【課題】研磨終了時点の検出方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ表面から反射され、分光手段で分光された結果を解析するステップを有するとともに該解析ステップは、研磨時点の分光波形をリアルタイムにフ−リエ変換を行い、研磨除去されるＳｉ層の膜厚に対応するリアルタイムの波数周期ｈ_２を抽出する第１のステップと、研磨時点のリアルタイムの波数周期ｈ_２と研磨途中の所定膜厚において予め取得したリファレンス波数周期ｈ_０との二つを照合判断する時点を研磨終了時点Ｅ．Ｐより前に設定しリアルタイムの波数周期ｈ_２とリファレンス波数周期ｈ_０との二つの照合状態の変化を逐次モニタする第２のステップと、照合状態が極大となった時点を経た直後に該極大となった時点ｔ_２を割り出す第３のステップとを有し、照合状態が極大となった時点ｔ_２から研磨終了までの予め設定された猶予時間を基に残りの時間を研磨する。 （もっと読む）

裸のシリコン基板を形成する方法が記載される。裸のシリコン基板が測定され、測定は、基板上の１点で信号を得るために無接触静電容量測定デバイスによって行われる。信号、または信号によって示される厚さが制御装置に通信される。信号、または信号によって示される厚さに従って調節後の研磨パラメータが決定される。調節後の研磨パラメータを決定した後、調節後の研磨パラメータを使用して、ポリッシャ上で裸のシリコン基板が研磨される。
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【課題】そこで本発明は、被加工物の加工面のうねりや加工具の摩耗等に拘らず、レンズ成型用凹部を均一に加工形成することができる。
【解決手段】本発明は、回転する被加工物Ｅに加工具Ｄ１を押圧することにより、その被加工物Ｅにレンズ成型用凹部２０を加工形成するレンズ型の加工装置において、上記加工具Ｄ１に、被加工物Ｅに対する押圧力が一定となるように弾性変形する弾性変形部３０を設けたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】加工装置の構成を複雑化することなく、被加工物に作用する加工応力を的確に制御して被加工物の加工精度を向上させる。
【解決手段】装置本体１４に上に搭載された回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の工具駆動軸２およびワーク駆動軸６に研削工具１およびレンズ５を固定して回転および接触させることで、レンズ５の研削加工を行うレンズ加工機Ｋ１において、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８に、複数の歪みセンサ１１を配置し、加工中の研削工具１とレンズ５との間に作用する加工応力の大きさを、歪みセンサ１１から、回転軸保持筐体４および回転軸保持筐体８の歪み信号としてセンサアンプ１２を介してコントローラ１３で検出し、レンズ５に作用する加工応力が過大にならないように、回転軸保持筐体８の送り速度を制御して、レンズ５に高精度の加工結果を得る。 （もっと読む）

【課題】加工装置の稼働率を低下させることなく、加工装置と外部との間における抜取検査のワークの受け渡しを円滑に行う。
【解決手段】Ｘ方向移動アクチュエータ１７とＹ方向移動アクチュエータ１８の組合せによってワークヘッド１３とパレット１０との間で搬送ヘッド１６を移動させてレンズ１の受け渡しを行うレンズ研削装置Ｋ１において、パレット１０の近傍に、搬送ヘッド１６の可動範囲Ａ０と、その外側の可動範囲外Ａ１との間で移動治具３１を移動させる構成の取り出し機構３０を配置し、必要に応じて、加工済みのレンズ１をパレット１０の代わりに可動範囲Ａ０内の移動治具３１に受け渡し、移動治具３１を可動範囲外Ａ１に移動させてレンズ１を装置外部に取り出す。搬送ヘッド１６に干渉することなく、かつレンズ研削装置Ｋ１を停止させずに、レンズ１を外部に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】矩形硬質脆性基板の側辺加工の精度が高く、加工安定性に優れた側辺加工装置の提供を目的とする。
【解決手段】ワークの中心部を支持するための旋回制御された中心テーブルと、当該中心テーブルの両側に一対の前記ワークの中心部以外を支持するための側辺テーブルと、中心テーブル及び一対の側辺テーブルにて支持したワークの対向両側辺を加工する工具とを備え、工具は側辺テーブルの側辺と平行な方向に相対移動可能になっていて、一対の側辺テーブルは中心テーブルの旋回動作に同期して、当該中心テーブルを挟んで近接離隔制御された拡狭装置を有している。 （もっと読む）

