【課題】被搬送物である配線基板の帯電を防止することにより、配線基板の歩留まりを向上することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口するエア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また非接触搬送装置では、吸引部２０とは別体にイオナイザを設け、イオナイザから放出されるイオンエアをエア吹出穴８１から噴出するエアとして用いる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とその保護シートの高速搬送を実現し、併せて、高精度で高品質の積載梱包を達成する。
【解決手段】ガラス基板梱包装置は、保護シート３上にガラス基板４が載置される載置ステーションと、保護シート３とガラス基板４とを交互に積載する積載ステーションと、保護シート３上に載置されたガラス基板４を保護シート３と共に保持し、積載ステーションに積載する積載手段としてのガラス基板積載装置とを備える。ここで、ガラス基板積載装置を構成するロボットアームは保護シート３およびガラス基板４を保持する保持部４３を有し、この保持部４３は、ガラス基板４を吸着する複数の吸着パッド４５と、載置された状態のガラス基板４からはみ出た保護シート３の辺縁部分のうち互いに対向する２つの辺縁部３ａ，３ｂを挟持する挟持部４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークからの部品の取り出しを吸着力を変化させることにより行う。
【解決手段】ワークＷに板取りされ加工された部品Ｐｓを取り出す部品取出装置であり、ワークＷに対し移動自在であり、部品Ｐｓを保持する吸着パッドＰａｄを複数箇所に有するアーム２１Ａと、各吸着パッドＰａｄの部品Ｐｓを保持する機能を各吸着パッドＰａｄ毎にオン状態又はオフ状態の切り換え制御を行うとともに、オン状態の場合に各吸着Ｐａｄの部品Ｐｓを保持する保持力を制御する制御手段２７ａとを備える。そして、制御手段２７ａは、吸着パッドＰａｄの部品Ｐｓを保持する力を変化させ、部品ＰｓをワークＷから取り出す制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 板状体、特に太陽電池素子を破損させることなく搬送することが可能で、かつ摺動部に微粒子などの粉塵の侵入を抑制することが可能な吸着搬送装置を提供すること。
【解決手段】 複数の貫通孔が形成される昇降基板と、前記昇降基板の貫通孔を通して下向きに設けられる摺動可能な吸着手段とを備える、板状体の吸着搬送装置であって、前記貫通孔の底面側開口部を囲むように中空状の防塵部材が設けられる、板状体の吸着搬送装置。 （もっと読む）

【課題】取出し対象のワークの周囲にある物との干渉が起こりにくいワーク把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１は、吸着力によりワーク５を保持可能な吸着パッド２２、および、それが一端に取り付けられた棒状部２１を有する一次捕捉機構２０と、ワーク５を挟み込んで保持する把持爪３１，３２と、駆動装置５０、および駆動装置５０の駆動力を把持爪３１，３２に伝達する伝動機構４０と、を有している。伝動機構４０は、把持爪３１，３２が吸着パッド２２よりベース板１０側に位置する退避位置と、把持爪３１，３２が吸着パッド２２を越えて突出する把持位置との間で、把持爪３１，３２を棒状部２１の軸線方向に移動させ、かつ、把持爪３１，３２を、棒状部２１の軸線方向に把持位置へと移動させるのと同時に、把持爪３１，３２の間の距離を狭めるように移動させる。 （もっと読む）

【課題】一つのロボットハンドによって、種々の把持対象物の形状や性質に合わせて、異なる向きに安定に把持することができるようにする。
【解決手段】多角形リンク機構１８は、少なくとも４個のリンク３０ａ、３０ｂ、３１ａ〜３１ｄと、これらのリンクそれぞれに取り付けられて互いに隣接するリンク同士を回動可能に連接するヒンジ３２ａ〜３２ｈと、を備える。リンク同士がヒンジを介して直列に環状に連接されて多角形を形成する。互いに対向するヒンジまたはリンクに直動駆動機構が配置されてそれらのヒンジまたはリンク同士の間隔を拡張収縮させる。直動駆動機構の動作によって互いの相対的向きが変化する少なくとも３個のリンクのそれぞれに指１１ａ〜１１ｄが固定されている。多角形リンク機構の拡張収縮に伴い指の配置位置が可変できる。 （もっと読む）

【課題】自在に曲げ変形或いは撓み変形した状態でも回転力を伝達できるフレキシブルシャフトを用いることにより、設計自由度が高く、且つ、十分に実用性のあるロボットハンドの駆動機構を提供する。
【解決手段】モータの回転力が減速機２０を介して入力されるロボットハンド１０の駆動機構であって、前記モータの回転力は、ガイドチューブＧで外周が覆われたフレキシブルシャフトＳを介して、前記減速機の入力軸２０に伝達される、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、駆動源からの動力が伝達される複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、リンク機構２０の動作先端部において隣接する第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒによって連結され基板１０を載置するための載置部５とを備える。載置部５には、基板１０の側部と当接して係止するための係止部５ａ、５ｂが設けられる。リンク機構２０の隣接する第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒには、基板１０の側部と当接し基板１０を載置部５の係止部５ａ、５ｂに対して付勢する付勢部６ａを有する弾性の付勢部材６が固定される。付勢部材６は、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの相対的な角度関係に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに対する付勢部６ａの距離が変化するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４ａを積層した積層板４を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板４の表面に静電消失層５が形成され、積層板４の加工端面に端面保護層６を形成した搬送用治具１。 （もっと読む）