【課題】所定の組成を有するレジスト層に対して所望の解像度をもたらしつつも、レジストパターンを形成する際の必要露光量を低減させる。
【解決手段】α−クロロアクリル酸エステルとα−メチルスチレンとの重合体を含むレジスト層にエネルギービームを照射して露光して、現像を行う際に用いられるレジスト現像剤であって、フルオロカーボンを含む溶媒Ａと、前記溶媒Ａよりも前記レジスト層に対する溶解度が高いアルコール溶媒Ｂと、酢酸−ｎ−アミル又は酢酸エチル又はそれらの混合物からなる溶媒Ｃとを含む。 （もっと読む）

【課題】 大面積のパターンでも熱膨張の影響を受けにくい型を提供すること。
【解決手段】 樹脂、特に好ましくはインプリント技術により成型可能な樹脂からなり被成形物200に転写するための成型パターン１ａを有する成型層１と、樹脂の熱膨張係数より低い材料、例えば金属からなる基層２とを有し、被成形物200の被成形面に対し可撓性を有するフィルム状に形成されるインプリント用型。基層２と成形層１の間に基層２及び成形層１の両方と結合する材料からなる中間層を有していても良い。 （もっと読む）

【課題】部品の精密な寸法を保持し、また、構造或いは外見を傷めることなく成形されるため、改良された金型構造を提供する。
【解決手段】異種材料成形体のインサート成形のための金型構造であり、上部金型２１０及び下部金型２２０を含む。前記上部金型は、インサート物を配設するキャビティ２１２を含む。前記下部金型は、剛性体２２２及び前記インサート物を載置する弾性接触部材２２４を含む。前記弾性接触部材は、前記形成プロセスの間の前記注入材料の寸法変動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】形状が複雑で、凹凸、突起、くびれ等の異形部を有する場合においても、表面部全体を隅々まで短時間で均一に加熱することができ、熱の発散や加熱斑を防止することができ、形状自在性、省エネルギー性、加熱の効率性、均一性、確実性に優れる電熱式樹脂型の提供。
【解決手段】ゲルコート層と、ゲルコート層と同等の収縮率でゲルコート層の裏面に形成された表面ＦＲＰ層と、表面ＦＲＰ層の裏面に形成され樹脂中に熱伝導性粒子が混合された内部ＦＲＰ層と、内部ＦＲＰ層の裏面に敷設されたコードヒータを有する加熱部と、内部ＦＲＰ層の裏面側で加熱部の少なくともコードヒータに覆設された断熱層と、断熱層の裏面に形成された補強材層と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】樹脂転写型が吸湿によって変形する場合であっても、目的とする面形状を十分な精度で形成することができる樹脂レンズの成形方法を提供すること。
【解決手段】樹脂転写型であるサブサブマスタ型５０の成形時における水分含有量がサブサブマスタ型５０の作製直後における水分含有量と実質的に等しいので、成形時におけるサブサブマスタ型５０の第３光学転写面５３ａの表面形状を第３光学転写面５３ａの作製直後の状態に略等しい状態とすることができ、第３光学転写面５３ａによって成形される樹脂レンズであるウェハレンズ１００の形状精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】線状金属パターンが、表面に所望のパターンで正確に積層されてなる樹脂製品を効率的に製造可能な方法を提供する。
【解決手段】線状金属パターンと対応した形状の凹溝４０がキャビティ面３８に形成された第一の型２８と、第二の型２６との間で形成される成形キャビティ４８内に、線状金属パターンと同一パターンの線状金属層５８が表面に形成された転写シート２４を収容配置した後、成形キャビティ４８内に溶融樹脂６２を射出、充填して、樹脂成形品を成形する一方、線状金属層５８が形成された転写シート部分６０を、溶融樹脂６２の射出圧にて、凹溝４０内に押し込みつつ、樹脂成形品に密着させて、線上金属層５８を樹脂成形品に転写するようにした。 （もっと読む）

【課題】テンプレートに付けたパターンを印写可能媒体に印写することによってパターンを基板に転写する印写リソグラフィで、この印写可能媒体として熱可塑性または熱硬化性樹脂を使うとき、それだけを必要な温度に迅速に加熱する装置・方法を提供する。
【解決手段】テンプレート３０の転写すべきパターンの上に薄い金属層３５が設けてあり、このテンプレート３０を印写可能媒体３４に接触させ、それとそれを保持するホルダ３１を通してレーザ３６のビーム３７で照射する。このビーム３７を金属層３５が効率的に吸収し、この金属層からの熱を印写可能媒体３４へ効率的に伝達するので、印写可能媒体３４の加熱が迅速であり、熱が基板３２に入って基板を歪めることがない。 （もっと読む）