【課題】研磨などによる加工精度を向上させることができる保持装置を提供する。
【解決手段】基板保持装置３０は、基板を上面に載置保持する保持装置であって、上方へ開口された凹部３２内に微細な粒状物質の集合体からなる基板支持粉体３５を収容したベース部材３１と、ベース部材３１内に設けられて基板支持粉体３５に振動を加える粉体振動部３８とを備え、基板支持粉体３５上に基板を載置した状態で、粉体振動部３８により基板支持粉体３５に振動を加えて前記粒状物質の配置構成を変化させることにより、基板の下面全体に基板支持粉体３５を当接させて基板をベース部材３１により保持するように構成される。 （もっと読む）

【課題】単結晶ダイヤモンドの｛１１０｝面等を研磨するに際して、作業者の負担が少なく且つ熟練を要することなく高い寸法精度で研磨が行われるようにする。
【解決手段】研磨に伴ってラップ盤３２に接近する単結晶ダイヤモンド１０の変位量Ｘを変位センサ５２によって検出し、その変位量Ｘが予め設定された目標値ｔａｒｇｅｔＸに達したら単結晶ダイヤモンド１０の研磨を自動的に停止するため、研磨方向や個体差等による研磨速度のばらつきに拘らず、常に高い精度で予め設定された目標値ｔａｒｇｅｔＸだけ単結晶ダイヤモンド１０が研磨されるようになる。しかも、作業者は単結晶ダイヤモンド１０を保持部４６に取り付けて目標値入力キー６２により目標値ｔａｒｇｅｔＸを入力するとともに研磨開始スイッチ６４をＯＮ操作するだけで良いため、作業者の負担が大幅に軽減されるとともに研磨時間が短縮されて作業効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】タイヤ内面を適正に研摩し得るタイヤ内面処理方法を提供する。また、かかる処理方法を実施し得るタイヤ内面処理装置を提供する。
【解決手段】研摩具５によりタイヤ内面４を研摩するタイヤ内面処理方法である。かかる方法では、研摩具５のタイヤ内面４に対する押圧力を制御して、タイヤ内面４を研摩する。また、かかる処理方法を実施し得るタイヤ内面処理装置１である。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の移動速度に変化が生じても、ガラス板と砥石との位置関係に誤差が生じることなく、ガラス板の隅部を所望に隅取りするガラス板を隅取りする方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】 ガラス板２をその一縁６と平行なＸ方向に移動させる移動手段７と、ガラス板２の一縁６側の隅部３を研削する研削工具としての環状の砥石４と、砥石４をＸ方向に直交するＹ方向に移動させる移動手段８と、ガラス板２の一縁６に対向するＸ方向に伸びた他の一縁１１側の隅部３ａを研削する研削工具としての環状の砥石５と、砥石５をＹ方向に移動させる移動手段９と、ガラス板２をＸ方向に移動させながら、ガラス板２のＸ方向の移動に応答して、砥石４及び５をＹ方向に移動させるように、移動手段８及び９を制御する制御手段１０とを具備しているガラス板隅取り装置１。 （もっと読む）

