【課題】Ｗｅｔ処理装置（洗浄装置あるいは現像装置等液体を用いるプロセス処理機）内の基板搬送にも適用可能で、配管系の不要なコンパクトな基板吸着装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、基板を気密に吸着するためのラッパ状の吸着口を備えるゴムパッド８と、前記ゴムパッドの基部を膜保持ハウジング３０を介して気密に被覆するダイアフラム膜７と、前記ダイアフラム膜７を変形させるための圧力制御ブロック３と、を有することを特徴とする基板吸着装置である。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板を吸着パッドにより下側に保持して搬送し、基板を真空吸着して保持するワークステージ上に載置するための基板搬送アームにおいて、搬送アームの移動中に基板が吸着パッドから外れたとしても、簡便な手段により落下することを防止する。
【解決手段】複数の吸着パッド１を備え、基板を真空吸着し下側に保持して搬送する基板搬送アーム１０において、回転軸部により回転可能に取り付けられた腕部と、該腕部に取り付けられ該周縁の吸着パッド１の下側に突出する捕手部と、該腕部の先端に位置する滑走部からなる、一対の落下防止具２０、２０が、前記複数の吸着パッド１のうち、周縁に位置する吸着パッド１の一部に隣接して配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットを分解することなく移送でき、容易に設置できる及び生産設備の製造方法を提供する。
【解決手段】台座と、台座に立設され少なくとも上側ブロックと下側ブロックとを有するコラムと、コラムに設けられコラムに沿って移動する移動機構と、移動機構に連結された支持部材と、支持部材に支持され複数の関節を有するアームと、を有する多関節ロボットであって、上側ブロックが横倒し状態にまで揺動可能となるように上側ブロックと下側ブロックとを連結する可動部材と、上側ブロックが横倒し状態となった状態で上側ブロックを固定する固定部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】基板の変形を抑えて基板の受け渡しができること。
【解決手段】基板を保持し、支持部によって支持される基板保持部材であって、前記基板が載置される載置面を有する基板載置部と、前記基板載置部と一体的に設けられ、前記載置面を含む面内に位置する所定軸を中心として前記基板載置部が回転可能なように前記支持部によって支持される被支持部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の基板移動方法に関し、大気搬送部分での、第１エンドエフェクタと第２のエンドエフェクタでの搬送機構を提供する。
【解決手段】半導体基板を第１位置から第２位置に移す装置。該第１及び第２位置は個別的な支持領域において複数の該半導体を保持するようになされている。その装置は、個別的に支える半導体の異なった最大数の支持領域をおのおのが有する２つの基板保持エンドエフェクタ４６，４８を有する搬送機構を含む。該半導体は該第１位置から該第２位置へと該第１エンドエフェクタ４６によって搬送され、該第２位置又は該第１位置における空の個別的支持領域が該第１エンドエフェクタ４６上の支持領域の該最大数よりも小さいときは、該第１位置から該第２位置へと該第２エンドエフェクタ４８を用いて基板を搬送する。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】縦置きのワークを取り出して搬送することができるベルヌーイチャックを提供する。
【解決手段】本発明に係るベルヌーイチャック１は、ワークＷを非接触状態で吸着保持するもので、流路部材１１の流路を開閉する開閉弁１３と、吸着保持板３１の先端側の前記吸着面３１ｄに対して出没可能に設けられて突出状態において前記ワークＷの移動を規制する可動ストッパ３６と、前記開閉弁１３の開閉および可動ストッパ３６の出没を切り替えるスイッチ機構５とを備える。スイッチ機構５は、開閉弁１３を閉じ、且つ可動ストッパ３６を埋没させる第１切替状態と、開閉弁１３を開き、且つ可動ストッパ３６を埋没させる第２切替状態と、前記開閉弁１３を開き、且つ可動ストッパ３６を突出させる第３切替状態とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】基板吸着時の基板振動が抑制され、安定して基板を吸着保持することができる基板吸着装置の提供。
【解決手段】基板吸着装置は、高速流体を流出口Ｅから流出してベルヌーイ効果により吸着対象基板７を吸引する吸着部１と、流出口Ｅから吸着対象基板方向に所定距離を空けて流出口Ｅを囲むように配置され、吸着部１により吸引された吸着対象基板７に当接するパッド４とを備える。パッド４が流出口Ｅを囲むように配置されているので、吸着対象基板７がパッド４の当接したときの振動の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】単一の支持部材において必要に応じて正圧吸引と負圧吸引とを切り替えて板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２とを備えて構成されている。支持手段１１は、単一のアーム部材１５と、この単一のアーム部材１５に設けられた負圧吸引手段１６及び正圧吸引手段１７とを備えている。負圧吸引手段１６は、気体を吸引することでウエハＷを吸引支持可能に設けられる。正圧吸引手段１７は、ウエハＷの一方の面に気体を噴出することによりウエハＷを吸引支持可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】搬送条件に応じて正圧吸引と負圧吸引との少なくとも一方を使用して板状部材を支持することができるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷを厚さ方向両側から挟み込む位置に設けられた第１及び第２の支持手段１１、１２と、これらの支持手段１１、１２を移動可能に設けられた移動手段１３とを備えて構成されている。第１の支持手段１１は、気体を吸引することでウエハＷを吸引して支持する負圧吸引手段１６を備えている。第２の支持手段１２は、ウエハＷに気体を噴出することで当該ウエハＷを吸引して支持する正圧吸引手段２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送中の板状部材において、支持手段により支持される面と反対側の面に接触しないようにしつつ、板状部材が支持手段に対して移動することを防止できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、ウエハＷの一方の面側から当該ウエハＷを吸引支持可能に設けられた支持手段１１と、この支持手段１１を移動可能に設けられた移動手段１２と、支持手段１１に支持されたウエハＷの他方の面側から離れて位置し、支持手段１１の吸引支持を補助可能に設けられた補助手段１３とを備えて構成されている。