【課題】歩留まりの低下を抑えつつガラス基板の角部の面取り加工を効率的に行う。
【解決手段】本発明のガラス基板の角部面取り用保持装置１は、ガラス基板３の一方の組の二つ辺部を位置決めする断面Ｖ字状の凹部７ａ及び角部３ｄを露出させるスリット７ｄが設けられた第１のケーシング部材７と、ガラス基板３の一方の組の断面Ｖ字状の凹部８ａ及び角部３ａを露出させるスリット８ｄが設けられた第２のケーシング部材８と、各凹部７ａ、８ａを通じて位置決めされるガラス基板３をその対角方向から挟むように第１及び第２のケーシング部材７、８どうしを互いに組み付ける組付機構１８と、角部３ｂ、３ｃを露出させるスリット２０ｂ、２０ｃを得るために、第１及び第２のケーシング部材７、８どうしの突合せ部分を各々二箇所ずつ切り欠いて形成された二組の切欠き部７ｂ、７ｃ、８ｂ、８ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は上記に鑑みなされたもので、グラインド時における薄板の厚みばらつきの抑制に資することのできる安価な固定キャリア及び薄板のグラインド方法を提供する。
【解決手段】 剛性を有する支持基材２と、支持基材２の表面周縁部に張架され、バックグラインドされる半導体ウェーハＷを着脱自在に密着保持する屈曲可能な可撓性の保持層１０とを備える。また、支持基材２と保持層１０とを半導体ウェーハＷよりもそれぞれ拡径に形成し、支持基材２と保持層１０との間に区画空間５を形成し、支持基材２の凹んだ表面４には、保持層１０を接着支持する複数の突起７を形成するとともに、支持基材２には、区画空間５に連通する給排孔６を穿孔し、半導体ウェーハＷを保持した状態でその厚みを測定しながらのバックグラインド作業に使用したり、半導体ウェーハＷ用の基板収納容器に収納する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は上記に鑑みなされたもので、グラインド時における薄板の厚みばらつきの抑制に資することのできる安価な固定キャリア及びその製造方法並びに薄板のグラインド方法を提供する。
【解決手段】 剛性を有する支持基材２と、支持基材２の表面周縁部に張架され、バックグラインドされる半導体ウェーハを着脱自在に密着保持する変形可能な可撓性の保持層１０とを備える。また、支持基材２と保持層１０とを半導体ウェーハよりもそれぞれ拡径に形成し、支持基材２と保持層１０との間に区画空間５を形成し、支持基材２の凹んだ表面４には、保持層１０を接着支持する複数の突起７を形成するとともに、支持基材２には、区画空間５に連通する給排孔６を穿孔する。そして、支持基材２や突起７に接着した保持層１０を凹凸に変形させてその凸部先端面１１を平坦にグラインドし、平面精度をレンジで３．０μｍ以内とする。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を取り外すことなく加工面の計測と加工が可能な加工装置および加工装置を用いた製造方法を提供する。
【解決手段】 ホルダー１２に光学素子２０を保持した状態で、部分修正用スモールツール１３による光学素子２０の加工が可能な加工装置１に、シャック−ハルトマンの原理による測定光学系２と照明光学系３を設けて、このホルダー１２に光学素子２０を保持した状態で加工と形状精度（波面収差）の測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】頻繁な保守が必要でないスピンドル装置を提供する。
【解決手段】内部に軸方向に円筒状空洞の形成されたハウジングＨと、円筒状空洞内に回転自在に挿入されたスピンドルＳと、円筒状空洞内に配置されてスピンドル軸３を非接触に支持する空気軸受１，２と、円筒状空洞内に配置されてスピンドル軸３を回転させるモータ（固定子４、回転子５）とを有するスピンドル装置であって、スピンドル軸３の軸端に被加工物を加工するブレード６を固定し、ブレード６の近傍に被加工物を載置するテーブル７を設け、テーブル７のＺ軸の原点を検出するテーブルＺ軸原点検出手段とから成るスピンドル装置において、テーブルＺ軸原点検出手段として、ブレード６とテーブル７が接触したときスピンドル軸３に帯電していた電荷が放電することによるスピンドル軸３の電位変化を用いる。 （もっと読む）

