【課題】温度変化に関係なく板状ワークを均一に加工する。
【解決手段】金属部材２をその温度変化に伴って最も伸縮する方向へ複数に分割し、これら複数の分割片２ａの間に隙間Ｓを空けて、各分割片２ａをそれぞれの温度変化に伴う伸縮変形量が該隙間Ｓ内で収まるように配置することにより、主要部がセラミックスで形成される保持部材１と金属部材２との熱膨張率の違いで、金属部材２の分割片２ａにおける単位面積当たりの伸縮変形量が、保持部材１における単位面積当たりの伸縮変形量より大きくなっても保持部材１が変形せず、保持部材１に保持した板状ワークの他面全体が、定盤の加工面に対して傾斜することなく圧接される。 （もっと読む）

【課題】板状部材と研磨ベルトとの押圧面を均一に接触させて、均一平面に仕上げると共に、押圧や研磨ベルトの駆動速度の加減速度の調整を容易として最適な研磨条件で板状部材を効率的に研磨できる板状部材研磨装置を提供する。
【解決手段】圧接部材７を研磨ベルト１の駆動方向と直交する方向に揺動自在とする簡単な追従機構とすると共に圧接部材降下用電動シリンダー３５の圧接力は電流比制御を行い常に均一に調整し、研磨ベルト１を安定して連続的に駆動しながら被研磨材５０を上載する保持台４０を往復動させることで被研磨材５０表面の平滑化及び表面の仕上げを良好なものとする研磨を行うことができるオープンリール式のベルト研磨装置である。 （もっと読む）

【課題】的確なシリンダヘッドへの押し込み力が容易に低加工コストで調整でき、かつ再現性に優れたシリンダブロック加工用ダミーヘッドを提供する
【解決手段】シリンダブロック１００のヘッドボルト孔１０６に螺合されるボルト部材１３と、シリンダヘッド取付面１０５にボルト締結するためのボルト部材１８が挿入するボルト挿入孔１０６及びシリンダボア１０１に対応して開口する貫通孔１５を備えたダミーヘッド本体１０と、ダミーヘッド本体１０にボルト締結されるフランジ部２５及び貫通孔１５内に嵌挿すると共に先端にシリンダボア部１０２の頂面１０２ａを押圧するボア接触面２４を有する円筒部２１よりなるボア押し込み用スリーブ２０を備え、ボア押し込み用スリーブ２０のフランジ部２５の一部にフランジ部２５の厚さの異なる部位を形成する変形制御部３５を備える。 （もっと読む）

【課題】金属リング研削装置において、研削ブラシの偏磨耗を防止する。
【解決手段】金属リング研削装置において、加工ヘッド２００により各研削ブラシ２１１を回転自在に保持し、各研削ブラシに、アイドルギア２１３ａと固定ギア２１３ｂとを設け、各研削ブラシを、これらのギアの配置順が異なる第１及び第２の研削ブラシの２種類とし、第１及び第２の研削ブラシを交互に配置し、各第１研削ブラシのアイドルギアが、隣接する第２研削ブラシの固定ギアと噛み合い、各第１研削ブラシの固定ギアが、隣接する第２研削ブラシのアイドルギアと噛み合うようにする。 （もっと読む）

【課題】 生産コストを低減でき、低密度でありながら研磨粒子を含むスラリーが気孔内に浸透することがなく、復元性に優れるため長期間使用可能で、被研磨物との間にエアーの貯留の発生もなく、溶剤使用量が少なく環境汚染を改善できる研磨保持用パッドを得る。
【解決手段】 長径が１０μm以下の微細な開孔を有する連続気泡型発泡ウレタンシートの一面側に熱硬化性ウレタン発泡体が形成されており、研磨対象物を保持するための定盤に前記熱硬化性ウレタン発泡体の他面側を固着させて前記連続気泡型発泡ウレタンシートの他面側が前記研磨対象物に当接する研磨保持用パッドにおいて、前記連続気泡型発泡ウレタンシートは厚みが１１０μｍ以下であり、密度が９９０ｋｇ／ｍ^３以下であって、前記熱硬化性ウレタン発泡体は圧縮永久歪が１０以下である。 （もっと読む）

