【課題】 湾曲した板状物を平坦に固定可能な板状物の固定方法を提供することである。
【解決手段】 片面が凸面で反対の面が凹面となるように湾曲している板状物を、平坦な保持基板に接着剤を介して固定する板状物固定方法であって、載置台上に保持基板を載置する保持基板載置工程と、該保持基板の上面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、該板状物の凸面側を上にして該保持基板に塗布された接着剤の上に該板状物を載置する板状物載置工程と、該板状物との面積比が２０〜６０％の平坦な底面を有する該板状物と相似形の押圧部材を、該板状物の中央付近に位置づけて該板状物の凸面に上方から押し当て、該保持基板側に押圧して所定時間保持する押圧部材押圧保持工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特にアズグロンインゴットのような座り精度の悪いインゴットの切断においても、カケ、チップ及びクラックの発生を抑制でき、製品歩留りを向上させることができるインゴット切断装置及び切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上面がＶ字形状に形成され、インゴットが水平に載置される切断テーブルと、前記インゴットを切り出しブロック部と保持部に切断するためのブレードとを有し、前記インゴットの保持部をクランプによって保持しながら前記ブレードを相対的に上方から下方に送り出すことによって前記インゴットを切断するインゴット切断装置であって、切断時の前記インゴットへの衝撃を緩和する緩衝材が前記切断テーブルの上面に設けられ、該緩衝材は、前記インゴットの切り出しブロック部が載置される部分の硬度が前記インゴットの保持部が載置される部分の硬度より小さいものであることを特徴とするインゴット切断装置。 （もっと読む）

【課題】研削対象である単結晶インゴットの形状把握を十分に可能とし、効率良く円筒研削することができる単結晶インゴットの円筒研削方法を提供する。
【解決手段】インゴットの外周における複数の箇所で、それぞれ軸方向に沿ってインゴットの加工中心軸からの径方向寸法を測定する（ステップ＃５）。寸法測定を行った箇所ごとに、測定された径方向寸法から実研削代の軸方向分布を算出し、予め設定された設定研削代と実研削代とを比較し、設定研削代を超える実研削代を有する部分を特定する（ステップ＃１０、１５）。特定された部分全てに対し砥石を移動させて部分研削を行った後（ステップ＃２０）、インゴットの全長にわたり砥石を移動させて全長研削を行う（ステップ＃２５）。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化プラスチック板等の構造部材（主翼・尾翼・胴体等）やジュラルミン板、その他合成樹脂板、金属薄板等々を任意形状に切断された端面を仕上げ加工する両端把持刃具と両端把持刃具の保持装置を提供する。
【解決手段】両端把持刃具１００は、中央位置に刃部１０を備え、両端位置に把持部２、３を備えたものとした。刃部は、エンドミルや研削砥石で構成した。また、両端把持刃具の保持装置は、加工機の回転駆動軸に連結する回転主軸等を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】インデックス型ロータリーテーブル２にサーボモータ３ｍによりセンター軸を回転させる主軸台３ｒの４台と心押台３ｆの４台よりなるクランプ機構３を同一円周上に等間隔にかつ、縦方向に４基設け、この４基のクランプ機構の位置でインデックス型ロータリーテーブル２上のワークピースｗ位置を、ローディング／粗研削砥石を用いるコーナー部粗研削加工／アンローディングステージ（ｓ_１）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面研削加工ステージ（ｓ_２）と、仕上げ研削砥石を用いるコーナー部仕上げ研削加工ステージ（ｓ_３）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面仕上げ研削加工ステージ（ｓ_４）の四つの研削加工ステージに区分けしたインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】被切断材から一定の長さを有する複数の切断部材を効率的に切り出すことができると共に、切断部材の端部が斜めに形成されることを防ぐ切断機を提供する。
【解決手段】外周面に、棒状の被切断材Ｗを収容する回転軸方向の収容溝１１を形成すると共に、収容溝と直交して収容溝よりも深く切り込まれる複数のスリット１２を、回転軸方向に所定間隔をおいて形成してなる回転ドラム１０と、回転ドラムの外周面に巻き付けられて被切断材を収容溝に保持させる押圧ベルト４０と、回転ドラムに隣接して複数のスリットごとに配置され、刃先が押圧ベルトを貫通し収容溝を越えてスリットに進入した状態で回転可能な複数の回転刃５１Ａと、を備え、回転刃５１Ａを回転させた状態で回転ドラム１０を回転させることにより、収容溝１１内に保持されて周方向へ送られる被切断材Ｗを複数の回転刃によって同時に切断可能とした。 （もっと読む）