【課題】 ゴムロール両側の芯金軸の一方の軸面を把持固定して回転駆動させる際の回転振れの初期精度を高め、精度低下を抑制しながらゴムロールを研削することで、研削後のゴムロールの外径振れ寸法を長期間に亘り高精度に維持するゴムロールの製造方法及びゴムロールを提供すること。
【解決手段】 芯金軸上に円周上に設けられた加硫ゴムの弾性層を有するゴムロールの外周面を該ゴムロールの左右に突出している該芯金軸の一方の軸面を把持固定して回転駆動させ、他方を従動回転させる手段を有し、該ゴムロールを回転させた状態にして砥石を接触させて研削するゴムロールの製造方法において、
該芯金軸を把持固定するチャック爪が６分割以上、１６分割以下であり、該チャック爪の開閉動作がダイヤフラムの押し撓みの変形による力を利用するダイヤフラム式チャックで該芯金軸を把持固定するゴムロールの製造方法及び該製造方法によって作製されたゴムロール。 （もっと読む）

【課題】 飛散する研削水の影響を受けることなく研磨部位の測定を行なうようにする。
【解決手段】 前後方向に走行する走行体１上に旋回するように設けた供給板ガラスの保持テーブル１１と、このテーブルの走行路の両外側に対向間隔の調整及び上下の位置調整可能に設けた板ガラスの辺縁上下面の面取り用の回転砥石３１、３２と、上記テーブルの走行路両側で、かつ上記回転砥石の手前に位置して上記板ガラスの両側縁を上方から測定するように設けた垂直な第１カメラＰ_１ 、Ｐ_２ 及び板ガラスの両側面を横から測定するように設けた水平な第２カメラＰ_３ 、Ｐ_４ とからなり、上記垂直な第１カメラにより読み取って加工ずれ量を上記旋回駆動装置の運転により上記テーブルの旋回により補正するように連動させ、上記垂直な第１カメラ及び水平な第２カメラの読み取りにともなう面取り量のずれを上記回転砥石の移動により補正するように連動させた構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板の端面を加工する装置において、ガラス板の寸法精度を達成するために、ガラス板の中央を吸引によって固定支持する１対の保持台を用い、該保持台を移動しながらガラス板の端面を加工するガラス板端面加工装置が知られているが、保持台の移動させるために加工装置が複雑となり、また保持台を移動させるためのスペースが必要なため、加工装置をコンパクトに構成させるのが困難。
【解決手段】 押し圧ベルトコンベア３と支持ベルトコンベア２、２’とで挟持されているガラス板７の、対向する両縁の中央ライン下面を、吸引ベルトを用いてガラス板７の下面を吸引してガラス板７を保持し、該吸引ベルトを用いる吸引ベルトコンベア１でガラス板７を水平方向に搬送する装置が設けられているガラス板端面加工装置。 （もっと読む）

【課題】補正工程を迅速に行うことができ、作業効率が向上されるワーク加工方法及び加工システムを提供する。
【解決手段】設計非球面形状を表す非球面式を設定し、非球面式上において、少なくとも設計非球面形状の法線方向の変数を含む座標値を算出する工程と、座標値に基づき試し加工された実非球面形状を測定し、測定相似変形倍率を算出する工程と、設計非球面形状を測定相似変形倍率の逆数の相似変形倍率で相似変形することにより形成される形状と略同形状に設計非球面形状が補正されるように、座標値の少なくとも設計非球面形状の法線方向の変数に、測定相似変形倍率から既定の四則演算関数によって算出される補正値を加えることにより、座標値を補正する工程と、補正後の座標値に基づき、ワークを本加工する工程と、を有するワーク加工方法。 （もっと読む）