【課題】 接着剤残渣の発生を低減させ、歩留まりを向上させる基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 スライスベースに接着した半導体ブロックをワイヤーソーを用いて切断することによって半導体基板を得る半導体基板の製造方法であって、前記半導体ブロックおよび前記スライスベースを用意する準備工程と、前記スライスベースの上に硬化型接着剤を塗布する塗布工程と、前記硬化型接着剤を半硬化させる半硬化工程と、前記半導体ブロックを半硬化させた前記硬化型接着剤で前記スライスベースの上に仮接着してから、前記硬化型接着剤をさらに硬化させて、前記スライスベースに前記半導体ブロックを接着する接着工程と、前記スライスベースに接着した前記半導体ブロックを前記ワイヤーソーを用いて切断する切断工程とを順次行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属リング研削装置において、研削効率を向上させる。
【解決手段】金属リング研削装置において、加工ヘッド２２０に研削ブラシ４１０を取り付けるための一端が開放した円筒状の内壁を有する取付け部２１４を設け、研削ブラシの結束部材４１２は、取付け部への嵌合に適した径を有する円柱状の嵌合部４１２ｂを結束部材の結束部４１２ａの端面上において結束部と同軸上に有するものとし、加工ヘッドへの研削ブラシの取付けは、その結束部材の嵌合部を加工ヘッドの取付け部に嵌合させて行うようにし、結束部材の結束部の内径を結束部材の嵌合部の外径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】切断される部材を取り付けるための装置の改善。
【解決手段】ワークピース接合面１５２を有する板１５と、板１５内に少なくとも部分的に形成された少なくとも１つの溝を含む、ワイヤ切断装置にワークピースを取り付けるための装置。 （もっと読む）

【課題】高所作業となる鋼管やハンガーロープの素地調整を、人手に代わり極めて短時間で行うことができる素地調整装置を提供すること。
【解決手段】長尺体１に沿って移動自在に取り付けする移動基体２に、前記長尺体１に被嵌可能な被嵌体３を設けると共に、この被嵌体３は、長尺体１に被嵌したままこの長尺体１に沿って移動基体２に対し往復スライド移動自在に設け、この被嵌体３は、前記長尺体１が貫通する貫通被嵌部４に長尺体１の外周面に圧接する研磨体５を設け、前記移動基体２に、前記被嵌体３をこの移動基体２に対し前記長尺体１に沿って往復スライド駆動せしめる駆動装置６を設けて、この駆動装置６による被嵌体３の往復スライドにより前記研磨体５が長尺体１の外周面を往復研磨し得るように構成した素地調整装置。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造の格子表面を破損することなく、ハニカム構造の格子内部を研削加工することが可能となる。
【解決手段】使用済みのハニカム構造型成形体１０を固定ユニット３０で固定し、集塵部６０で気体を減圧吸引すると、混合室４０で混合された研削材８０を含む空気が貫通孔１２の内部を高速の乱流に乗って、不規則な軌跡を描きながら貫通孔１２を通過する。このとき、研削材８０が貫通孔１２の内壁面を研削加工し、付着物１４を除去する。こうすることにより、使用済みのハニカム構造型成形体１０の格子表面を破損することなく、貫通孔１２の内壁面を研削加工することができる。 （もっと読む）

【課題】トップリングに取り付けられた弾性膜を簡単に交換することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨面と、基板を保持するトップリングと、トップリングに連結された上下動自在のトップリングシャフトとを備え、トップリングは、トップリングシャフトに接続された上部材３００と、少なくとも基板の一部に当接する弾性膜３１４と、弾性膜３００が取り付けられる下部材３０６と、基板の外周縁を保持するリテーナリング３０２と、リテーナリング３０２と上部材３００および／または下部材３０６との間に、研磨液の浸入を防止するシール部材４２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトなシリコンインゴットブロックの複合面取り加工装置を提供する。
【解決手段】円柱状インゴットブロックの四側面剥ぎ加工をスライサー装置の一対の回転刃９１ａ，９１ｂで行って得られた角柱状インゴットの四隅Ｒ面および四側面を一対のカップホイール型粗研削砥石１１ｇ，１１ｇで粗研削加工して面取りし、ついで、一対のカップホイール型仕上げ研削砥石１０ｇ，１０ｇでそのブロックの四隅Ｒ面および四側面を仕上げ研削加工する面取り加工して表面平滑度の優れた角柱状インゴットブロックを製造する複合面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等の基板の変形および基板にかかる応力を低減し、基板の欠陥や基板の破損を防止して、基板のトップリングからの離脱（リリース）を安全で効率的に行うことができる研磨装置および方法を提供する。
【解決手段】研磨面を有した研磨テーブルと、少なくとも一部が弾性膜４で構成された基板保持面を有し、基板保持面で基板Ｗを保持して研磨面に押圧する基板保持装置と、基板保持装置からの基板受け渡し位置において基板保持装置から基板Ｗの受け渡しを行う基板搬送機構１５０と、基板搬送機構１５０と一体に設けられるか又は別途設けられ、基板Ｗを基板保持面から剥離する基板剥離促進機構１５３と、基板保持装置を回転駆動させる回転駆動機構と、基板保持装置の回転角度位置を検知する検知機構と、基板保持装置の回転角度位置を制御する制御部５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】研磨時に外周部を含むウェハの全面を均一に加圧して該ウェハの特に外周部の変形を抑制する。
【解決手段】圧力エア層１１を、キャリア８の下面と周縁部がリテーナリング９に保持された弾性シート１０とキャリア８の下面にその周縁に沿って環状に凸設されたエアシール８ｂとで囲まれたエア室に圧縮エアを供給することにより形成し、リテーナリング９の内径に対応した直径の円板状体の底面にウェハＷの外径とほぼ同径で且つ環状のエアシール８ｂの内径よりも小径の嵌合用凹部１２が形成されたテンプレート１４を備え、ウェハＷは、嵌合用凹部１２に嵌合させてテンプレート１４を介して少なくとも前記圧力エア層１１でプラテン上の研磨パッド６に押圧するとともにテンプレート１４を介してリテーナリング９で周囲を包囲させたテンプレート押圧ウェハ研磨方式。 （もっと読む）