【課題】研磨ホイールの磨耗溝深さを補正要素に取り込んだ信頼性の高い適応制御による基板の端面研磨装置及び基板の研磨良否の判定方法の提供を目的とする。
【解決手段】基板の端面を研磨加工する研磨ホイールと、当該研磨ホイールの回転駆動手段と、当該研磨ホイールの切り込み送り手段とを備え、研磨ホイールの回転駆動手段は、基板の端面接触による負荷電流検出手段と、研磨ホイールに生じる磨耗溝の溝側面が基板に接触することにより生じる負荷電流の補正手段とを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム環境下において、低コストで迅速かつ確実にガラス板のエッジを自動で研磨する。
【解決手段】本発明は、クリーンルーム環境下においてガラス板のエッジを自動で研磨する装置及び方法に関し、以下の構成を含む。ａ）ガラス板（１１）を受け取るために、複数の吸引ユニット（１０）を有する吸引フレーム（９）を保持したグリッパアームを備えた多軸ロボット（２）、ｂ）ロボット（２）のグリッパアームの回転範囲内に導入され、少なくとも１つの回転可能な研磨輪（１３）を備え、固定された様式で設置された研磨ユニット（１）、ｃ）研磨ユニット（１）の操作により生じた研磨塵を排出する排出システム、ｄ）検知機器に連結され、研磨輪（１３）の摩耗の程度及び状態を監視する較正機器（１８）、並びに本方法を実行するためのコンピュータプログラム。 （もっと読む）

【課題】平面ディスプレイ用の面取り機及びその面取り加工方法を提供する。
【解決手段】本発明の平面ディスプレイ用の面取り機は、基板ローディングユニットと基板アンローディングユニットとの間に設けられて、基板のコーナー及び辺に対する面取り加工を進行する面取り加工ユニットを含み、面取り加工ユニットは、上面に基板が載置支持される少なくとも一つのステージと、基板の第１辺エッジに対する面取り加工を進行する第１面取り加工用のホイールと、第１面取り加工用のホイールに対して相互離隔配されて基板の第１面両側コーナーに対する面取り加工を進行する第２面取り加工用のホイールとを備えたグラインダーと、を含むことを特徴とする。本発明によれば、面取り加工作業時にかかるタクトタイムを従来よりさらに減少させることができて生産性を向上させうる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の研削や研磨加工において、被加工物等の損傷を生じることなく、加工前後の段取り作業や被加工物の着脱を効率よく容易に行う。
【解決手段】被加工レンズ２を保持する受けホルダー３の背面を、弾性体６を介して押えホルダー５に支持させるレンズ保持装置Ｈ１において、受けホルダー３の背面に突設され、軸方向にエアー導入路３ｄが貫通して穿設された突起軸３ｂと、この突起軸３ｂが挿入されるように押えホルダー５に設けられたエアー導入路５ｄと、突起軸３ｂの外周の縮径溝部３ｍと、エアー導入路５ｄの内周の拡径溝部５ｍに隙間Ｇをなすように装着されるＯリング８ａ等の連結部材８を設け、受けホルダー３と押えホルダー５が連結部材８を介して非拘束状態に連結されることで受けホルダー３の脱落を防止するとともに、必要に応じてエアー導入路３ｄを通じて真空吸引することで、被加工レンズ２が受けホルダー３に吸着固定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードのばたつき量を簡単に検出可能な切削ブレードのばたつき検出方法を提供する。
【解決手段】切刃５０を備えた切削ブレード２８によって板状物を切削する切削手段と、該切削ブレードの回転軸方向の一方側に配設され該切削ブレードまでの距離を検出するブレード検出手段８０とを具備する。切削ブレードばたつき検出方法は、該切削ブレードのばたつき許容値Ｔを設定する許容値設定工程と、該切削ブレード２８を回転させながら前記切削ブレード検出手段８０で回転中の該切削ブレードまでの距離を複数回検出する距離検出工程と、該距離検出工程で検出された距離のうち最大値Ｍと最小値ｍとの差を算出するばたつき量算出工程と、該ばたつき量算出工程で算出された（Ｍ−ｍ）値と該許容値設定工程で設定したばたつき許容値Ｔとを比較し、（Ｍ−ｍ）値がばたつき許容値Ｔより大きい場合に不良と判定する判定工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 水静圧軸受のワークチャックロータリーテーブル機構の提供。
【解決手段】 ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブル21を軸承する中空スピンドル22の水静圧軸受として、内壁に水通路23a,25bが設けられた円筒状ブッシュ23を用い、円筒状外ハウジング24に前記円筒状ブッシュに設けられた水通路23a,25bに連通するよう設けられた水供給口とバキューム減圧口24bとドレン抜口24dと圧空供給口24cを設ける内部軸受構造としたワークチャックロータリーテーブル機構２。水静圧軸受の水通路23a,25b内の水は、ワークチャックロータリーテーブル機構の稼動長期停止時は、減圧、圧空でドレン抜口24dより排出され、水通路内は乾燥されるので、藻が発生することはない。 （もっと読む）

