【課題】軽量であるとともに、吸付け時と解放時において薄板ワークがチャックのエッジに接触しない吸引チャックを提供する。
【解決手段】薄い平板状のワーク９０を吸引して非接触状態で保持する吸引チャック１０は、平板状の本体１１と、対向面３１と、を備える。本体１１の内部には、圧縮空気の流路が形成される。対向面３１は、ワーク９０と対向する側に本体１１が備える面であって、圧縮空気を噴出することで負圧を生じさせる吸引要素としての凹部４１が複数形成される。対向面３１と垂直な方向で見たときに、当該対向面３１は、ワーク９０の形状を完全に包含し得るように、ワーク９０と相似形状（若しくは、ワーク９０の形状を外側にオフセットした形状）に構成される。対向面３１と垂直な方向で見たときに、全ての凹部４１はワーク９０の形状に包含され得るように配置される。 （もっと読む）

【課題】組立性、分解性に優れ、維持管理が容易なエジェクタ付吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着パッド２０の下方から、保持スタッド１２０が挿入され、その先端部はアダプタプレート４０に挿入され、外部に露呈する保持スタッド１２０のロックプレート溝１３４にロックプレート１００の小径部１０６が係合し、保持スタッド１２０とロックプレート１００とが一体化する。アダプタプレート４０に、その側壁部を利用して、エジェクタ２００が固着される。ロックプレート１００を覆っているアダプタプレート４０に取付けられた取付用ブラケット８０には、ボルト９０を利用してロボットアーム等の移送手段が固着される。 （もっと読む）

【課題】安価で自由度が高く、かつ水平方向及び上下方向のいずれについても高精度の位置決めが可能なフローティング機構を備えたロボットハンドの提供。
【解決手段】ロボットハンド１０は、ロボットアーム１２の先端部に取り付けられて第１の軸線方向に可動な第１のリニアガイド２０と、第１のリニアガイド２０に可動に設けられて第２の軸線方向に可動な第２のリニアガイド２６と、第２のリニアガイド２６に可動に設けられて第３の軸線回りに回転可能な円形の軸受け３２と、軸受け３２に接続された保持機構３４とを有し、第１〜第３の軸線は互いにゼロ度でない角度をなし、ロボットハンド１０は第１の軸線及び第２の軸線をいずれも水平にした状態で使用される。 （もっと読む）

【課題】プレスブレーキへ供給し位置決めするワークを吸着保持するワーク保持手段と、ワークをクランプするワーク保持手段とを備えたワーク搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ワーク位置決め部に、予め位置決めされている板状のワークを、板材折曲げ加工機へ供給し、折曲げ加工された製品を製品格納部へ搬送するワーク搬送ロボットであって、ワーク搬送ロボットにＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動自在に備えたロボットヘッド１５にＺ軸方向の主回転軸１７を回転自在に備え、主回転軸１７に一体的に備えたビーム部材８９を、主回転軸１７に対して直交するＸ軸方向に長く設け、ビーム部材８９に、ワークを吸着自在な吸着手段２５を備えた第１ワーク保持手段２７を備えると共にワークをクランプ自在なワーククランプ６５を備えた第２ワーク保持手段２９Ｌ，２９Ｒを備え、第２ワーク保持手段２９Ｌ，２９Ｒを、ビーム部材８９の長手方向であるＸ軸方向へ移動可能に備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成を有しているとともに、対象物を変形させ難い吸着装置を提供する。
【解決手段】 対象物７０を吸着する吸着装置１０であって、絶縁体により構成されており、表面２２に吸引口２６が開口している吸着板３０と、前記吸引口２６内を減圧する減圧手段５０と、減圧手段５０を制御する制御手段５６とを備えており、制御手段は５６は、吸着板３０の前記表面２２が対象物７０と対向しているときに、減圧手段５０を作動させて、対象物７０を吸着板３０の前記表面２２に吸着させる第１ステップと、第１ステップの後に、減圧手段５０を停止させる第２ステップを実行し、第２ステップの後に、吸着板３０から生じる静電気力によって、対象物７０が吸着板３０の前記表面２２に吸着された状態が維持される。 （もっと読む）