【課題】 （１）定められた工具単位除去形状のスペクトルを実現する工具を設計する工程を具備する研磨方法を提供すること。
（２）前記工具を設計する工程において，工具の運動条件の設定を含む研磨方法を提供すること。
（３）前記工具を設計する工程において，工具の形状，材質，構成の設定を含む研磨方法を提供すること。
【解決手段】 形状計測の結果得られた誤差形状に対して、既知の工具単位除去形状により滞留時間分布を求め、次に既知の工具単位除去形状と滞留時間分布に基づいて加工のシミュレーションを行って残存誤差を予測し、残存誤差が最小となるように工具単位除去形状のスペクトルを定めた後、そのスペクトルに基づいて工具を設計する工程を具備する研磨方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 作業環境を阻害せずに、平滑性に優れ、研磨の際に研磨対象を固着させ、かつ研磨後に研磨対象を脱離させる適度の粘着性を有するバックアップ材を提供する。
【解決手段】 ポリマー含有相と水相からなるエマルション、起泡剤および気泡安定剤を含むエマルション組成物を乾燥、発泡させて得られるポリマー発泡体層と、平均細孔径０．２〜１５μm、厚さ１〜２００μmの連続気泡の多孔性フィルムを含むポリマーラテックス研磨用バックアップ材；および多孔性フィルムの面にエマルション組成物を流延し、乾燥、発泡させる工程を含む研磨用バックアップ材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板の製造工程における処理の適正化を、該ガラス基板の搬送の適正化に伴わせて実現する。
【解決手段】
ガラス基板３を搬送しながら、その搬送方向と平行なガラス基板３の辺の端面３ａを研削する研削工程を含むガラス基板３の製造方法において、研削工程で、搬送ベルト５上にガラス基板３を負圧により吸着保持した状態で、該搬送ベルト５を走行させることによりガラス基板３を搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段４によりガラス基板３の辺の端面３ａを研削する。 （もっと読む）

【課題】 受止部材の構成に改良を加えると共に、位置決めの基準となる要素を適切なものとし、もってガラス基板の位置決め精度の向上を図る。
【解決手段】 ガラス基板２の一辺２ａ（２ｃ）に当接可能な受止部材３と、この一辺２ａ（２ｃ）と平行な他辺２ｂ（２ｄ）に当接可能とされ且つガラス基板２を受止部材３の側に押動させる押付部材４とを備え、受止部材３と押付部材４との相互作用によりガラス基板２の位置決めを行うと共に、受止部材３を、ガラス基板２の押動に追従して移動可能とした上で、ガラス基板２の一辺２ａ（２ｃ）を受止部材３に当接させた状態での押付部材４による押動時におけるガラス基板２の他辺２ｂ（２ｄ）の変位量を基準として、ガラス基板２の位置決めを行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】 高い精度で効率のよいマスクブランクス用ガラス基板の製造方法の提供。
【解決手段】マスクブランクス用ガラス基板１００の製造方法であって、ガラス基板の主表面を研磨するガラス研磨工程を備え、ガラス研磨工程は、主表面を研磨する研磨段階と、ガラス基板の表面側又は裏面側の主表面に光を照射し、表面側の主表面、及び裏面側の主表面のそれぞれからの反射光に基づき、ガラス基板１００の厚みを検知する基板厚検知段階と、検知された厚みを予め設定された値と比較して、厚みが予め設定された値、もしくはその値よりも小さくなった場合にガラス研磨工程を終了させる終点判定段階とを有する。１０は、研磨装置、１２は、研磨部、１４は、光照射部、１６は、基板厚検知部、１８は、終点判定部、２０は、洗浄水供給部、２４は、下定盤、２６は、研磨液供給部、３２は、研磨パッド、３４は、研磨パッド。 （もっと読む）