【課題】ワークの両頭研削において、ワークのナノトポグラフィーを悪化させる要因となる、ワークを外周側から支持するワークホルダーの自転の軸方向に沿った位置を安定化させることが可能なワークの両頭研削装置および両頭研削方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、薄板状のワークを径方向に沿って外周側から支持する自転可能なワークホルダーと、該ワークホルダーの両側に位置し、ワークホルダーを自転の軸方向に沿って両側から、流体の静圧により非接触支持する一対の静圧支持部材と、ワークホルダーにより支持されたワークの両面を同時に研削する一対の砥石を具備するワークの両頭研削装置であって、ワークホルダーと静圧支持部材の間隔が５０μｍ以下であり、かつ、静圧支持部材がワークホルダーを０．３ＭＰａ以上の流体の静圧で支持するものであるワークの両頭研削装置。 （もっと読む）

【課題】 大型光学素子を大型望遠鏡などへ組み込む場合は、加工機のワーク支持治具へ被研削物を載置している場合と支持状態や荷重分布が異なるため、加工機に取り付けられた状態で測定される面形状が、組み込んだ状態の面形状とは異なるため、自重で変形する光学素子の製造装置は存在しなかった。
【構成】 光学素子となる被研削物の研削面に対向する裏面と研削状態において密着する形状のワーク支持面を有するワーク支持治具であって、ワーク支持面に開放部を備え、中心軸が垂直方向に向いている、複数のピエゾアクチュエータ内蔵穴を所定の穴配置位置に設け、それぞれのピエゾアクチュエータ内蔵穴の中に、ピエゾアクチュエータ及びロードセルを昇降自在に内蔵したワーク支持治具を備えた、自重で変形する光学素子を製造するための研削装置である。 （もっと読む）

【課題】 一台の切削装置で板状物を複数に分割し、分割された小片基板の角部に面取り加工を施すことが可能な切削装置を提供することである。
【解決手段】 板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を小片に分割する切削ブレードが装着された切削手段を備えた切削装置であって、該チャックテーブルは、板状物の切削によって分割された複数の小片板状物を吸引保持する複数の小片吸着テーブルと、該各小片吸着テーブルに連結され、該各小片吸着テーブルを互いに接触する位置に集合させるとともに互いに離反させる集合離反手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に対する面取り加工時、従来に比べてタクトタイムを減らせて生産性を向上させる。
【解決手段】基板がローディングされる基板ローディングユニット１１０と、基板に対する面取り加工が進行する面取り加工ユニット１２０と、基板がアンローディングされる基板アンローディングユニット１３０と、を含み、面取り加工ユニット１２０は、基板が載置支持され、基板ローディングユニット１１０と基板アンローディングユニット１３０とを連結する仮想の作業ラインとの交差方向に相互離隔配される複数のステージ３００ａ、３００ｂと、複数のステージ３００ａ、３００ｂに載置される基板のアライン作業のための少なくとも一つのアラインカメラと、複数のステージに載置される基板に対する面取り加工作業を進行する少なくとも一つの面取り加工用のホイール１２６とを備えるグラインダー１２３と、を含むことを特徴とする平面ディスプレイ用の面取り機。 （もっと読む）