補助手段１３は、ウエハＷに気体を噴出することでウエハＷを支持手段１１側に付勢可能に設けられ、支持手段１１による吸引力を一定としても、ウエハＷの支持力を増大できる。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において、複数の吸着部材の吸着面高さを容易に一致させて精度よく保持すること、及び被搬送物とは反対の方向に負荷が加えられた場合には容易に十分な変位を生じて負荷の加えられた吸着部材のみを容易に一時的に吸着から離脱可能な吸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の吸着装置は、複数の吸着部材４０を備え、当該吸着部材における吸着面４１に被搬送物２を吸着して保持し、ベース部材２０と、当該ベース部材上に設けられ、且つ上記ベース部材２０に保持される板状保持部材３０とを備え、上記吸着部材４０は、吸着時にかかる圧力に耐える剛性を有し、板状保持部材３０に保持され、その吸着面４１が、ベース部材２０における板状保持部材３０が設けられている側の面とは反対側の面側に位置し、ベース部材２０における板状保持部材３０が設けられている側へ当該板状保持部材３０の弾性変形により変位可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】保持対象物を載置する区画に対して、保持対象物を載置又は取り上げる際の、当該区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができるチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】チャッキング装置は、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、吸引保持パットによって保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、第二の吸引保持面の面方向が、第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備える。 （もっと読む）

【課題】保持端末の吸着端面に対する保持対象物の姿勢を一定に保ち、吸着端面に対する保持対象物の姿勢が一定でなくなって傾くことに起因して、吸着端面と保持対象物との間の隙間が保たれなくなり、吸着端面と保持対象物とが接触することなどを抑制できる吸引保持ハンド、吸引保持方法、及び搬送装置を提供する。
【解決手段】吸引保持ハンドは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生ずる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持ハンドであって、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面を有する吸引パットと、吸引パットに吸引されて吸引保持面に臨む位置に在る保持対象物の面に略連続する被吸引面に対向し、被吸引面に圧縮気体を吹き付けることが可能な位置に配設された複数の吹出し孔を有する気体吹出し装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】物品を非接触で保持する物品保持装置において、物品の保持及び解除を迅速に行えるようにする。
【解決手段】物品保持装置２０は、ガラス基板を非接触で保持する装置であり、装置本体２１と、ファン制御部３０と、を備えている。装置本体２１は、ケース２２と、ファン２４と、吸い込み口２６と、吹き出し口２８と、を有している。ケース２２は、ガラス基板に対向可能な物品対向部４２及び内部に設けられた空間４０ａを有している。ファン２４は、ケース２２の空間４０ａに配置され、気体を吸い込んで吹き出す。吸い込み口２６は、ファン２４の吸い込み側と連通する。吹き出し口２８は、吸い込み口２６と異なる位置で物品対向部４２に配置され、ファン２４の吹き出し側と連通する。ファン制御部３０は、ガラス基板を保持可能にファン２４の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】位置検出センサーを設けるたり、位置ズレ量を求めたり、位置補正をしたりすることによる、費用増加や搬送時間の増大をきたすことなく、保持対象物又は搬送対象物を、搬送装置や保持対象物又は搬送対象物の着座位置に対して位置決めすることができる吸引保持ハンド、搬送装置、保持方法、着座方法、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】吸引保持ハンドは、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持ハンドであって、旋回流発生室が開口しており、水平方向に対して傾いている吸引保持面と、傾いた吸引保持面における鉛直方向において低い側に配設された、吸引保持面に平行な方向の少なくとも２方向への保持対象物の移動を規制する規制部材と、吸引保持面及び規制部材を支持する支持部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】複数のエジェクタ１５をロボットアーム５に搭載した上で、基板Ｗに反り等の変形がある場合でも、ロボットハンド１による保持力を十分に確保して、基板Ｗの移送作業の能率向上を図ること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面を吸着可能な複数の吸着パッド１３が設けられ、各吸着パッド１３がエジェクタ１５に接続され、ハンド本体７における各吸着パッド１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２７が形成され、各吸込孔２７が空気を吸い込む送風器２５に接続されていること。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの重量、ロボットハンド１の加減速が大きくなっても、基板Ｗに傷が発生することを十分に抑えつつ、基板Ｗを移送すること。
【解決手段】ハンド本体７に基板Ｗの裏面当接可能な複数の当接ピン１３が設けられ、ハンド本体７における各当接ピン１３の周縁部に基板Ｗの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔２１が形成され、各吸込孔２１が空気を吸い込む送風器１９に接続されていること。 （もっと読む）