【課題】炭素発泡体をコア材とした場合であっても、より均等に成形品を加熱できる成形治具を提供することを目的とする。
【解決手段】複合材成形治具は、成形品側に配置される炭素発泡体５、及び、炭素発泡体５の背面に接着配置された別の炭素発泡体６で構成されたコア材２と、コア材２中に埋設されたコア材２に伝熱可能な熱源３と、繊維強化複合材料でコア材２の表面を被覆して形成した複合材層４と、を備え、炭素発泡体５の熱伝導率が、別の炭素発泡体６の熱伝導率よりも高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】４０ｎｍ以下のパターンピッチのナノインプリント金型を簡便に製造できる方法を提供する。
【解決手段】
本発明によるナノインプリント金型の製造では、ＳｉＯ_２層を設けたＳｉ基板に、集束イオンビームを用いて所望の位置に金属を堆積し、この基板を加熱して、堆積した金属を凝集させて、ナノインプリント金型のパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】 金属表面に形成された凹状又は凸状のパターンを有する印刷版面を短時間で、かつ、高精度に再現できるパターン形成体を提供する。
【解決手段】 第一の金属原版の凹状又は凸状パターンを転写するためのパターン形成体において、金属板上に形成される光硬化性のパターン形成材料と光硬化性のパターン形成材料中に埋没させるパターン形成材料を補強し、光硬化効率を高めるための光透過性の補強板と、光硬化性パターン形成材料の中に光透過性の補強板が第一の金属原版に接触しないように配置された支持体から成るパターン形成体及び複製方法である。 （もっと読む）

【課題】離型性に優れたインプリント用の樹脂モールド材料および樹脂レプリカモールド材料組成物の提供、該材料組成物を含んでなる樹脂モールドおよび樹脂レプリカモールド並びにそれらの製造方法の提供。
【解決手段】インプリント用のモールド樹脂もしくはレプリカモールド樹脂と、硬化性のフッ素系ポリマー（Ａ）０．１〜１０重量％とを含む、インプリント用の樹脂モールド材料もしくは樹脂レプリカモールド材料組成物。好ましくは、フッ素系ポリマー（Ａ）が、
（ａ１）炭素数４〜６のフルオロアルキル基を有するα位置換アクリレート、および
（ａ２）ホモポリマー状態でのガラス転移点または軟化点が５０℃以上を示す高軟化点モノマー ５〜１２０重量部を繰り返し単位として含んでなり重量平均分子量が３，０００〜２０，０００であるフッ素系ポリマー（Ａ１）である材料組成物。 （もっと読む）

【課題】模型の抜き取り時に凹凸模様形成部材が模型の表面から剥がれることがない成形用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、模型３０の表面３１の全面又は所定範囲に凹凸模様形成部材４０を貼り付け、該模型３０から反転型５０、該反転型５０から成形用金型１０，２０を製造するにあたり、凹凸模様形成部材４０として、凹凸模様を有する原版（例えば、金網）Ｄの上に敷かれた合成樹脂シート４０’を平滑な表面を有するプレス板Ｂを用いてプレスしたものを用い、該凹凸模様形成部材４０を凹凸模様が転写された凹凸面４１と反対の平滑面４４側で模型３０の表面３１に貼り付けるようにする。 （もっと読む）