【課題】 複数の被加工物を同時に研削可能な研削方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物の研削方法であって、外周部が環状フレームに貼着された粘着テープ上に複数の被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、該粘着テープ上に貼着された該複数の被加工物を保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持テーブルで保持された被加工物の厚みを厚み測定手段で測定する加工前厚さ測定ステップと、該保持テーブルで保持された該複数の被加工物を研削手段で所定の厚みへ研削する研削ステップと、該研削ステップを実施した後、該被加工物の厚みを厚み測定手段によって測定する仕上げ厚さ測定ステップと、該仕上げ厚さ測定ステップで測定された該被加工物の厚みが該所定厚みに達していない場合に、該複数の被加工物を該研削手段で所定の厚みへ再度研削する再研削ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤボンディングによる接続なしで研磨量などの加工量検知を実現する技術を提供する。
【解決手段】研磨装置において、被研磨物２上に研磨により体積が変化する伝導性パターンで形成した容量５と、伝導性パターンで形成した被研磨物側インダクタ４を有し、容量５と被研磨物側インダクタ４はＬＣ共振器を構成している。また、研磨量検出器７に接続した検出用基板１に伝導性パターンで形成した検出側インダクタ３を有し、被研磨物側インダクタ４と検出側インダクタ３の電磁結合を介して、検出側から被研磨物側を見たインピーダンスをＲＦ検出する。研磨により被研磨物２上の容量５が変化し、それに応じてＬＣ共振器の共振周波数変量を研磨量検出器７でモニタすることで研磨量を算出する。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板等の研磨工程において、研磨装置の研磨面上に設置されたガラスディスクスペーサにガラスディスクを収容する際に、作業者がガラスディスクを慎重に時間をかけて配置しなければ、ガラスディスクの端面にクラックや欠けが生じる。
【解決手段】ガラスディスクスペーサの有する複数の孔と同じ位置にガラスディスクを収容する複数の孔を有し、ガラスディスクスペーサに対して回転自在に設置される下部体と、ガラスディスクスペーサの有する複数の孔と同じ位置にガラスディスクを収容する複数の孔を有し、ガラスディスクスペーサおよび下部体に対して回転自在に設置される上部体と、を具備するガラスディスク収容冶具をガラスディスクスペーサに取り付けて、ガラスディスクをガラスディスクスペーサに収容する。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板等を研磨装置等に配置する場合において、ディスクに傷等の不具合を発生させることなく、ディスクを１枚ずつ所定の位置に短時間で配置する。
【解決手段】本発明のディスクディスペンサは、複数のディスクの内周孔に貫入する円筒形のフレームと、前記フレームの終端にあって、前記フレームと部分的に間隙を有し、かつ、前記フレームの外周面から部分的に突出する突出板と、前記フレームの終端と前記突出板との間隙から前記ディスクを押してスライドさせるスライダと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】研磨材を研磨装置へ平滑に固定でき、また被研磨体の鏡面研磨が容易にできて、さらに研磨液に曝されたときにも密着性を維持できる研磨材固定用両面感圧接着シートを提供すること。
【解決手段】プラスチック基材の一方の面に感圧接着剤層（ａ）が、もう一方の面に感圧接着剤層（ｂ）がそれぞれ設けられてなる研磨材固定用両面感圧接着シートであって、感圧接着剤層（ａ）の、４０℃における緩和弾性率の時間依存性を表す近似直線である下記式（１）において、Ａが−０．５０〜−０．２０であることを特徴とする研磨材固定用両面感圧接着シート。
ｌｏｇ Ｇ（ｔ）＝Ａｌｏｇ ｔ＋Ｂ ・・・式（１） （もっと読む）

【課題】ワークの外周面を研磨する工程において、ワークを金属シャフトに挿入するときに、ワークに傷を付けにくく、また破損させにくい円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】ワークの内周面を研磨する工程と、金属シャフト７１の一方の端部に配され少なくとも表面が樹脂で形成された保護キャップ７２が取り付けられた金属シャフト７１に内周面が研磨されたワークを順次挿入して積層する工程と、積層されたワークの外周面を研磨する工程とを有することを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ワークの外周面を研磨した後に、ワークをシャフトから抜き取る際に、ワークに傷を付けにくく、また破損させにくい円盤状基板の製造方法を提供する。
【解決手段】内周面が研磨されたワーク１０をシャフト７１に挿入して積層し、積層されたワーク１０の外周面を研磨した後、シャフト７１に比べて径の小さいシャフト７６をシャフト７１の下方に同軸的に配置し、超音波振動が加えられた液槽８０内にてワーク１０をシャフト７６へ移動させることを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ワークに反りや撓み等が形成されていても、突起欠陥を高精度に修正できる欠陥修正装置及び方法を実現する。
【解決手段】欠陥修正装置は、研磨ユニットの昇降機構と、基準座標系に対する位置を検出し、時間的に連続する情報として出力する位置検出手段と、駆動を制御する信号処理装置とを具える。研磨ユニットは、テープ走行装置を有する研磨ヘッドと、ワーク表面までの距離を計測し、時間的に連続する情報として出力する距離センサとを有し、信号処理装置は、距離センサから出力される情報の時間変化に基づき、又は当該情報の時間変化と位置検出手段から出力される情報の時間変化に基づいて、研磨テープが突起欠陥との接触点を検出する接触点検出手段５５と、距離センサから出力される情報を用いて、接触点が検出された後研磨ユニットがワーク面に対して相対降下量だけ降下したか否かを判定する研磨終点判定手段４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】研磨加工部に作用する押圧力を正確に検出可能な押圧力検出装置を提供する。
【解決手段】研磨ヘッドの駆動軸３０は、支持フレーム部２３に回転自在かつ回転軸方向に移動自在に支持され、ヘッド回転機構４０及びヘッド昇降機構５０により駆動される。この駆動軸３０と研磨ヘッド７０とは、カップリング部６０により回転軸方向にのみ弾性的に相対変位可能に接続されるとともに、カップリング部６０には駆動軸３０と研磨ヘッド７０との相対変位を非接触で検出する相対変位検出部１１０が設けられる。演算処理装置１２０は、検出された相対変位量およびカップリング部６０の弾性係数に基づいて研磨荷重を算出する。 （もっと読む）