【課題】狭ピッチで配列された移載被対象物に対しても使用でき、且つ、移載被対象物のセンタリングが可能な移載装置を提供することにある。とりわけ、移載被対象物がセラミック成形体、セラミック乾燥体、セラミックス焼成体、又はガラスである移載被対象物でも使用でき、製品の寸法ばらつき（真直度）があっても破損なく移載可能な移載装置を提供する。また、爪の開閉などが無理な狭ピッチに配列された移載被対象物に対して使用できる。
【解決手段】頭頂部３ａを備えた移載被対象物３を、鉛直方向の上から吸着保持可能な吸着パッド部５と、移載被対象物３の姿勢を制御可能な姿勢制御体７と、を備え、移載被対象物３を移載することができる移載装置１。 （もっと読む）

【課題】保護フィルム等の副材を基板に貼付することなく、極薄の半導体基板をパッドで破損させることなく搬送できる方法の提供。
【解決手段】基板保持用パッド１９面を半導体基板面ｗ上に押し付けて半導体基板を基板保持用パッド面に保持させ、然る後にアーム１の移動により半導体基板を保持する基板保持用パッドを第二加工ステージ上へと移送し、基板保持用パッドとパッド保持基板とで形成された前記流体室２ｃに加圧流体を供給して基板保持用パッドを膨張させることにより半導体基板を前記第二加工ステージ上へ載置する。 （もっと読む）

【課題】装置自身の機能性、効率及び寿命を改善し、さらに容積を最小化することが可能で安価な真空作動式ハンドリング装置を提供する。
【解決手段】チャンバ内には、第一端に隣接する後退位置と、本体１１の第二端に隣接する前進位置との間で移動可能なピストン１４が収容される。ピストンは第二端から出て把持端吸引機を支持する軸方向貫通ロッド１５を備え、ピストンを後退位置へ移動させる戻りばね２３へ接続される。ピストンは第一端に隣接するチャンバの第一部と、ピストンロッド１５の側のチャンバの第二部とに分割する。第二チャンバは、ピストンを前進させるため、真空ポンプと直接連通する一方、第二チャンバは環状区画と、ガイドシリンダ１３の上端の少なくとも１つの通路３１とを通して、真空ポンプと連通し、吸引機がオンの場合、ピストンを後退位置へ戻すため、ピストンの軸方向孔と連通する。 （もっと読む）

【課題】シート状のワークを傷付けずに高速でハンドリングする。
【解決手段】シート状の電極板Ｗが接するワーク吸着面１３、真空吸引される真空吸引空洞１２ａ、及び、ワーク吸着面から真空吸引空洞へ連通している吸引開口が形成されているチャック体１０と、第一開口２１、第二開口２２、第三開口２３が形成されていると共に各開口相互を接続する流路が形成されている弁ケース２４、及び、弁ケース内を移動する弁体２５を有する三方弁２０と、を備えている。チャック体１０と三方弁２０の弁ケース２４とは一体である。 （もっと読む）

【課題】ベルヌーイチャックで吸引保持した基板を、規制体で所定姿勢に位置保持する基板移載装置において、規制体の規制機能の回復をより少ない手間で簡便に行うことができるようにする。
【解決手段】基板Ｗの表面に平行な方向の滑り移動を規制するガイド５３をガイド取付部材５１に対して着脱自在に構成する。これにより、規制体５０の全体の交換を要することなく、ガイド５３のみを交換するだけで、規制体５０の規制機能を回復することができる。従って、規制体５０の全体を交換する形態に比べて、規制体５０の規制機能の回復に要する費用や手間を抑えることができる。 （もっと読む）