であるグリッパ旋回台５を軸支し、この中空のグリッパ旋回台内に第１及び第２の電動グリッパ６Ａ・６Ｂのモータを設置する一方、これら第１及び第２の電動グリッパの開閉する把持部材６８ａ・６８ｂを、グリッパ旋回台の第１の外面と第２の外面とに、レール６３と共に分けて装着し、このグリッパ旋回台を門形フレームに搭載された垂直旋回用モータ１３にて垂直旋回させることにより、第１電動グリッパの把持部材と第２電動グリッパの把持部材とを、門形フレームに対して下向きとなる第１の位置と、これよりも上向きとなる第２の位置とに位置交換できるようにする。 （もっと読む）

【課題】軽量で、高剛性なロボットハンド用フォークを提供すること。
【解決手段】中空構造の棒状部材を有し、前記棒状部材は長手方向に対する側壁面に１または複数の開口部を持つロボットハンド用フォークであって、前記開口部の周囲に補強構造体を設けることにより、開口部周囲の変形を抑え、高剛性を実現するロボットハンド用フォークを得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。
【解決手段】 基板８の両面の一方を吸着する第１保持部２，３と、他方に当接してそれを支持する第２保持部６，７と、基板を吸着した第１保持部を第２保持部側へ付勢する付勢手段４，５とで基板保持機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板を支持する支持部材を有する基板保持具がシステム構成部材と接触した場合でも、支持部材の損傷を極力回避できるようにする。
【解決手段】 基板保持具であるフォーク１０１は、スライダ１２７に固定されたピックベース１１７と、該ピックベース１１７に連結された支持部材として例えば４本の支持ピック１１９を備えている。支持ピック１１９は、中空の角筒状をなす本体１３１と本体１３１の先端に着脱自在に装着された保護部材としてのキャップ１３３とを有している。 （もっと読む）