【課題】 熱変形がなく、寸法精度に優れる研削加工ワ−クを与える、非磁性体製ワ−ク用治具の提供。
【解決手段】 平板状基礎台１ａ上面に一辺がＬ（Ｌ＝１０〜４０ｍｍ）、高さＨ（Ｈ＝２〜１０ｍｍで、Ｈ＜Ｌを満たす。）の正方形角柱１ｂをピッチ間隔Ｐ（Ｐ＝２Ｌ）で縦方向、横方向、規則的に多数立設させ、前記正方形角柱の中心点に上下方向に向けてロ−ホ−ルドナット挿入用ネジ孔１ｃが設けられた非磁性体製ワ−ク用治具１。研削加工中、供給される加工液は治具１上面の流路を通過して電磁チャック上へと流れるので、治具は冷却され、加工ワ−クの熱変形が抑制される。 （もっと読む）

【課題】研磨の進行状態における種々の情報を可視化計測、監視するとともに、研磨加工中の研磨プロセスの分析評価、研磨圧、圧力分布の測定調整等を高精度で行なうことができる研磨加工圧測定方法及び研磨装置を提供すること。
【解決手段】計測データを既知データと比較することで研磨加工中の研磨加工圧及びその分布を測定検出する工程とを有する研磨加工圧測定方法とその測定手段を具備し、又、２次元反射強度像を画像処理してひずみ解析による計測データを得るための画像処理装置とを備えるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 ワークとワーク吸着台との間に異物が噛み合うことがないという利点を有し、しかも、チューブが絡まるという問題が防止され、これにより、複数の加工を連続的に行うことが容易なワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 連続的に搬送されて所要位置において台上に載置されたワークWを真空吸着する複数のワーク吸着台3と、ワーク加工位置B,Cの近傍に各ワーク吸着台3に対して進退可能に設けられ、ワーク吸着台停止時に前進させられて同台3に真空を供給しかつワーク吸着台搬送時に後退させられて同台3から離脱させられる複数の真空供給機構としての真空供給ヘッド4と、各ワーク吸着台3に設けられ真空供給機構後退時にワーク吸着台真空状態を維持するための真空維持機構としての逆止弁17とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 直径が例えば１〜３ｍの大型セグメントレンズやミラーを、高精度に計測し研磨でき、かつ製造コストを比較的低く抑えることができる大型光学素子の計測研磨装置及び方法を提供する。
【解決手段】 被研磨面２を上向きにして大型光学素子１をほぼ水平に保持する素子位置決め装置１０と、被研磨面の目標値からの誤差を非接触で計測する非接触計測装置２０と、被研磨面に沿って移動し被研磨面を部分的に研磨する自走研磨装置３０と、非接触計測装置の計測結果に基づき自走研磨装置に研磨位置を指令する研磨制御装置４０とを備え、被研磨面を計測しながら研磨する。 （もっと読む）

【課題】 鉛ガラスからなる光学部品の製造において、治具との固定面のヤケの発生を抑制する。
【解決手段】
研磨工程で光学部品（例えばプリズム）を治具に固定する際、脂肪酸グリセリドを含む水溶性接着剤を用いて固定する。 （もっと読む）

【課題】
木材等の建築用構成部材を接合するための表面に露出しない接合構造を構成する孔の内部の所要箇所に孔拡張部を設ける作業において、特に熟練していない作業者でも、容易かつ迅速に孔拡張部を所要の形状に均一につくることができる装置を提供する。
【解決手段】
孔拡張部切削装置Ｃ１は、孔９０に本質的に隙間なく挿入できる挿入体１と、挿入体１に収められ、回転力を付与することができる回転軸２と、回転軸２に、挿入体１の外周面より外側へ張り出し可能及び内側へ収容可能に設けられた切削具３とを備えており、孔９０に挿入体１を挿入した状態で回転軸２に回転力を付与し、切削具３を遠心力で挿入体１の外周面より外側へ張り出させ、孔より径大の孔拡張部９１を形成することができるものである。 （もっと読む）