【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチの変更動作を行う場合であっても、構成の簡素化が可能でかつハンドに搭載される基板を適切に把持することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、所定のピッチで上下方向に重なるように配置される基板の搭載部を有する複数のハンドと、搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構と、ハンドに搭載される基板を把持するための把持機構２４とを備えている。把持機構２４は、複数の基板の把持部８０と、基板の把持方向へ把持部８０を付勢する複数の付勢部材と、把持部８０に当接して基板からの退避方向へ複数の把持部８０を移動させる移動部材８２とを備えている。複数の把持部８０および複数の付勢部材のそれぞれは、複数のハンドのそれぞれに保持され、移動部材８２は、把持部８０が基板を把持しているときに把持部８０から離れている。 （もっと読む）

【課題】異なる高さに積層されているシート状部品を、吸着して取り出し、ワークテーブルに搬送してセットする自動装置を提供する。
【解決手段】吸着体ホルダーの先端に吸着体２を設ける。この吸着体と該ホルダーのセンターに配置して、コイルバネを設けた可動ピンを、吸着体ホルダーに貫通させて装着する。さらに、この該ホルダーを保持体５に挿入して設ける。次に、保持体の内部の適当なる位置に、近接センサーを設ける。また保持体の側面よりホースニップルを取付けて、吸着体ホルダーに繋止して設ける。さらにホースニップルに、ソレノイドバルブへ接続された、エアチューブを装着する。最後に、搬送ロボットアーム１０に設けられた、ホールド基体１１に、保持体を装着する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板の高速移送時に生じる風によって、基板表面に塗布された塗膜に発生する塗膜の変形、波打ち等の塗膜欠陥や、さらには塗膜表面への異物付着を低減する手段を備えた基板移載装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】基板を積載保持するハンド部を有する基板移載装置であって、ハンド部に積載した基板を上から覆う風拡散板を有し、該風拡散板は一端部がハンド部の付け根部分に固定されていることを特徴とする基板移載装置。 （もっと読む）

【課題】取り扱う対象物の変形を抑制すること。
【解決手段】グリッパ１は、基部６と、基部６に取り付けられる温度調整手段２と、温度調整手段２に取り付けられる対象物保持部４と、対象物保持部４に設けられる温度応答性ポリマー５と、温度応答性ポリマー５の温度を検出する温度検出手段３とを含む。温度応答性ポリマーは、温度に応答して構造を変化させる高分子材料であり、ポリ（Ｎ−イソプロピルアクリルアミド）が用いられる。温度調整手段２は、温度応答性ポリマー５の温度を変化させることにより、グリッパ１が保持する対象物を対象物保持部４に保持し、又は前記対象物を対象物保持部４から解放する。 （もっと読む）

【課題】複数種類のワークに対して柔軟な対応を行うことができる安価なロボットハンド装置を提供する。
【解決手段】ワークをハンドリングするロボットハンド装置２０は、ロボット１に取付けられるハンドベース２１と、ワークを把持する把持部をそれぞれが備えている少なくとも二つのアーム３０ａ〜３０ｃと、アームに取付けられていてアームをハンドベースに磁力で結合する磁力発生部３９とを具備する。さらに、少なくとも二つのアームのうちの一つのアームを一時的に保持するアーム保持機構部５０を具備してもよい。 （もっと読む）

【課題】大きさの異なる電子部品に、より対応することが可能なＩＣハンドラを提供する。
【解決手段】このＩＣハンドラ１は、電子部品を吸着する吸着ノズル８６８と、水平面内のＸ方向およびＹ方向に各々独立して移動することが可能な８つの移動ユニット８９とを備え、各々の移動ユニット８９毎に１つの吸着ノズル８６８を装着可能で、かつ、少なくとも２つの移動ユニット８９に対して１つの吸着ノズル８６８を装着可能なように構成されている。 （もっと読む）

電子デバイス製造システムのシステム構成要素間で基板を輸送するためのシステム、装置、および方法が提供される。システムおよび装置は、基部と、基部上の電極対と、基板を電極対から隔置して電極対と基板との間に間隙を提供するスペーサ部材とを有する静電エンドエフェクタを含む。本発明の方法、ならびに多数の他の態様が提供される。
（もっと読む）

【課題】電子部品を順次移動させ工程処理を施すにあたり、電子部品に対する精密な荷重管理を可能とし、荷重制御の高精度化を実現可能な保持手段駆動装置を提供する。
【解決手段】ボイスコイルモータ１４０３は、電圧と加える推力が比例関係であることを利用して、制御装置１４０６を通じて所定の電圧が加えられることで、操作ロッド１４０１に対して一定の推力を与えている。このボイスコイル１４０３では、操作ロッド１４０１に加える一定の推力の範囲内において、操作ロッド１４０１により吸着ノズル１１０１を介して電子部品３に荷重を加えることで反作用的に加わる当該操作ロッド１４０１からの反作用荷重が必要以上に大きくならないよう保障する。 （もっと読む）

【課題】ロボットハンドの周りに配置されるチャックへのエアー供給用の外部配管を削減できるロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットハンド３は、産業用ロボットのアームに装着されるハンド本体部３１と、エアー駆動によりワークを把持するチャック４の取付けが可能なハンド先端部３２とで構成されている。このロボットハンド３の内部には、外面に設けられた１つのエアー入口開口３５０を始端とする１本の流路３５ｐから、電磁弁５０の入力ポートに終端が接続した流路５ｐにエアーを供給する経路が形成されるとともに、電磁弁(切換弁)５０の出力ポートからチャック取付け面３２０のエアー出口開口３２ｊまで各流路５ｑ、３７ｐ、３２ｐが形成されている。このようなロボットハンド３の内部配管を設けることにより、ロボットハンド３の周りに配置されるチャック４へのエアー供給用の外部配管を削減できる。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、その動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され、基板１０を載置するための載置部５とを備え、載置部５には、基板１０の側部と当接して係止する係止部５ａ、５ｂが設けられる。第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの先端部には、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒに設けられた凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒによって駆動される従動機構部６とを備える付勢手段９が設けられる。従動機構部６は、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと係合摺動可能な長孔６２を有する従動部６１と、従動部６１の長孔６２内における凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒの移動に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに向って案内移動される付勢部６ａとを有する。 （もっと読む）