【課題】微小突起の硬さ、高さの程度にあわせて研磨条件の選択を自動で行うことを可能とし、修正不良のない微小突起修正機を提供する。
【解決手段】基板上の微小突起に、ヘッドを下降して走行する研磨テープを押し込み、研磨修正する微小突起修正機であって、微小突起の硬さ、高さを判別する手段と、前記判別手段によって得られた判別結果から前記微小突起を修正する研磨条件を選択する研磨条件選択手段を有することを特徴とする微小突起修正機。 （もっと読む）

【課題】ワーク上の被保持体を保持部材に対して大きくスライドさせることなく着脱することができて、着脱作業を容易に行うことができるワイヤソー及びワイヤソーシステムを提供する。
【解決手段】ワーク切断用のワイヤ２６が巻回される複数本の加工用ローラ２４，２５を設ける。ワークＷの上面に固定された被保持体３３がスライド可能に吊下される保持部材３４を設け、その保持部材３４により被保持体３３をワーク支持部材３５の規制面に向かって引き上げて、その規制面において保持する。被保持体３３のスライド方向が加工用ローラ２４，２５の軸線方向と交差する方向となるように、保持部材３４を配置する。保持部材３４の先端部には、被保持体３３を保持部材３４の基端側に向かってガイドするための導入ガイド部３６ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】 クリングスアームとレンズとの干渉を避けつつ、見栄えの良いレンズの加工を容易に行えるようにする。
【解決手段】
眼鏡レンズ加工装置は、玉型データに基づいてレンズ前面及びレンズ後面のコバ位置を検知する手段と、レンズ後面のコバ角部を加工するコバ角部加工具と、仕上げ加工後のレンズ後面のコバと眼鏡フレームのクリングスアームとの干渉を避けるに必要なコバ角部の修正量データを入力する手段であって、クリングスアームのコバ位置での加工量及びコバ角部の加工範囲を含む修正量データを入力する修正量データ入力手段と、コバ位置検知データ及び修正量データに基づいてレンズ後面のコバ角部の加工軌跡を求めて修正加工データを得る加工データ演算手段と、修正加工データに従ってレンズ後面のコバ角部を前記コバ角部加工具により加工する加工制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ナノ精度の高精密研削装置の提供。
【解決手段】 磁気軸受と静圧水軸受により軸受けされる回転／直動可能な砥石軸１３、前記砥石軸を回転／直動させる回転／直動複合アクチュエータ１６，１８、前記砥石軸の移動距離を測定する位置測定手段８５、および、前記砥石軸１３を固定するコラム７を砥石軸方向に直線移動させる駆動手段９を備える研削ステージＴＳと、前記砥石軸に軸承される砥石１４の研削加工面に対して被研削物表面を直角方向に保持する回転保持具２０、および、静圧水軸受で軸受けされた前記回転保持具の主軸を回転駆動させる回転駆動手段を備えるワークステージＷＳ、とを供える研削装置１。 （もっと読む）

【課題】 研削ホイールの研削面とチャックテーブルの保持面との平行出しを行うのに適したチャックテーブル用吸着板及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を吸引保持する保持テーブル用吸着板であって、粒径２００μｍ〜８００μｍのシリコン粒子を一体焼結して形成される。ポーラス状吸着板は、粒径２００μｍ〜８００μｍのシリコン粒子を体積比で５０〜８０％と、粒径１５０μｍ以下のシリコン粒子を体積比で５０〜２０％とを混合し、真空雰囲気、不活性ガス雰囲気、又は還元雰囲気の何れかの雰囲気中で、０．１〜２０ＭＰａの圧力の下で、１２００℃〜１３５０℃の温度で焼結して形成される。 （もっと読む）