【課題】磁性材の磁気特性を維持しつつ、ワークの表面に磁性材層を形成すること。
【解決手段】磁性材をワークＷに適用する方法において、粉末状の磁性材をその融点未満に加熱し、ワークＷに噴き付けることを特徴とする。加熱をする前に、粉末状の磁性材に対して焼入れを行うことが好ましい。粉末状の磁性材とノズル１９のそれぞれに対して、同極の電荷を付与することが好ましい。粉末状の磁性材の加熱温度は、ワークＷの融点未満とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】欠陥を低減した樹脂モールド製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂スタンパー１１の裏面１１ｂと、樹脂スタンパー１１を保持する土台１２の表面１２ａと、の間に硬化性化合物を配置する工程と、硬化性化合物を硬化させて、樹脂スタンパー１１と土台１２との間に硬化物層１３を形成する工程と、樹脂スタンパー１１、硬化物層１３、および土台１２を含む積層体の、樹脂スタンパー表面１１ａの微細凹凸構造に、被転写用硬化性化合物が配置されたフィルム基材の被転写用硬化性化合物が接するように、フィルム基材を加圧しながら配置する工程と、被転写用硬化性化合物を硬化させて微細凹凸構造を有する硬化物層を形成した後に、積層体とフィルム基材とを分離することで、微細凹凸構造を有する樹脂モールドを形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ウェハとテンプレートとの位置合わせの精度を向上する。
【解決手段】本実施形態のテンプレートは、基板１０上に設けられ、ウェハに転写されるパターンに対応するパターン部１１と、基板１０上に設けられ、ウェハとの位置合わせに用いられ、基板１０の屈折率より高い屈折率を有するアライメントマーク部１１と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ディスクリート型の磁気記録媒体の製造に用いられる原盤を作製する場合に、レジストパターンの倒れ等の発生を抑制する。
【解決手段】本発明は、同心円状をなす複数のトラックが溝によって分離された磁気記録媒体の製造に用いられる元型の原盤を作製する方法であり、原盤のベースになる円盤状の基板上に複数のレジストパターン３２Ｔを形成する工程を有する。かかる工程は、基板上にレジスト膜を形成する成膜工程と、レジスト膜を露光することにより、レジスト膜の一部を可溶部とし他部を不溶部とする露光工程と、露光後のレジスト膜を現像する現像工程とを有する。露光工程においては、基板半径方向Ｘで隣り合うレジストパターン３２Ｔ間にこれと一体構造で架橋部３４が残存するように、レジスト膜を露光し、現像工程においては、レジストパターン３２Ｔを架橋部３４で支持することで倒れ等を抑制する。 （もっと読む）

【課題】インプリント用モールドの製造において微細なモールドパターンを高いパターン精度で形成することができ、しかも基板をエッチング加工するために形成した薄膜パターンを最終的にモールドパターンにダメージを与えないように除去できるインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】透光性基板１上に、ハフニウムおよびジルコニウムのうちの少なくとも一方の元素を含有する材料で形成された下層３と、該下層の酸化を抑制する材料で形成された上層４の積層膜からなる薄膜を有するマスクブランクを用いて、前記薄膜をエッチング加工して薄膜のパターンを形成する工程と、該薄膜のパターンをマスクとして透光性基板１をエッチング加工してモールドパターンを形成する工程と、該モールドパターンを形成した後、薄膜の下層を、塩素、臭素、ヨウ素、およびキセノンのうちいずれかの元素とフッ素との化合物を含む非励起状態の物質に接触させて除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】加工性を向上できる金属構造体の製造方法および金属構造体を提供する。
【解決手段】金属構造体の製造方法は、以下の工程を備えている。基板上にパターン１２ａを有する樹脂型を形成する。樹脂型のパターン１２ａを覆うように金属層１３を形成する。炭酸ガスレーザを照射することにより、樹脂型を除去する。樹脂型を形成する工程は、基板を被覆するように樹脂層を形成する工程と、樹脂層上に、パターンを有するマスクを配置し、マスクのパターンを介してレーザを照射することにより、樹脂層の一部を除去する工程とを含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱分解後の酸化銅（Ｉ）の再酸化を抑制可能な熱反応型レジスト材料を提供すること。
【解決手段】本発明の熱反応型レジスト材料は、リチウム、ナトリウム、マグネシウム、カルシウム、チタン、鉄、コバルト、亜鉛、ガリウム、シリコン、ゲルマニウム、鉛、ビスマス、及びテルル、並びにその酸化物、塩化物、フッ化物、及び炭酸化物からなる群から選択された少なくとも１つの再酸化防止剤と、酸化銅（Ｉ）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い離型性を有し、かつ簡単に再現可能であるとともに、微細パターンの形状保持性に優れたインプリント用モールドおよびその製造方法、並びに微細構造の製造方法を提供することである。
【解決手段】微細パターン２を表面１ａに有する表面層１と、この表面層１の裏面１ｂを支持する支持層５とを備え、表面層１が紫外線硬化性官能基を有する紫外線硬化型側鎖結晶性ポリマーからなるインプリント用モールド１０およびその製造方法である。モールド１０を用いて微細構造を製造する方法である。 （もっと読む）