【課題】単一の研磨ヘッドでリムリングの径と幅を可変とし、また最外周部のリングは局所加圧を行うゾーンリングとして研磨対象ウェーハのエッジ形状を効率よくコントロール可能とするエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、バックプレート２０下面に、圧力エア層１９の外周部を形成するためのリムリングの複数個２１ａ〜２１ｃをバックプレート２０下面に対し各別に進退自在で且つ常時後退傾向を付与して同心状に連設し、複数個のリムリング２１ａ〜２１ｃのうちのいずれかもしくは相隣るリムリングの複数個をバックプレート２０下面から突出させることによりリムリングの径及び／又は幅を可変としてウェーハＷのエッジ研磨形状をコントロール可能に構成したエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドを提供するものである。 （もっと読む）

【課題】キャリアプレート、複数のキャリアプレート、ウェーハの研磨装置、ウェーハの研磨方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ２０を研磨パッド１４に圧接させ、前記研磨パッド１４との相対運動により前記ウェーハ２０の研磨を行なう際に前記ウェーハ２０を貼り付けて保持するキャリアプレート１６であって、前記キャリアプレート１６の前記ウェーハ２０の貼り付け面１６ａの凹凸形状の波長方向のスペクトルが、前記ウェーハ２０の被研磨面への前記凹凸形状の転写を回避可能な振幅強度を有することを特徴とする。また前記キャリアプレート１６を複数同時に１つの研磨パッド１４に用いる場合は、各キャリアプレート１６の直径範囲における前記ウェーハ２０の貼り付け面１６ａのＰＶ値同士を対比した偏差が、研磨条件を調整することにより前記複数のウェーハ２０の平坦度を同時に最適化が可能な範囲内であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークホールの内周面に弾性体を設けることなく、ワークホールの周囲の部位に穴加工することで、ワークホール内に装填の被加工物に加えられる水平方向の応力を穏やかにして、不良の発生を抑える。
【解決手段】ラッピングキャリヤ本体２に所望の形状で複数のワークホール４を形成する。そのワークホール４の周囲に沿って１個もしくは複数個の貫通穴６を形成する。この貫通穴６の加工によりその内側に枠体７と、この枠体７を支える支持体８とが設けられる。この支持体８の構造からばね作用が付加され、被加工物にかかる水平方向の応力を穏やかにする。 （もっと読む）

【課題】クーラント液の液圧の影響を排除することにより、加工面品位の向上や、割れおよび落下を防止することが可能なワイヤソー装置およびワイヤソーによる切断加工方法の提供。
【解決手段】走行するワイヤ３に対してクーラント液Ｃを掛けながら被削材Ｘを押し当てることにより被削材Ｘを切断していき、この切断された被削材Ｘを、クーラント液Ｃを受ける水槽５内に浸漬していくワイヤソー装置１であって、水槽５内に、ワイヤ３の走行方向に対して被削材Ｘの前方および後方に仕切壁８ａ，８ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】太陽電池用の単結晶シリコンインゴットのような略直方体状であって、角部にＣ面やＲ面のような面取り部が形成された単結晶シリコンインゴットの切断終了段階の切削精度を向上させること。
【解決手段】走行するワイヤ２に対して研削液５を供給しながら、略直方体状であり角部に面取り部Ｃが形成された単結晶シリコンインゴットＳを下面に保持したスライス台６を下降させることにより、ワイヤ２により単結晶シリコンインゴットＳを切断するワイヤソー装置１であって、スライス台６が、単結晶シリコンインゴットＳの面取り部Ｃを覆うガイド部８を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、平行度に優れる磁気記録媒体用ガラス基板の提供を目的とする。また、平行度に優れる磁気記録媒体用ガラス基板を高い生産性で研磨するガラス基板の研磨方法、および該研磨方法を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板の両主平面を研磨する研磨工程において、ガラス基板の両主平面を同時に研磨したときの両面研磨装置の上定盤の内周端側で測定した表面温度ｔｐ１と外周端側で測定した表面温度ｔｐ２との差Δｔｐ（ｔｐ１−ｔｐ２）の絶対値が３℃以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）